公开(公告)号：JP2018523009A

公开(公告)日：2018-08-16

申请号：JP2017558424

申请日：2015-05-08

申请人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド ,  APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

发明人： ラウ, ジーモン

IPC分类号： C09J7/30 ,  C09J7/20 ,  C23C14/50

CPC分类号： B23Q3/084 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G49/066 ,  C03C17/002 ,  C23C14/50 ,  C23C16/4583

摘要： 基板を保持するための方法及び支持体が提供され、支持体は基板を搬送するように構成された搬送システム内に含まれている。該方法は、支持体に接着剤を取り付けることを含み、接着剤の材料が合成剛毛材料であり、接着剤は支持体に基板を取り付けるように構成されており、該方法は、更に、基板に接着剤を取り付けることも含む。更に、基板の厚さは約0.3mm以下であり、及び/又は基板は1.4m 2 以上のサイズを有する。支持体は、支持本体と接着剤とを含み、接着剤の材料が合成剛毛材料であり、接着剤が基板に支持本体を取り付けるように構成されており、支持体は、基板を搬送するように構成された搬送システム内に含まれている。 【選択図】図1B

公开(公告)号：JP2018510338A

公开(公告)日：2018-04-12

申请号：JP2017546116

申请日：2016-02-02

申请人： グラステク インコーポレイテッド

发明人： ヴァイルド,マイケル ,  アディントン,ジェイソン ,  モラン,ベンジャミン

IPC分类号： G01N21/84 ,  G01B11/00 ,  G01N21/88

CPC分类号： C03B35/14 ,  B65G47/902 ,  B65G49/064 ,  B65G49/068 ,  C03B2225/02 ,  G01N21/8914 ,  G01N21/896 ,  G01N2021/845 ,  G01N2201/12

摘要： ガラス板取得及び位置決めシステム並びに関連する方法が、ガラス板処理システムにおいてインラインに設置されるガラス板光学検査システムで利用される。取得及び位置決めシステムは、外装支持フレームと、ガラス板支持フレームが、それによってガラス板がコンベヤから除去され且つ支持フレーム上に保持される第1の配向から、それによってガラス板が光学検査システムによる処理のために位置決めされる第2の配向へ選択的に位置決めされ得るように外装支持フレームに接続される可動ガラス板支持フレームとを含む。システムは、また、ガラス板部品識別装置と、取得された画像データを解析し、且つガラス板を既知の部品タイプのセットの1つとして識別し、及びその後、部品形状解析に基づいてガラス板をガラス板支持フレーム上に固定し且つ位置決めするためのロジックを含むプログラム可能制御装置とを含み得る。【選択図】図1

公开(公告)号：JP6229072B2

公开(公告)日：2017-11-08

申请号：JP2016555623

申请日：2016-05-26

申请人： 坂東機工株式会社

发明人： 坂東 和明

IPC分类号： B28D5/00 ,  C03B33/037

CPC分类号： C03B33/03 ,  B28D1/22 ,  B28D5/023 ,  B65G49/064 ,  C03B33/027 ,  C03B33/037 ,  G05B19/40932 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045

公开(公告)号：JP2015101020A

公开(公告)日：2015-06-04

申请号：JP2013243870

申请日：2013-11-26

申请人： 日本電気硝子株式会社

发明人： 寺西 妥夫 ,  松本 直之 ,  神野 優 ,  藤田 崇

IPC分类号： B32B37/28 ,  B32B17/06

CPC分类号： B32B17/06 ,  B32B37/003 ,  B32B7/06 ,  B65G49/061 ,  B65G49/063 ,  B65G49/064 ,  C03C27/06 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67778 ,  B32B2315/08

摘要： 【課題】支持板ガラスの上面に触れることなく、支持板ガラスを製品板ガラスに正しく位置決めした状態で積層する。 【解決手段】製品板ガラスGaの対向する2辺を下面側から支持して、製品板ガラスGaを下に凸状に撓ませて静止させた状態で、平坦状の支持板ガラスGbを上昇させて、製品板ガラスGaの下面における下端部Xに接触させる。この状態で、製品板ガラスGaの凸状の撓みを徐々に解除することにより、支持板ガラスGbと製品板ガラスGaの接触領域Yを、製品板ガラスGaの下端部Xから対向する2辺側に拡大していく。 【選択図】図5

摘要翻译： 要解决的问题：将支撑玻璃板堆叠在产品玻璃板上，同时正确对准它们而不接触支撑玻璃板的上表面。解决方案：平坦的支撑玻璃板Gb与下玻璃板的下端部分X接触 产品玻璃板Ga的底面由产品玻璃板Ga固定并通过从底面侧支撑着产品玻璃板Ga的两个相对的两侧而呈凸形弯曲而升高。 在这种状态下，通过逐渐释放产品玻璃板的凸起的弯曲，支撑玻璃板Gb和商品玻璃板Ga的接触区域Y从商品玻璃板Ga的下端部X向两个相对的两侧扩展 嘎

公开(公告)号：JP5497777B2

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：JP2011538830

申请日：2009-11-26

申请人： グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハーGrenzebach Maschinenbau GmbH

发明人： ロスマン，トーマス

IPC分类号： B65G49/06 ,  C03B35/00 ,  H01L21/677

CPC分类号： B65G49/067 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G49/068 ,  B65G2249/02

公开(公告)号：JP5363482B2

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：JP2010518516

申请日：2008-07-02

申请人： ゲブリューダー シュミット ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

发明人： ニコル，ローラン

IPC分类号： H05K3/06 ,  H05K3/00

CPC分类号： H01L21/67706 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/04 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67086 ,  H01L21/67721 ,  H05K13/0061

摘要： In order to transport printed circuit boards (30) through a processing system (12), printed circuit boards (30) lying one behind another can be connected by means of holding clips (22) to form a type of chain. The outer ends of the holding clips (22) are suspended on two spaced-apart transport chains (16) which provide for transport and mounting. The holding clips are formed in two parts with a lower holding part (22) and an upper holding part (40), between which a printed circuit board (30) is mounted.

公开(公告)号：JP2013170030A

公开(公告)日：2013-09-02

申请号：JP2012034086

申请日：2012-02-20

申请人： Nippon Electric Glass Co Ltd ,  日本電気硝子株式会社

发明人： NISHIMURA NAOKI ,  OKUMURA HIROKAZU

IPC分类号： B65H9/00 ,  B65G49/06 ,  B65H5/22 ,  C03B35/00 ,  H01L21/677

CPC分类号： B65G15/14 ,  B08B1/02 ,  B08B3/022 ,  B65G47/24 ,  B65G49/064 ,  B65G49/065 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67784

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To smoothly position a glass plate on multiple conveying belts even if the glass plate is thin.SOLUTION: A glass plate conveying apparatus conveys a glass plate G placed on a plurality of conveying belts 1 disposed in parallel to move for positioning the glass plate G in the width direction orthogonal to the conveying direction by means of pressing rollers 2 disposed on the conveying path, including auxiliary support parts 3 subsidiarily supporting a part of the glass plate G, which is supported from below by the conveying belts 1, from below by liquid layers to reduce movement resistance in the width direction of the glass plate G when positioning.

摘要翻译： 要解决的问题：即使玻璃板薄，也可以平滑地将玻璃板定位在多个输送带上。解决方案：玻璃板输送装置输送放置在平行设置的多个输送带1上的玻璃板G，以移动以进行定位 通过设置在传送路径上的加压辊2在与传送方向正交的宽度方向上的玻璃板G包括辅助支撑部分3，辅助支撑部分3辅助地支撑玻璃板G的一部分，该部分由传送带1 ，从液体层下降，以便在定位时减小玻璃板G的宽度方向上的移动阻力。

公开(公告)号：JP2013136488A

公开(公告)日：2013-07-11

申请号：JP2011289018

申请日：2011-12-28

申请人： Nippon Electric Glass Co Ltd ,  日本電気硝子株式会社

发明人： HIGUCHI EIICHI ,  NISHIO MAKOTO ,  TAKAHASHI TADASHI

IPC分类号： C03B33/03 ,  B24B9/10 ,  C03B33/033 ,  C03B33/037 ,  C03C19/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

CPC分类号： B24B9/10 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  C03B33/03 ,  C03B33/037 ,  G02F1/1303 ,  G02F2001/133302 ,  G02F2202/09

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for preventing surely a situation wherein a glass plate is broken when performing positioning in a cutting step for cutting the glass plate into a prescribed size and/or in an end face treatment step for the cut end face.SOLUTION: A glass plate processing device includes: a holding base 1 which holds a glass plate G; a rail 2 on which the holding base 1 is moved along a predetermined conveyance path; cutting devices 3, 4, 5 which, on the conveyance path, cut the glass plate G held by the holding base 1 into a rectangular shape having a predetermined size; and chamfering devices 7, 8, 9 which, on the conveyance path, chamfer the cut end surfaces of the glass plate G held by the holding base 1 on the conveyance path. Processing is started after the cutting devices 3, 4, 5 and the chamfering devices 7, 8, 9 are positioned based on the holding base 1.

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种在切割步骤中进行定位以确保玻璃板破裂的情况的方法，用于将玻璃板切割成规定尺寸和/或用于切割端面的端面处理步骤 解决方案：玻璃板加工装置包括：保持玻璃板G的保持基座1; 轨道2，其上保持基座1沿着预定的输送路径移动; 在输送路径上将由保持基座1保持的玻璃板G切割成具有预定尺寸的矩形的切割装置3,4,5; 以及在输送路径上将由保持基座1保持的玻璃板G的切断端面倒转在输送路径上的倒角装置7,8,9。 在切割装置3,4,5和倒角装置7,8,9之间基于保持基座1定位开始加工。

公开(公告)号：JP2013004678A

公开(公告)日：2013-01-07

申请号：JP2011133403

申请日：2011-06-15

申请人： Yaskawa Electric Corp ,  株式会社安川電機

发明人： FURUTA MAKOTO ,  NAKAKO TORU ,  YAMAZAKI TETSUYA

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/06

CPC分类号： H01L21/67766 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G49/067 ,  B65G49/068 ,  H01L21/67778

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To place a substrate on a hand and transfer it while preventing the hand from entering a cassette.SOLUTION: The substrate transfer device has the substrate transfer hand that comprises: a passive roller that rotates by receiving the drive of a drive mechanism provided on a cassette in a state that it is connected to the cassette along a transfer direction of a substrate; a tabular fork having the passive roller on its distal end; a belt transmitting the rotation of the passive roller along the fork; and other rollers that rotate in the same rotation direction as the passive roller by receiving the transmission of the rotation by the belt.

摘要翻译： 要解决的问题：将基材放在手上并转移，同时防止手进入盒子。 解决方案：基板传送装置具有基板传送手，该基板传送手包括：被动滚筒，其通过接收设置在盒上的驱动机构的驱动而转动，该驱动机构沿着传送方向连接到盒 基质; 在其远端具有被动辊的平板叉; 沿着叉子传递被动辊的旋转的带; 以及通过接收带的旋转的传递而与被动辊相同的旋转方向旋转的其它辊。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2012237913A

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：JP2011107789

申请日：2011-05-13

申请人： Nikon Corp ,  株式会社ニコン

发明人： AOKI YASUO ,  YANAGAWA TAKUYA

IPC分类号： G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/027 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67736 ,  B65G49/061 ,  B65G49/063 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/04 ,  G03F7/70733

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To exchange a substrate on a substrate stage quickly.SOLUTION: A substrate holder 30a is provided with an X groove 31x housing a substrate tray 40a used for carrying a substrate P. Inside the X groove 31x is provided a substrate carry-out device 70a that moves the substrate P together with the substrate tray 40a by pressing the substrate tray 40a. Therefore, the carry-out operation of the substrate can be started after the exposure process on the substrate P ends and before the substrate stage 20a is positioned at a substrate exchange position for the exchange of the substrate P.

摘要翻译： 要解决的问题：快速地在基板台上更换基板。 解决方案：衬底保持器30a设置有容纳用于承载衬底P的衬底托盘40a的X沟槽31x。在X沟槽31x内设置有衬底移出装置70a，其将衬底P与 基板托盘40a通过按压基板托盘40a。 因此，可以在基板P上的曝光处理结束之后并且在基板台20a位于用于更换基板P的基板更换位置之前，开始基板的进行操作。版权所有：（C ）2013，JPO＆INPIT