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    高速且つ高解像度のヘテロダイン干渉測定方法及びシステム
    2.
    发明专利
    高速且つ高解像度のヘテロダイン干渉測定方法及びシステム 有权
    速度和高分辨率差干涉测量方法及系统

    公开(公告)号：JP2015528575A

    公开(公告)日：2015-09-28

    申请号：JP2015531420

    申请日：2012-11-08

    申请人： ハルビン インスティテュート オブ テクノロジーHarbin Institute Of Technology ,  ハルビン インスティテュート オブ テクノロジーHarbin Institute Of Technology

    发明人： ジュビン タン ,  ジュビン タン ,  ペンチェン フ ,  ペンチェン フ ,  ジャオフェイ ディアオ ,  ジャオフェイ ディアオ

    IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/00

    CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02045 ,  G01B11/14 ,  G01B2290/70 ,  G01J9/04 ,  G02B27/283

    摘要： 高速高解像度のヘテロダイン干渉方法およびシステムが提供される。空間的に分離され周波数が僅かに異なる2つのビームが用いられ、反対のドップラーシフトを有する2つの測定信号が生成される。スイッチング回路は、対象の移動方向と速度に応じて変位測定のための2つの測定信号の一方を選択する。高速高解像度のヘテロダイン干渉システムは、周波数安定化レーザー1と、偏光ビームスプリッタ(2)と、直角プリズム(6)と、参照リフレクタ(7)と、1/4波長板(4)と、平面ミラー(5)と、測定リフレクタ(3)と、第1のフォトダイオード(8)と、第2のフォトダイオード(9)と、第1の位相計(10)と、第2の位相計(11)と、スイッチング回路(12)と、測定回路(13)とを含む。本発明では、測定は、熱変動に鈍感であり、周期的な非線形性は、空間的に分離された2つのビームを用いて実質的に除去され、干渉計の測定可能な目標速度は、もはやレーザー光源のビート周波数によって制限されない。【選択図】図1

    摘要翻译： 提供高速和高分辨率差干涉的方法和系统。 空间上分离的两个光束被用于略微不同的频率，具有产生相对多普勒频移的两个测量信号。 开关电路选择用于根据所述物体的移动方向和速度位移测量两个测量信号中的一个。 高速和高分辨率差干涉系统包括稳频激光器1，偏振光束分离器（2），和矩形棱柱（6），和参考反射器（7），四分之一波长板（4），平面镜 和（5），并且测量反射器（3），所述第一光电二极管（8），以及第二光电二极管（9），所述第一相位计（10），第二相位计（11） 如果，它包括一个开关电路（12），测量电路（13）。 在本发明中，测量是不敏感的热变化，周期性非线性使用两个光束在空间上分离基本上除去，干涉仪的可测量的目标速度不再 不是由激光光源的差拍频率的限制。 点域1

    絶対距離レーザ干渉計
    3.
    发明专利
    絶対距離レーザ干渉計 有权
    绝对距离测量激光干涉仪

    公开(公告)号：JP2014228545A

    公开(公告)日：2014-12-08

    申请号：JP2014103601

    申请日：2014-05-19

    申请人： アットキューブ システムズ アーゲー ,  Attocube Systems Ag ,  アットキューブ システムズ アーゲー

    发明人： KLAUS THURNER ,  PIERRE-FRANCOIS BRAUN ,  KARRAI KHALED

    IPC分类号： G01B9/02

    CPC分类号： G01B9/02 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02007 ,  G01B11/00 ,  G01B2290/25

    摘要： 【課題】干渉法による絶対距離測定の技術を提供する。【解決手段】絶対距離測定用デバイス100は、第1の変調周波数によって変調された第1の可変周波数の第1の波長光を放出するための第1の波長可変光源110と、第2の変調周波数によって変調された第2の周波数の第2の波長光を放出するための第2の光源120と、を含む。光結合器130は、第1の波長光および第2の波長光を干渉計キャビティ140へ結合する。干渉計型検出器は、検出された干渉パターンに基づいて、干渉測定信号を提供する。復調ユニットは、第1の変調周波数での復調による干渉測定信号に基づいた第1の復調信号と、第2の変調周波数での復調による干渉測定信号に基づく第2の復調信号とを生成する。計算ユニットは、第1の可変周波数の掃引中に取得された第1の復調信号、および第2の復調信号を評価することによって、絶対距離を計算する。【選択図】図1

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种基于干涉测量的绝对距离测量技术。解决方案：用于绝对距离测量的设备100包括第一波长可变光源110，其以第一调制频率调制的第一可变频率发射第一波长光 以及第二光源120，其以由第二调制频率调制的第二频率发射第二波长光。 光耦合器130将第一波长光和第二波长光耦合到干涉仪腔140.干涉仪型检测器基于检测到的干涉图案来提供干涉测量信号。 解调部基于由于第一调制频率的解调而产生的干扰测量信号和基于由于第二调制频率的解调而产生的干扰测量信号的第二解调信号而生成第一解调信号。 计算单元通过评估在第一可变频率的扫描期间获得的第一解调信号和第二解调信号来计算绝对距离。

    Interference measurement device and interference measurement method
    4.
    发明专利
    Interference measurement device and interference measurement method 审中-公开
    干扰测量装置和干扰测量方法

    公开(公告)号：JP2014115228A

    公开(公告)日：2014-06-26

    申请号：JP2012270585

    申请日：2012-12-11

    申请人： Canon Inc ,  キヤノン株式会社

    发明人： NISHIKAWA HIRONARI

    IPC分类号： G01B9/02

    CPC分类号： G01B11/0675 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0207 ,  G01B9/02075 ,  G01B9/02082 ,  G01B9/02083 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/303 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/50 ,  G01B2290/60

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an interference measurement device advantageous in accuracy even in a measurement in which an inspection target surface is a rough surface.SOLUTION: An interference measurement device measures a distance to an inspection target surface using a plurality of light beams having different wavelengths. The interference measurement device includes: light splitting part for splitting each of the plurality of light beams into an inspection target light beam and a reference light beam; an objective lens which the inspection target light beam passes through; a photoelectric conversion element which receives an interference light beam caused by the inspection target light beam and the reference light beam for each of the plurality of light beams, and outputs an interference signal obtained by converting the interference light beam into an electric signal; and a calculation part which, by using the interference signal, calculates a distance on the basis of a phase obtained by subtracting a defocus wavefront from a phase component of a complex amplitude at a pupil position of the objective lens for each of the plurality of light beams.

    摘要翻译： 要解决的问题：即使在检查对象表面是粗糙表面的测量中也提供有利于精度的干涉测量装置。解决方案：干涉测量装置使用多个光束来测量到检查对象表面的距离，所述多个光束具有 不同波长。 干涉测量装置包括：分光部，用于将多个光束中的每一个分成检查对象光束和参考光束; 检查对象光束通过的物镜; 接收由所述检查对象光束引起的干涉光束和所述多个光束中的每一个的参考光束的光电转换元件，并且将通过将所述干涉光束变换为电信号而获得的干扰信号输出; 以及计算部，其通过使用所述干涉信号，根据通过从所述多个光中的每一个的所述物镜的光瞳位置处的复振幅的相位分量减去散焦波前而​​获得的相位来计算距离 梁。

    Optical coherence tomography imaging device and optical coherence tomography imaging method
    5.
    发明专利
    Optical coherence tomography imaging device and optical coherence tomography imaging method 有权
    空值

    公开(公告)号：JP5339828B2

    公开(公告)日：2013-11-13

    申请号：JP2008234780

    申请日：2008-09-12

    申请人： キヤノン株式会社

    发明人： 太 廣瀬

    IPC分类号： G01N21/17 ,  A61B3/12 ,  A61B10/00 ,  G01B9/02 ,  G01B11/24

    CPC分类号： G01B9/02091 ,  A61B3/102 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02077 ,  G01B9/02083

    摘要： An optical coherence tomographic apparatus wherein a reference light path includes at least a first reference light path and a second reference light path having an optical path length shorter than that of the first reference light path, wherein first tomographic information of the object at a first inspection position based on the optical interference using the first reference light path and second tomographic information of the object at a second inspection position based on the optical interference using the second reference light path, are acquired, the second inspection position being shallower than the first inspection position with respect to a depth direction of the object, and wherein a positional deviation a tomographic image at the first inspection position obtained based on the first tomographic information is corrected using the second tomographic information.

    摘要翻译： 一种光学相干断层摄影装置，其中参考光路包括至少第一参考光路和具有比第一参考光路的光路长度短的光程长度的第二参考光路，其中在第一次检查时物体的第一层析信息 基于使用第二参考光路的光学干涉，基于使用第一参考光路的光学干涉的位置和在第二检查位置处的物体的第二断层信息被获取，第二检查位置比第一检查位置浅 相对于物体的深度方向，并且其中使用所述第二层析信息来校正基于所述第一层析信息获得的在所述第一检查位置处的断层图像的位置偏差。

    Measuring apparatus
    6.
    发明专利
    Measuring apparatus 有权
    测量装置

    公开(公告)号：JP2012122850A

    公开(公告)日：2012-06-28

    申请号：JP2010273941

    申请日：2010-12-08

    申请人： Canon Inc ,  キヤノン株式会社

    发明人： OKADA YOSHIYUKI

    IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/00

    CPC分类号： G01B9/02003 ,  G01B9/02045 ,  G01B9/02079

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To inexpensively provide a measuring apparatus for highly accurately measuring a position of a measuring object.SOLUTION: An apparatus for acquiring a digital reference signal from reference light modulated by a first frequency by a modulation part, acquiring a digital measurement signal from measurement light reflected from a measuring object irradiated with light modulated by the first frequency and processing the digital reference signal and the digital measurement signal to measure the position of the measuring object includes: first and second synchronizing detection parts for multiplying the digital measurement signal by a sine signal or a cosine signal synchronizing with the digital reference signal and respectively outputting a signal having the second frequency and a harmonic component; first and second decimation filters for filtering the signal outputted from the first or second synchronizing detection part by a decimation frequency to attenuate the harmonic component; and an operation part for calculating the position of the measuring object based on signals outputted from the first and second decimation filters.

    摘要翻译： 要解决的问题：为了低成本地提供用于高精度地测量测量对象的位置的测量装置。 解决方案：一种用于通过调制部分从由第一频率调制的参考光获取数字参考信号的装置，从由从第一频率调制的光照射的测量对象反射的测量光中获取数字测量信号，并处理 数字参考信号和测量对象位置的数字测量信号包括：第一和第二同步检测部分，用于将数字测量信号乘以与数字参考信号同步的正弦信号或余弦信号，并分别输出具有 第二频率和谐波分量; 第一和第二抽取滤波器，用于通过抽取频率对从第一或第二同步检测部分输出的信号进行滤波，以衰减谐波分量; 以及操作部，用于基于从第一和第二抽取滤波器输出的信号来计算测量对象的位置。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT