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发明专利
感放射線性樹脂組成物、重合体及び化合物有权
Title translation: 辐射敏感树脂组合物中，聚合物和化合物

公开(公告)号：JP6079771B2

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：JP2014502395

申请日：2013-02-28

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大澤壮祐 , 森野一英 , 須藤篤 , 遠藤剛 , 佐藤光央 , 松田恭彦 , 永井智樹 , 下川努

IPC: C08F20/28 , G03F7/039

CPC classification number: C08F20/28 , C08F20/38 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041

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