レジスト材料及びパターン形成方法
    5.
    发明专利
    レジスト材料及びパターン形成方法 有权
    抗蚀剂材料和图案形成方法

    公开(公告)号:JP2017026980A

    公开(公告)日:2017-02-02

    申请号:JP2015148563

    申请日:2015-07-28

    Abstract: 【課題】酸拡散を低減し、従来のレジスト材料を上回る高解像度で、エッジラフネスが小さく、良好なパターン形状を与えるレジスト材料、及び該レジスト材料を用いたパターン形成方法を提供する 【解決手段】下記式(a)で表される繰り返し単位と、カルボキシル基の水素原子が酸不安定基で置換された繰り返し単位及び/又はフェノール性ヒドロキシ基の水素原子が酸不安定基で置換された繰り返し単位とを含み、重量平均分子量が1,000〜500,000の範囲であるベースポリマーを含むレジスト材料。 (式中、R 1 は、水素原子又はメチル基、R 2 及びR 3 は、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、X 1 は、単結合;エステル基、エーテル基若しくはラクトン環を含む炭素数1〜12の連結基;フェニレン基;又はナフチレン基、X 2 及びX 3 は、それぞれ独立に、酸素原子又は硫黄原子を表す。) 【選択図】なし

    Abstract translation: 还原性的酸扩散,经常规抗蚀剂材料高的分辨率,边缘粗糙度小,抗蚀剂材料,以提供一个良好的图案形状,和A使用抗蚀剂材料,以提供图案化工艺 取代的重复单元和/或酚羟基基团的氢原子的氢原子由下式(A)表示的重复单元,重复单元取代有羧基基团的酸不稳定基团用酸不稳定基团 其中,所述门,抗蚀剂含有基础聚合物材料是在重均分子量为1000〜500000的范围内。 (式中,R1是氢原子或甲基,R2和R3各自独立地为氢原子,或一个数1〜6的直链,支链或环状的烷基,X 1是单键; 酯基,醚基或具有含内酯环1至12个碳原子的连接基团;亚苯基或;.亚萘基,X2和X3,其各自独立地表示氧原子或硫原子)装置技术领域

    Acrylic thermoplastic resin and molded body of the same
    6.
    发明专利
    Acrylic thermoplastic resin and molded body of the same 审中-公开
    丙烯酸热塑性树脂和其相同的成型体

    公开(公告)号:JP2014028956A

    公开(公告)日:2014-02-13

    申请号:JP2013178297

    申请日:2013-08-29

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an acrylic thermoplastic resin excellent in transparency and good in thermal resistance, weather resistance and low water absorption and having highly controlled birefringence.SOLUTION: An acrylic thermoplastic resin contains 50 to 95 mass% of a repeating unit derived from methacrylate or methacrylic ester monomer, 0.1 to 20 mass% of a repeating unit derived from N-phenyl substituted maleimide, 0.1 to 49.9 mass% of a repeating unit derived from N-alkyl substituted maleimide. An absolute value of a photoelastic coefficient (C) of the acrylic thermoplastic resin is 3.0×10Paor less and the content of a halogen atom is less than 0.47 mass% based on the mass of the acrylic thermoplastic resin. A glass transformation temperature of the acrylic thermoplastic resin is 120°C or higher and a total light transmittance is 85% or more.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供透明性好,耐热性,耐候性和低吸水性并具有高度控制双折射性的丙烯酸类热塑性树脂。解决方案:丙烯酸类热塑性树脂含有50〜95质量%的衍生自 甲基丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯单体,0.1〜20质量%的衍生自N-苯基取代的马来酰亚胺的重复单元,0.1〜49.9质量%的由N-烷基取代的马来酰亚胺衍生的重复单元。 丙烯酸类热塑性树脂的光弹性系数(C)的绝对值为3.0×10Pa以下,卤素原子的含量相对于丙烯酸类热塑性树脂的质量小于0.47质量%。 丙烯酸类热塑性树脂的玻璃化转变温度为120℃以上,总透光率为85%以上。

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