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公开(公告)号：JP2021190533A
公开(公告)日：2021-12-13
申请号：JP2020093566
申请日：2020-05-28
申请人： 株式会社ディスコ
发明人： 五十嵐 元彰
IPC分类号： B24D5/12 , B24B27/06 , B24B1/04 , H01L21/301
摘要： 【課題】ハブ型の切削ブレードにおいて砥粒のサイズに関わらず基台と切り刃とを充分に固定する。 【解決手段】ブレードマウント46を介してスピンドル40aに装着され、超音波振動を付与した状態で、チャックテーブルで保持された被加工物を切削する切削装置の切削ユニット18で用いられる切削ブレード60は、ボンドで固定された砥粒を有する環状の切り刃64と、ブレードマウント46の中央ボス部50に嵌合する貫通開口46aと、貫通開口46aよりも外周側に設けられ、切り刃64の環状の一面64aの一部に接着剤66で固定される環状面62cと、を有する環状基台62と、を備える。環状面62cと、切り刃64の環状面62cに対応する領域と、の少なくとも一方には、接着剤66が収容される凹部62dが設けられており、凹部62dには、接着剤66の層が形成されている。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2021160068A
公开(公告)日：2021-10-11
申请号：JP2020067459
申请日：2020-04-03
申请人： 株式会社ディスコ
IPC分类号： B24B1/04 , B24B7/04 , H01L21/304 , B24D7/06
摘要： 【課題】研削砥石に伝達される垂直方向の振動における振幅量を、硬い被加工物を研削する場合でも研削速度を速くすることが可能な振幅量とする。 【解決手段】ホイールマウント74と研削砥石90との間に、垂直方向に超音波振動する圧電アクチュエータ92を備えている。このため、圧電アクチュエータ92における垂直方向の超音波振動を、直接的に研削砥石90に伝達し、研削砥石90を、垂直方向に振動させることができる。このため、研削砥石90における垂直方向の振動の振幅量を、容易に大きくすることができる。したがって、ウェーハ100がSiC基板などの硬い被加工物である場合にも、研削速度を速くすることができる。すなわち、研削砥石90に伝達される垂直方向の超音波振動における振幅量を、硬い被加工物を研削する場合でも研削速度を速くすることが可能な振幅量とすることができる。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2021137885A
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2020035403
申请日：2020-03-03
申请人： 合同会社エルケイ企画
发明人： 平等 いづみ
摘要： 【課題】 小型化かつ低価格化することができ、人手による運搬が可能で作業負担も小さく、工事コストを安くすることができるうえ、小部屋や階段、コーナー部、スポット的な欠陥の研磨に適したコンクリート打設面の研磨装置を提供する。 【解決手段】 コンクリート打設面を研磨する研磨装置であって、手押し移動可能な基体10と、この基体10に取り付けられたハンドル14と、基体10に設けられた発振手段11と、この発振手段11の振動子11aに着脱可能に取り付けられ、発振手段11の駆動によって直線方向に往復振動しながら前記打設面の研磨を行う矩形状の振動研磨部材2とを有する。振動研磨部材2は、振動子11aに着脱される矩形状の型盤21と、この型盤21の一面に形成され矩形状に配置された複数の研磨突子22とを有するものとしてもよい。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JP2021102259A
公开(公告)日：2021-07-15
申请号：JP2020098208
申请日：2020-06-05
申请人： 株式会社ジーベックテクノロジー , 大明化学工業株式会社
发明人： 岡田 浩之
摘要： 【課題】ワークの表面に多様な加工を施すことが容易となる表面テクスチャリング方法を提案すること。 【解決手段】 ワークWに表面テクスチャリングを施すのに際して、まず、工作機械のヘッド100と工具15との間に、ヘッド100の回転を回転中心線L0回りの回転動作および回転中心線L0方向の直線往復動作に変換して工具15に伝達する工具ホルダ1を介在させる(ステップST1)。次に、工作機械を駆動してヘッド100を所定の回転方向Rに回転させるとともに、ヘッド100を交差方向Dに移動させながら、工具15をワークWに接触させる(ステップST2)。工具15は、軸付き砥石(3)であり、弾性を備えるネック部155を備える。ワークWは金型であり、軸付き砥石(3)は、金型のキャビティV内に設けられたリブGの側面に接触する。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP2021094686A
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：JP2020107061
申请日：2020-06-22
申请人： 株式会社ディスコ
发明人： スティーブ ラティーナ
IPC分类号： B24B1/00 , B24B1/04 , B24B41/06 , B28D1/24 , B28D7/04 , B26F3/00 , B26D7/08 , H01L21/301 , B24B27/06
摘要： 【課題】ワークピースを高い精度で加工し易い新たなワークピースの加工方法を提供する。 【解決手段】砥粒を含む円盤状のブレードでワークピースを加工する際に用いられるワークピースの加工方法であって、ワークピースの表面側を構成する材料よりも弾性率の高い材料からなる補助プレートをワークピースの表面に配置し、回転させたブレードをワークピースの表面側に切り込ませて補助プレートとともにワークピースを切削し、切削された後のワークピースから補助プレートを除去する。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2021510639A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：JP2020540402
申请日：2019-01-22
发明人： ヴェアナー ウナーシュタル , クリスティアン ヴァル , クリスティアン ブアシュタイン , シュテファン カンプマイアー
摘要： ワークの表面コーティングにおける欠陥箇所(1)を研削および/または研磨する方法であって、工具に保持された研削または研磨ディスクを、欠陥箇所(1)にわたって圧力を加えながら円形軌道の回転式および/または振動式の運動でガイドし、研削または研磨ディスク(7)を備えた工具を自動的にかつコンピュータ制御して保存されたプログラムにつき欠陥箇所(1)にわたって移動させるように構成されている方法において、研削または研磨ディスク(7)を、まず欠陥箇所(1)に対して同心的な内側の研削軌道(2)に沿ってガイドし、次いで中断なしに螺旋状の研削軌道(3)に沿って同心的な外側の研削軌道(4)へとガイドする、方法。
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公开(公告)号：JP2021049638A
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：JP2020199321
申请日：2020-12-01
申请人： 株式会社東京精密
摘要： 【課題】基板表層部の割れや酸化被膜層及び接着層の剥離等を無くし、低ダメージ加工を実現する。 【解決手段】被加工材Wの外周部を研削する面取り装置において、研削ユニットのスピンドルに嵌合して固定された振動フランジ22と、外周の下面に砥石24が設けられ、振動フランジ22へ嵌合された砥石ホイール108と、振動フランジ22の外周側で砥石24の上面より下側となる砥石ホイール108の底面側に設置され、半径方向に超音波振動する圧電素子21と、を備え、砥石24に圧電素子21による超音波振動を与えながら半径方向に切り込んで被加工材Wの外周部を面取り加工する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：KR102227956B1
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020180001731A
申请日：2018-01-05
申请人： 주식회사 마산
摘要： 강판에 대한 연마를 하는 동안 상부 롤과 하부 롤이 강판에 대해 오실레이션 작동을 하도록 구성하고, 오실레이션 작동시 강판의 단부를 감지하여 자동으로 좌우 경계부까지 오실레이션 작동이 이루질 수 있도록 함으로써, 상부 롤의 마모를 방지할 수 있고, 고품질의 강판을 생산할 수 있는 강판 연마용 브러쉬 장치가 소개된다. 이러한 강판 연마용 브러쉬 장치는 상부 롤과 하부 롤의 사이로 강판을 통과시켜 강판의 표면을 연마 또는 세척하는 강판 연마용 브러쉬 장치에 있어서, 상기 상부 롤과 하부 롤이 설치되는 롤 프레임과,ㅌ 상기 롤 프레임이 오실레이션 작동을 하도록 동력을 공급하는 오실레이션 모터와, 상기 이동 가이드의 슬라이딩 이동 방향이 변환될 수 있도록, 상기 상부 롤과 하부 롤의 사이로 통과하는 강판의 좌측 또는 우측 단부를 감지하여 상기 오실레이션 모터의 회전 방향을 결정하는 신호를 발생시키고, 이 신호를 상기 오실레이션 모터로 전송하는 강판 단부 감지기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：JP2019214091A
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：JP2018111915
申请日：2018-06-12
申请人： 三和商工株式会社
发明人： 小野塚 大貴
摘要： 【課題】平面状の表面から比較的狭い溝部まで研磨することができる超音波研磨装置のチャック部材を提供する。 【解決手段】チャック部材5は、一方の端部に、チャック部材5を互いに対向する第1のチャック部5A、第2のチャック部5Bに分割するスリット部5aを有し、スリット部5aは、直進部5Cと、チャック部材5の長軸に対して第1のチャック部5Aから第2のチャック部5Bの方向に屈曲させた屈曲部5Dとを備えている。直進部5Cは、第1のチャック部5A及び第2のチャック部5Bに連通し、研磨用チップ6を固定するネジのネジ穴5dを有し、頭部が屈曲部の屈曲方向と反対側に位置するように挿入された皿ネジ7を有している。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP6511105B2
公开(公告)日：2019-05-15
申请号：JP2017166567
申请日：2017-08-31
IPC分类号： H01L21/304 , B24B1/04 , B24B27/06
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