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1633 条记录 (耗时 0.02 秒)

    保持面の検査方法
    1.
    发明专利
    保持面の検査方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021186957A

    公开(公告)日：2021-12-13

    申请号：JP2020097971

    申请日：2020-06-04

    申请人： 株式会社ディスコ

    发明人： 廣沢 俊一郎

    IPC分类号： B24B41/06 ,  B24B7/04 ,  H01L21/304 ,  B24B49/02

    摘要： 【課題】保持面の形状を容易に測定することができる保持面の検査方法を提供すること。 【解決手段】保持面の検査方法は、被加工物をインフィード研削する研削装置において、円錐状のチャックテーブルの保持面の形状を検査する方法であって、チャックテーブルの保持面で評価用被加工物を保持する評価用被加工物保持ステップ1001と、チャックテーブルの回転を停止した状態で評価用被加工物を研削ホイールで研削し、チャックテーブルの回転中心を通る研削砥石の移動軌跡に沿った円弧状の研削溝を評価用被加工物に形成する研削溝形成ステップ1002と、研削溝に対応した研削残し部の厚さを複数の位置で測定し、円錐状の保持面の形状を算出する保持面形状算出ステップ1003と、算出された保持面の形状が、許容範囲内か否かを判定する判定ステップ1004と、を備える。 【選択図】図4

    加工システム
    2.
    发明专利
    加工システム 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021130150A

    公开(公告)日：2021-09-09

    申请号：JP2020025738

    申请日：2020-02-18

    申请人： 株式会社東京精密

    发明人： 白鳥 宰

    IPC分类号： B24B49/10 ,  B24B7/00 ,  B24B37/013 ,  H01L21/304 ,  B24B49/02

    摘要： 【課題】加工システムの加工効率を損なうことなく、加工の適否を判定可能な加工システムを提供する。 【解決手段】加工システム1は、ワークWを吸着保持するチャックテーブル3と、チャックテーブル3を回転軸2a周りに回転移動させるインデックステーブル2と、平面から視てチャックテーブル3の回転中心の回転軌道O上に設置されて、研磨後のワークWの膜厚を非接触で測定する測定装置7dと、測定装置7dの測定値に基づいてワークWの予想形状を演算し、ワークWの予想形状と予め記憶された研磨後のワークWの目標形状とを比較して、加工の適否を判定する制御装置8と、を備えている。 【選択図】図1

    タイヤ研磨装置及び研磨方法
    7.
    发明专利
    タイヤ研磨装置及び研磨方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020131366A

    公开(公告)日：2020-08-31

    申请号：JP2019028359

    申请日：2019-02-20

    申请人： 住友ゴム工業株式会社

    发明人： 村山 翔士

    IPC分类号： B24B41/06 ,  B24B49/02 ,  B24B49/12 ,  B29D30/00 ,  B24B7/16 ,  B24B19/22

    摘要： 【課題】タイヤの生産性の向上に貢献できる、タイヤ研磨装置及び研磨方法を提供する。 【解決手段】タイヤ研磨装置22は、タイヤ2を保持するリム部24と、リム部24を回転させる回転部26と、リム部24の回転角度を計測するエンコーダー28と、タイヤ2に対する砥石48の位置を調整する調整部32と、隆起部の研磨状態を観測するイメージセンサー36と、イメージセンサー36によって観測された隆起部の研磨状態に基づいて、隆起部の研磨状態の良否を判定する判定部76とを備える。 【選択図】図1

    測定治具
    8.
    发明专利
    測定治具 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020124753A

    公开(公告)日：2020-08-20

    申请号：JP2019016824

    申请日：2019-02-01

    申请人： 株式会社ディスコ

    发明人： 新居 武典 ,  田村 正和

    IPC分类号： B24B49/02 ,  B24B49/10 ,  B24B7/04 ,  B24B55/06 ,  H01L21/304 ,  B24B47/22

    摘要： 【課題】テーブル保持面とマウント装着面との間隔を測定する治具において、雌ねじに研削屑が固着していても治具のマウントへの装着を可能にする。 【解決手段】テーブル30の保持面と、被加工物を研削する砥石740を環状に配設したホイール74を装着するマウント73の装着面との間隔を砥石740の軌跡に沿って測定する治具9であり、マウント73は、装着面に雌ねじ735が形成され、測定治具9は、雌ねじ735に螺合させる雄ねじ900を立設させる基台90と、基台90からマウント73の径方向に延在するアーム91と、アーム91に装着し砥石740の軌跡に対応する保持面の変位を測定する測定子922を有するゲージ92と、を備え、雄ねじ900は、雄ねじ900の立設方向にねじ山900aを横断する溝900bを備え、雌ねじ735に螺合させる際、ねじ山900aと溝900bとの角で雌ねじ735に付着した付着物を剥ぎ取りマウント73に装着する測定治具9。 【選択図】図2