参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置
    3.
    发明专利
    参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 有权
    参照泄漏发生器和使用其的超精细泄漏测试设备

    公开(公告)号:JPWO2014080798A1

    公开(公告)日:2017-01-05

    申请号:JP2014548520

    申请日:2013-11-12

    IPC分类号: G01M3/02

    摘要: 超微小な参照リークを正確に発生可能な参照リーク発生装置を提供する。測定室の上流側に接続するための参照リーク発生装置であって、分子流コンダクタンスCと分子流条件が成り立つ圧力が予め既知であるオリフィス又は多孔質体を介して前記測定室に接続される室を備え、当該室に導入される試験ガスの圧力p1を1回以上の静的膨張法により正確に定めて、圧力p1における参照リークのリーク量をCとp1の積で求めることを特徴とする参照リーク発生装置。

    摘要翻译: 提供精确可生成参考泄漏产生超细参考泄漏。 用于连接到所述测量室的上游侧的基准泄漏发生器,腔室压力分子流导C和分子流动条件,则通过预先已知的孔口或多孔体被连接到所述测量室 引入由一个或多个静态膨胀法精确限定的腔室中的测试气体的提供时,压力p1,并且获得在C和p1的产物在压力p1参考泄漏的泄漏量 参照泄漏发生器。