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公开(公告)号：JP2015189839A
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：JP2014067280
申请日：2014-03-27
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 【課題】レジスト組成物のブリッジ欠陥抑制性に優れる重合体を容易に製造することができるレジスト用重合体の製造方法の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、ラクトン構造を含む構造単位を有する第1重合体及び有機溶媒を含有する溶液を、多環のラクトン構造を含む構造単位を有しかつ比表面積が0.001m 2 /g以上100m 2 /g以下である第2重合体に接触させる工程を備えるレジスト用重合体の製造方法である。上記第2重合体におけるラクトン構造の環員数としては7以上20以下が好ましい。上記第1重合体におけるラクトン構造の環員数と上記第2重合体におけるラクトン構造の環員数との差としては5以下が好ましい。上記第1重合体におけるラクトン構造は多環であることが好ましい。上記第1重合体におけるラクトン構造と上記第2重合体におけるラクトン構造とは同一であることが好ましい。 【選択図】なし
Abstract translation: 要解决的问题：提供抗蚀剂用聚合物的制造方法，能够容易地制造抑制抗蚀剂组合物的桥接缺陷的优异的聚合物。解决方案：抗蚀剂用聚合物的制造方法包括： 使含有有机溶剂的溶液和具有含有内酯结构的结构单元的第一聚合物与具有包含多环内酯结构的结构单元并且比表面积为0.001m 2 / g以上且100以下的第二聚合物接触 m / g以下。 第二聚合物中的内酯结构的环成员的数目优选为7以上且20以下。 第一聚合物中的内酯结构体的数量与第二聚合物中的内酯结构的环成分的数量之间的差优选为5以下。 第一聚合物中的内酯结构优选为多环结构。 第一聚合物中的内酯结构和第二聚合物中的内酯结构优选相同。
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公开(公告)号：JP2015189838A
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：JP2014067279
申请日：2014-03-27
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 【課題】レジスト組成物のブリッジ欠陥抑制性に優れる重合体を容易にかつ高い再現性で製造できるレジスト用重合体の製造方法の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、第1構造を含む構造単位を有する第1重合体と、第2構造を含む構造単位及び他の構造単位を有し、第1重合体とは異なる第2重合体と、第1溶媒と、この第1溶媒と互いに溶け合わない第2溶媒とを接触させる工程を備え、上記第1構造と上記第2構造とが同種のものであるレジスト用重合体の製造方法である。上記接触工程において、上記第1重合体及び上記第1溶媒を含有する第1組成物と、上記第2重合体及び上記第2溶媒を含有する第2組成物とを接触させることが好ましい。上記第1構造及び第2構造としては極性を有する構造が好ましい。 【選択図】なし
Abstract translation: 要解决的问题：提供抗蚀剂用聚合物的制造方法，通过该方法可以以高的再现性容易地制造抑制抗蚀剂组合物的桥接缺陷的聚合物。解决方案：抗蚀剂用聚合物的制造方法包括 使具有含有第一结构的结构单元的第一聚合物，与第一聚合物不同的第二聚合物和具有第二结构的结构单元和其它结构单元的步骤，第一溶剂和第二溶剂是 与第一溶剂不相容，彼此接触，其中第一结构和第二结构是相同类型的。 在上述接触步骤中，优选包含第一聚合物和第一溶剂的第一组合物与包含第二聚合物和第二溶剂的第二组合物接触。 第一结构和第二结构优选是具有极性的结构。
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