間隙を残して底部充填し、スタンプを脈動刷ることを含む、スタンプを用いた基板上の軟質材料のインプリントを向上させる技術
    9.
    发明专利
    間隙を残して底部充填し、スタンプを脈動刷ることを含む、スタンプを用いた基板上の軟質材料のインプリントを向上させる技術 审中-公开
    底部填充留下间隙,其特征在于脉动印模,以提高在基板上的软质材料的压印用印模技术

    公开(公告)号:JP2014533211A

    公开(公告)日:2014-12-11

    申请号:JP2014532052

    申请日:2012-09-22

    IPC分类号: B29C59/02 H01L21/027

    摘要: 基板上の流動性レジスト材料にパターンを形成する方法は、スタンプくさび割工程中、レジストが基板とくさび形突起間のスタンプ底面との間の空間を完全に充填せず、間のすべての場所に間隙を残すようにレジスト層を極薄く設けることを含む。間隙はレジストとスタンプ拡張面との間に残る。蒸着されるレジスト層が目標量よりもやや厚い場合、単にレジストとツールとの間の間隙が小さくなる。連続的間隙の存在により、圧力がスタンプ下に蓄積されないように確保される。よって、突起への力がスタンプ上方の圧力によってのみ決定されて良好に制御され、適切に制御されたサイズの穴が形成される。間隙は、レジストがどの領域からも完全に押し出されてしまうのを防ぐので、該領域がレジストによって未被覆となるのを防ぐ。スタンプは基板と接触して脈動させて、凹ませる突起を繰り返し変形させることができる。通常の期間の通常のエッチングが基板材料を一掃する程度と比較するエッチングテストで判定されるとおり、何回かの脈動で1回の脈動よりもスカム層が一掃される。基板上の流動性レジスト材料にパターンを形成する方法は、スタンプくさび割工程中、レジストが基板とくさび形突起間のスタンプ底面との間の空間を完全に充填せず、間のすべての場所に間隙を残すようにレジスト層を極薄く設けることを含む。間隙はレジストとスタンプ拡張面間に残る。【選択図】図7

    摘要翻译: 成形冲压楔分割步骤期间在可流动的图案的抗蚀剂在衬底上的材料的方法,所述抗蚀剂不完全填充所述基板和所述楔形突起之间的印模底之间的空间中,处处之间 它包括提供非常薄的抗蚀剂层,以便留下的间隙。 间隙保持在抗蚀剂和印模延长表面之间。 当抗蚀剂层比目标量,只是之间的抗蚀剂和工具被减小的间隙沉积稍微更厚。 的连续的间隙的存在,压力确保以免压模下被积累。 因此,投影的力仅由印模的上很好地控制,形成一个适当地控制尺寸的孔中的压力确定。 间隙,因此防止抗蚀剂将从任何区域被完全压出,从而防止区域由抗蚀剂涂覆。 印模可通过脉动在与基板接触,反复变形突起凹进。 照常蚀刻正常期间通过蚀刻试验确定比较的程度,消灭了衬底材料,浮渣层扫掠多于一个脉动数次脉动。 成形冲压楔分割步骤期间在可流动的图案的抗蚀剂在衬底上的材料的方法,所述抗蚀剂不完全填充所述基板和所述楔形突起之间的印模底之间的空间中,处处之间 它包括提供非常薄的抗蚀剂层,以便留下的间隙。 间隙保持在抗蚀剂和印模延长表面之间。 点域7