ダイシング加工用製剤及び加工処理液

    公开(公告)号:JP2020035967A

    公开(公告)日:2020-03-05

    申请号:JP2018163424

    申请日:2018-08-31

    Abstract: 【課題】ダイシング工程においてウェーハから生じるダイシング屑、ダイシングテープの粘着剤層から生じる粘着剤の微細片を効果的に除去する。 【課題手段】重合度が200〜400で、ケン化度が75〜85モル%である部分ケン化ポリビニルアルコール1.0〜1.5質量%と、ポリオキシエチレンとポリオキシプロピレンの重合数比が75:25〜85:15であり数平均分子量が10000〜20000であるポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールエーテルの0.4〜0.6質量%を純水中に含有させダイシング加工用製剤とする。 この加工用製剤は、純水で1万〜10万倍に希釈した加工処理液として、ダイシング加工処理工程においてダイシングブレードに吹付けるようにして使用する。 【選択図】なし

    Hydraulic fluid
    5.
    发明专利
    Hydraulic fluid 有权
    液压油

    公开(公告)号:JP2013204018A

    公开(公告)日:2013-10-07

    申请号:JP2012077718

    申请日:2012-03-29

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To improve both slipping prevention by stick slip generation, and cold resistance in hydraulic fluid.SOLUTION: Hydraulic fluid which uses glycol as a base material includes: (a). 0.01 to 1 wt.% alkylamine compound or alkenyl amine compound including specified C 6 to 20; (b) 0.01 to 1 wt.% phosphoric ester expressed by formula 2: [R(AO)]-P-(OH), (where, Ris an alkyl group of C 4 to 20, AO is ethylene oxide or propylene oxide, n is 4 to 20, m is 1 to 3); (c) 1 to 25 wt.% specified monoalkyl ether of polyoxyethylene polyoxypropylene copolymer which number average molecular weight is 800 to 4,000, and/or glycerin-polyoxypropylene adduct expressed by formula 4.

    Abstract translation: 要解决的问题:通过粘滑产生和液压油中的耐冷性来改善防滑。解决方案:使用二醇作为基材的液压油包括:(a)。 0.01〜1重量%的烷基胺化合物或含有规定的C 6〜20的烯基胺化合物; (b)由式2表示的0.01至1重量%的磷酸酯:[R(AO)] -P-(OH)(其中,R为C 4至20的烷基,AO为环氧乙烷或环氧丙烷, n为4〜20,m为1〜3); (c)1至25重量%的特定的数均分子量为800至4,000的聚氧乙烯聚氧丙烯共聚物的单烷基醚和/或由式4表示的甘油 - 聚氧丙烯加合物。

    Water-soluble machining oil composition for fixed-abrasive wire saw
    9.
    发明专利
    Water-soluble machining oil composition for fixed-abrasive wire saw 审中-公开
    用于固定电线的水溶性加工油组合物

    公开(公告)号:JP2011256377A

    公开(公告)日:2011-12-22

    申请号:JP2011106667

    申请日:2011-05-11

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an excellent water-soluble machining oil for a fixed-abrasive wire saw which exhibits cutting performance and machined surface grade superior to a conventional commercial water-soluble machining oil and moreover, has low foaming property, in cutting work of a brittle material such as silicon.SOLUTION: The water-soluble machining oil for the fixed-abrasive wire saw contains the following components (A) to (E): (A) glycols; (B) a 6-14C aliphatic dicarboxylic acid and/or aliphatic tricarboxylic acid; (C) an amine compound; (D) a compound expressed by formula (1): R-O-(EO)(PO)-H(1); and (E) compounds of formula (2): R-O-(EO)(PO)-H or (3): RN(R-O-(EO)(PO)-H).

    Abstract translation: 要解决的问题:为了提供优于常规市售水溶性机油的切割性能和加工表面等级的固定磨料线锯的优异的水溶性机械加工油,而且具有低发泡性, 在诸如硅的脆性材料的切割加工中。

    解决方案:固定磨料线锯的水溶性加工油含有以下成分(A)〜(E):(A)二醇类; (B)6-14C脂族二羧酸和/或脂族三羧酸; (C)胺化合物; (D)由式(1)表示的化合物:R 1 -O-(EO) x POST“> 1 (PO) y 1 -H(1); 和(E)式(2)的化合物:R 2 -O-(EO) x 2 (PO) y 2 -H或(3):R 4 (3-Z 3 ) (R 3 -O-(EO) X 3 Y 3 -H) Z 3 。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT

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