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公开(公告)号:JP5742213B2
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:JP2010290589
申请日:2010-12-27
Applicant: JSR株式会社
Inventor: 西川 耕二 , 森 隆 , 石川 悟司 , 水野 光 , 新木 利治 , 安孫子 聡子
IPC: G03F7/004 , G02F1/167 , G03F7/033