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公开(公告)号：JP2021099290A
公开(公告)日：2021-07-01
申请号：JP2019231977
申请日：2019-12-23
申请人： セイコーインスツル株式会社
摘要： 【課題】流体の圧力変化に伴う流路の形状変化を妨げずに流体の流動を検知する。 【解決手段】流動検知装置100は、流体が通過する流路の流動を検知する流動検知装置であって、第一空気室21と、前記第一空気室と連通孔を介して連通する第二空気室22と、前記流路の外周面に接触し、前記第二空気室の側壁の一部を形成する可撓体4と、前記第一空気室と前記第二空気室との圧力差を検出するセンサ3と、を備え、前記第二空気室は、前記第一空気室と連通する前記連通孔31を除いて気密である。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP6853418B2
公开(公告)日：2021-03-31
申请号：JP2020518053
申请日：2018-09-27
发明人： ボール, ベンヤミン , イーレ, ヤン , フンデルトマルク, ベルト , ポルダー, ベルント , ヴォールゲムート, クリスティアーン
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公开(公告)号：JP2020148716A
公开(公告)日：2020-09-17
申请号：JP2019048414
申请日：2019-03-15
IPC分类号： G01L13/00
摘要： 【課題】異なる位置から導入される流体の流路の内容積の差を少なくして高精度な測定を簡易な構造で行える差圧センサを提供する。 【解決手段】第一ケース部材11に設けられた第一台座部材21と、第二ケース部材12に設けられた第二台座部材22と、第一台座部材21と第二台座部材22との間に設けられ第一流体と第二流体との圧力差を検出するセンサチップ5とを備え、センサチップ5は、第一板部51と第二板部52との間で挟持されたダイアフラム部53を有する。第一ケース部材11の外面には第一開口11Aが形成され、第二ケース部材12の外面には第二開口12Aが形成され、第一ケース部材11の外面と第二ケース部材12の外面との間の中心Cがダイアフラム部53と一致し、かつ、ダイアフラム部53を挟んで第一板部51、第一台座部材21及び第一ケース部材11と第二板部52、第二台座部材22及び第二ケース部材12とを対称構造とする。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2020113257A
公开(公告)日：2020-07-27
申请号：JP2019212979
申请日：2019-11-26
申请人： ザ・ボーイング・カンパニー , The Boeing Company
发明人： ジェームズ ビー.ターナー , チャールズ エス.フォス
摘要： 【課題】バッテリに依存せずに確実且つ持続的に駆動することが可能で設置及び使用が容易なセンサユニットを提供する。 【解決手段】航空機の飛行特性を示すセンサデータを取得するための音響駆動センサユニット100は、ハウジング、ダイヤフラム112を有する第1部分200a、及び、航空機の外側に接続される第2部分200bを含む。ダイヤフラム112は、航空機のエンジンから音響エネルギーを受け取り、ダイヤフラム112の振動により運動エネルギーを受け取り電力信号を生成するボイスコイルアクチュエータ114を含む。ハウジング内に設けられるとともに電力信号からのエネルギーを用いて電力供給される1つ以上のセンサ120をさらに含む。1つ以上のセンサ120は、航空機の飛行特性を示すセンサデータを取得するように構成されている。 【選択図】図2A
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公开(公告)号：JP2019023566A
公开(公告)日：2019-02-14
申请号：JP2015238171
申请日：2015-12-07
申请人： アルプス電気株式会社
摘要： 【課題】製造が容易で、被水や結露などに対して耐性がある圧力センサを提供する。 【解決手段】第1素子を収納する第1収納部と、第2素子12を収納する第2収納部22と、第1収納部と第2収納部22とを隔離する隔壁23と、を有し、第1素子は第1収納部内に配置され、第1収納部に第1の気体が導入される第1の開口部20aが設けられており、第2素子12は、第2収納部22内に第1素子の検知面と第2素子12の検知面12aとが同一の方向を臨むように配置され、第2収納部22に第2の気体が導入される第2の開口部20b、20cが設けられており、第2収納部22は、第2の開口部20b、20cが第1の開口部20aと異なる方向に開放して設けられている。 【選択図】図12
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公开(公告)号：JP2018159595A
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：JP2017056201
申请日：2017-03-22
申请人： アズビル株式会社
摘要： 【課題】差圧センサチップ内に圧力伝達物質を確実に導入する。 【解決手段】本発明に係る差圧センサチップの製造方法は、第1および第2圧力導入孔21_1,21_2と、第1および第2圧力導入孔を覆って形成された第1および第2ダイアフラム23_1,23_2と、第1および第2ダイアフラムを挟んで第1および第2圧力導入孔と夫々対面配置された凹状の第1および第2ストッパ部24_1,24_2と、第1ストッパ部と第1ダイアフラムとの間の部屋と第2ストッパ部と第2ダイアフラムとの間の部屋とを連通させる第1連通路25と、一端が開口し他端が対応する上記部屋に夫々連結した第1および第2オイル導入路とを有する半導体チップを形成するステップと、第1および第2オイル導入路の何れか一方の開口部から圧力伝達物質を導入するステップと、第1および第2オイル導入路の一端を封止するステップとを含む。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018155703A
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017054854
申请日：2017-03-21
申请人： セイコーインスツル株式会社
摘要： 【課題】圧力変動の検出を精度よく行うことができるとともに、検出感度の線形性向上することができる圧力センサを提供すること。 【解決手段】圧力センサ1は、内部にキャビティ10が形成されたセンサ本体3と、センサ本体3に片持ち状に支持された状態でキャビティ10内外の差圧に応じて撓み変形するカンチレバー4を有する差圧センサと、キャビティ10内部の圧力を可変する圧力制御部7と、圧力制御部7からの出力信号に基づいて、圧力センサ1の出力信号を生成する演算処理部6とから構成されている。圧力制御部7は、差圧センサの出力信号に基づいて、キャビティ10内外に差圧が発生しないよう、キャビティ10内部の圧力を制御する。 【選択図】図2
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