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公开(公告)号:JP2018525584A
公开(公告)日:2018-09-06
申请号:JP2018506319
申请日:2016-07-25
申请人: バット ホールディング アーゲー
发明人: フローリアン エールネ , マルティン ネッツァー
CPC分类号: F16K3/18 , F16K3/0281 , F16K3/029 , F16K3/3165 , F16K51/02
摘要: ローラ支持部(13)が中間位置から閉位置に動かされた場合、第1展開ローラ(14)および第2展開ローラ(15)が窪み部(23)の傾斜面(23a)に沿って動かされ、第1プレート(11)および第2プレート(12)が展開方向(22)に平行に相互に展開される。各ローラペアを構成する第1展開ローラ(14)および第2展開ローラ(15)のそれぞれの回転軸線(28)(29)が、運動方向(16)について相対的にずらして配置され、展開方向(22)について第1展開ローラ(14)の半径および第2展開ローラ(15)の半径の和よりも小さい間隔(b)を有する。 【選択図】 図12
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公开(公告)号:JP2017528663A
公开(公告)日:2017-09-28
申请号:JP2017513201
申请日:2015-07-02
发明人: ディーガン,ポール・ティモシー
CPC分类号: F28D7/00 , F16K3/029 , F16K27/003 , F16K49/005 , G01L19/0015
摘要: プロセス変数送信器マニホールドが提供され、それはバルブ及びフランジ付き搭載用面(218)を有するバルブ本体(202)を具備する。バルブ本体(202)は、バルブ(102)を通過するプロセス流体を選択的に結合させるためにそこを通過するポート(204)、及びバルブ本体内に冷却用チャネルを有する。冷却用チャネル(212)は、入口(208)、出口(210)、及び入口と出口戸を接続する通路(212)を有する。マニホールド内のプロセス流体の温度を制御する方法は、また提供される。該方法は、マニホールド(200)内のチャネルを通過させて流体を通過させること、マニホールドを貫通する少なくとも1つの穴(212)を通過させてプロセス流体を通過させること、及びチャネルを通過する流体の或る特定の温度に基づいて、プロセス流体の伝導性の冷却又は加熱によりプロセス流体の温度を調整すること、を包含する。
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公开(公告)号:JP2017506315A
公开(公告)日:2017-03-02
申请号:JP2016550551
申请日:2015-02-06
申请人: ヴァルター クラーマー
发明人: ヴァルター クラーマー
IPC分类号: F16K3/02
摘要: 本スライドバルブは、特には搬送ライン(6、7)を備える搬送システム内で使用するために備えられており、また、スライダー(1)を備え、当該スライダー(1)を用いて搬送ライン(6、7)の搬送断面が閉止可能である。スライダー(1)は少なくとも1つの通過口(33)を有している。搬送ライン(6、7)は、少なくとも1つの密閉リング(27、28)を用いてスライダー(1、1a)に対して密閉されている。この密閉部は、スライダーに平面で当接しており、また、前記搬送ライン(6、7)内の圧力及び周囲圧力の間の圧力差によって密閉することする。
摘要翻译: 此滑阀,特别是提供了一种用于在包括输送线输送系统(6,7),还包括(1)使用一个传输线(1),滑块的滑块(6 ,7)输送的横截面是在可闭合的。 滑块(1)具有至少一个通道开口(33)。 输送线(6,7)密封在滑动件(1,1A),具有至少一个密封环(27,28)。 密封部分是在与所述平面到滑块,也通过压力和在管线(6,7)传送的环境压力之间的压力差进行密封接触。
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公开(公告)号:JP6001769B2
公开(公告)日:2016-10-05
申请号:JP2015514422
申请日:2013-05-23
发明人: クボート,ハルトムート , クリンプケ,ラインハルト
IPC分类号: F16K3/14
CPC分类号: F16K3/14 , F16K27/047 , F16K3/0227 , F16K3/029
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公开(公告)号:JP2015102245A
公开(公告)日:2015-06-04
申请号:JP2014227414
申请日:2014-11-07
申请人: バット ホールディング アーゲー
发明人: クリストフ バックマン , フロリアン エルネ
IPC分类号: F16K51/02 , F16K31/122 , F16K3/00 , F16K3/18
摘要: 【課題】圧力調節の実行に関する代替的な手法を提供する。 【解決手段】一の開口部2、3を開放するため、当該一の開口部に対応する一のチャンバ4、5の圧力がバルブハウジングの内部空間である中間チャンバの現在圧力よりも高圧に調節される。これにより一の開口部に対応する一の閉塞要素6、7が当該一の開口部2、3に対応する一のバルブシート10、11から離される。一のチャンバ4、5および中間チャンバの間の圧力調節が実行される。 【選択図】図1
摘要翻译: 要解决的问题:提供进行压力调节的替代方法。解决方案:为了打开开口2,3中的一个,对应于一个开口的腔室4,5中的压力被调节为高于当前压力 在作为阀壳体内部空间的中间室中。 因此,对应于一个开口的闭合件6,7中的一个与对应于开口2,3中的一个的阀座10,11分离。压力调整在腔室4,5中的一个和 中间室。
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公开(公告)号:JP2011506873A
公开(公告)日:2011-03-03
申请号:JP2010537512
申请日:2008-12-11
发明人: セバスチャン ハウズ、ジョナサン , マクノートン、ジェームズ
IPC分类号: F16K3/18 , F16K3/02 , F16K31/528
CPC分类号: F16K15/14 , F16K3/0254 , F16K3/029 , F16K3/188 , Y10T137/7837 , Y10T137/86734 , Y10T137/86759
摘要: A valve (5) comprising a first part (10) defining a first aperture and a second part (2) defining a second aperture(60), the first part being moveable relative to the second part between a closed configuration in which passage of a fluid through the valve (5) is prevented and an open configuration in which passage of fluid is allowed; wherein the first part is moveable laterally relative to the second part such that in the closed configuration the first and second apertures are not registered and in the open configuration they are registered; and wherein the first part, which may be a flexible plate-like member, is protected and constrained to move parallel to a surface defined by the sealing face of the second part by a retaining plate (3).
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公开(公告)号:JP2018528359A
公开(公告)日:2018-09-27
申请号:JP2016576015
申请日:2016-03-24
申请人: フュジェン カンパニー,リミテッド
IPC分类号: F16K3/00 , H01L21/02 , H01L21/677 , F16K51/02
CPC分类号: F16K3/18 , F16K3/029 , F16K25/00 , F16K51/02 , H01L21/02 , H01L21/67126 , H01L21/677
摘要: 本発明は、四角ゲート真空バルブ及びそれを備える半導体製造装置に関し、本発明の四角ゲート真空バルブは、相互に対向される両側面に、第1ゲートと第2ゲートが形成されるゲートフレームと、前記ゲートフレームの上部を遮蔽する遮蔽プレートと、前記ゲートフレームの下部の一側に設けられる第1開口を通じて、前記ゲートフレーム内へ直線移動または回転可能に配置され、前記第1ゲートを選択的に開閉する第1バルブユニットと、及び前記ゲートフレームの下部ので、前記第1開口と離隔配置される第2開口を通じて、前記ゲートフレーム内へ直線移動または回転可能に配置され、前記第2ゲートを選択的に開閉する第2バルブユニットを含む。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JPWO2016052372A1
公开(公告)日:2017-07-13
申请号:JP2016551998
申请日:2015-09-28
申请人: 日本電産コパル株式会社
CPC分类号: F16K3/03 , F02D9/02 , F02D9/14 , F16K3/029 , F16K37/0041
摘要: 本発明の流量制御装置(1)は、開口部(12d)を有するベース(10)と、開口部(12d)を囲むように設けられており、開口部(12d)周りに回動可能なリング部材(50)と、リング部材(50)を回動させるモータ(20)と、開口部(12d)の径方向外側においてベース(10)に支持されており、開口部(12d)の軸線と平行な軸線周りに回動可能な複数の羽根部材(60)と、を備え、リング部材(50)には、溝部(54)が形成されており、羽根部材(60)には、溝部(54)内を摺動可能な突起部(62)が形成されており、モータ(20)がリング部材(50)を回動させることよって、突起部(62)が溝部(54)内を摺動し、複数の羽根部材(60)が回動して開口部(12d)を開閉する。
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公开(公告)号:JP2016508810A
公开(公告)日:2016-03-24
申请号:JP2015560807
申请日:2014-01-31
IPC分类号: A61M16/20
CPC分类号: A61M16/20 , A61M16/0006 , A61M16/0009 , A61M16/08 , A61M16/202 , A61M16/204 , A61M16/205 , A61M39/223 , A61M2039/224 , A61M2039/226 , A61M2039/2433 , A61M2205/0266 , F16K3/0227 , F16K3/029 , F16K7/02 , F16K11/04 , F16K11/0525 , F16K11/0655 , F16K27/04
摘要: 第1及び第2のバルブ部材14a,14b(114a,114b、214a,214b、314a,314b、414a,414b)を持つ可動バルブ素子6(106、206、306、406)が配置された筺体4(104、204、304)を有するバルブ2(102、302、402)が提供される。複数のポートA−Eが筺体に配置され、第1及び第2のシール部8a,8b(10a,10b、108a,108b、110a,110b、208a,208b、210a,210b、308a,308b、310a,310b、408a,408b、410a,410b)が、筺体に接続される。第1及び第2のシール部は、ポートの第1及び第2の組が、第1及び第2のバルブ部材でそれぞれ互いに密封された密封構成をそれぞれ有する。第1のシール部及び第1のバルブ部材のうちの少なくとも1つは、第1のシール部のみが第1のバルブ部材と密封構成にある場合、変形が、第2のシール部が第2のバルブ部材と密封構成となることを可能にするように、変形可能であり、及び/又は、第2のシール部及び第2のバルブ部材のうちの少なくとも1つは、第2のシール部のみが第2のバルブ部材と密封構成にある場合、変形が、第1のシール部が第1のバルブ部材と密封構成となることを可能にするように、変形可能である。
摘要翻译: 第一和第二阀部件14a,14b(114A,114B,214A,214B,314A,314B,414A,414B)壳体4可移动的阀元件6(106,206,306,406)被布置成一个( 设置阀2(102302402),其具有104,204,304)。 多个端口A-E被布置在外壳中,第一和第二密封部8a,8b(10A,10B,108A,108B,110A,110B,208A,208B,210A,210B,308A,308B,310A, 310B,408A,408B,410A,410B)连接到所述壳体。 所述第一和第二密封部分,所述第一和第二组端口的具有在第一和第二阀构件彼此密封的密封结构,分别。 至少所述第一密封部和所述第一阀构件,当只有第一密封部分与第一阀构件,变形,所述第二的第二密封部的密封装置的一个 以允许阀构件和所述密封结构是可变形的,和/或第二密封部中的至少一个和所述第二阀部件中,仅第二密封部 当在与所述第二阀构件,变形,密封装置,使得所述第一密封部,以允许密封结构作为第一阀构件是可变形的。
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公开(公告)号:JP5572553B2
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:JP2010537511
申请日:2008-12-11
发明人: セバスチャン ハウズ、ジョナサン , マクノートン、ジェームズ
IPC分类号: F16K3/18
CPC分类号: F16K15/14 , F16K3/0254 , F16K3/029 , F16K3/188 , Y10T137/7837 , Y10T137/86734 , Y10T137/86759
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