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公开(公告)号：JP2018155689A
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017054400
申请日：2017-03-21
Applicant: 株式会社日立製作所
IPC: G01L19/12
Abstract: 【課題】放射線による半導体素子の劣化に応じて半導体素子を切り替えることができるようにした圧力監視システムを提供すること。 【解決手段】圧力監視システム1は、所定の半導体素子111が切替可能に複数設けられている圧力伝送装置11と、圧力伝送装置の周囲の放射線を計測する放射線計測装置12と、所定の半導体素子に対する放射線の影響を記憶する影響管理テーブル15と、放射線計測装置から取得する情報と影響管理テーブルとに基づいて、所定の半導体素子の劣化を診断し、その診断結果に応じて複数の所定の半導体素子のうち主回路110へ接続する切替先の所定の半導体素子を選択する素子劣化診断装置14と、切替先の所定の半導体素子を主回路へ接続する切替装置13と、を備える。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2016109525A
公开(公告)日：2016-06-20
申请号：JP2014246405
申请日：2014-12-05
Applicant: 株式会社日立製作所
Abstract: 【課題】 圧力伝送装置の外部から侵入した水素もしくは内部で発生した水素が導圧路内部で気泡化することにより、指示値がドリフトを起こし、正確な数値が出力されない。 【解決手段】 受圧ダイアフラムで受けた圧力を、封入された封入液を介して圧力をセンサに伝送する絶対圧或いは差圧の圧力伝送装置において、置換器部の前記受圧ダイアフラム側に加熱装置と真空装置を取り付けたフランジを設けるように構成した。 【選択図】 図5
Abstract translation: 要解决的问题：为了解决指示值漂移并且不输出正确数值的问题，因为从压力传递装置的外部进入的氢气或内部产生的氢气在压力引导通道内发泡。解决方案：A 压力传递装置，用于传递给传感器的绝对压力或压差传感装置，由压力接收膜片通过封闭液体接收的压力具有设置有加热器和真空装置的法兰的结构，压力接收膜片 侧面在置换器部分。选择图：图5
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公开(公告)号：JP2015096806A
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：JP2013236392
申请日：2013-11-15
Applicant: 株式会社日立製作所
Abstract: 【課題】外部から侵入した水素もしくは内部で発生した水素および炭化水素類に抗して検出精度の維持が可能な圧力・差圧伝送器を提供する。 【解決手段】圧力を伝達させるための封入液を導圧路内部に封入した圧力・差圧伝送器40において、ダイアフラム50と本体側壁面との間に空間を形成するものであって、本体側壁面に接続された導圧路60を有しており、空間と導圧路に封入された封入液80を介して、ダイアフラムで受けた圧力をセンサ130に伝送するものにおいて、少なくとも封入液、本体側壁面或いは本体側壁面からセンサまでの一部に封入液の水素原子を吸蔵するための水素吸蔵材90を設け、出力回路120を本体部から隔離するように構成した。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供能够确保从外部进入的氢气的检测精度的压力/压力差变送器，或内部产生的氢气和碳氢化物等。解决方案：在压力/压力差变送器40中，其中密封的液体80 为了传递压力，将压力密封在压力导管60内，在隔膜50与主体的壁面之间形成空间。 压力导管60连接到主体的壁面。 隔膜50通过密封在空间中的密封液体80和压力引导管道接收的压力传递到传感器130.压力/压力差传感器40至少包含密封液体，并且被设置成具有吸氢储存器 用于吸收和储存密封液体中的氢原子的材料90，壁表面上的一部分或从壁面到传感器130的一部分。输出电路120设置成与主体分离。
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公开(公告)号：JP2019192664A
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：JP2018079593
申请日：2018-04-18
Applicant: 株式会社日立製作所
IPC: H01L29/78 , G01T7/00 , G01T1/24 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L21/336
Abstract: 【課題】高い放射線環境に曝される半導体装置において、γ線の被曝に起因して絶縁膜に電荷が溜まり、リーク電流が生じることを防ぐことで、半導体装置の信頼性を高める。 【解決手段】半導体基板の上面のドレイン領域2およびソース領域3と、半導体基板上に形成されたゲート電極4とを有するMOSFETと、半導体基板上において、アクティブ領域を露出する開口部を備えた素子分離絶縁膜9とを形成する。ここで、素子分離絶縁膜9と平面視で重なり、ゲート電極4と一体となっているゲート引き出し配線16を、ゲート電極4から露出する領域において、平面視でドレイン領域2およびソース領域3の相互間に跨がらない位置に形成する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019186706A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2018074023
申请日：2018-04-06
Applicant: 株式会社日立製作所
IPC: H03F3/34
Abstract: 【課題】高放射線が照射される環境において計測などが正しく行える回路を提供する。 【解決手段】耐放射線回路1は、補正用オペアンプ31を有し、補正用オペアンプから出力を反転させた補正用信号を出力する反転増幅回路3と、メインオペアンプ21を有し、反転増幅回路から出力された補正用信号がメインオペアンプの非反転入力部(+)に入力され、かつ、メインオペアンプの反転入力部(−)に外部入力された信号を増幅して出力する増幅回路2を備える。増幅回路及び反転増幅回路は、照射される放射線の積算線量がほぼ同じとなるように近接して配置される。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018206934A
公开(公告)日：2018-12-27
申请号：JP2017110431
申请日：2017-06-02
Applicant: 株式会社日立製作所
IPC: H01L21/336 , H01L29/78 , H01L21/76
Abstract: 【課題】高い放射線環境に曝される炭化ケイ素半導体装置において、γ線の被曝に起因して素子分離層の分離性能が低下することを防ぐことで、炭化ケイ素半導体装置の長期に亘る高い信頼性の維持を実現する。 【解決手段】半導体基板2の主面に形成された半導体素子1と、半導体基板2の主面に形成され、かつ半導体素子1の周囲を平面視で囲む素子分離層3と、素子分離層3の直上に絶縁層4を介して形成され、素子分離層3に電気的に接続された導電体部5とを形成する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2016200485A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：JP2015080519
申请日：2015-04-10
Applicant: 株式会社日立製作所
IPC: G01L19/06
CPC classification number: G01L7/08 , G01L13/025 , G01L19/0645
Abstract: 【課題】炭化水素の気泡及び水素の気泡の発生を確実に抑制し、測定誤差を長期間良好に維持して長寿命化を図った圧力伝送装置を提供する。 【解決手段】測定流体が接触する受圧ダイアフラム5A,5Bと、受圧ダイアフラム5A,5Bの、前記測定流体が接触する側とは反対の側に接触し、かつ、測定流体から受圧ダイアフラム5A,5Bで受圧した圧力を受圧ダイアフラム5A,5Bから離れた位置に配置されたセンサ11に伝送する封入液7と、封入液7が封入され、受圧ダイアフラム5A,5Bとセンサ11とを接続する導圧路6と、センサ11で受圧した圧力に基づいて測定流体の絶対圧又は測定流体同士の差圧を測定して出力する出力回路12と、を備え、導圧路6の内部には、炭化水素を吸着する炭化水素吸着材16と、水素を吸蔵する水素吸蔵材18と、が設けられている。 【選択図】図1
Abstract translation: 气泡的气泡产生的烃和氢可靠地抑制，是提供一种旨在用于良好地保持于测定误差的寿命很长一段时间的压力传递装置。 的压力接收膜片5A测量流体接触，和5B所示，压力接收膜片5A，5B的，相反的一侧的侧接触，其中所述测量流体接触，并且从所测量的流体压力膜片5A，5B在 用于发射压力受压膜片5A密封液7中，传感器11位于从图5B离开，密封的液体7是密封的，其连接压力接收膜片5A，5B和传感器压力引导通道6 11 当输出电路12中的绝对压力或基于由所述压力接收传感器11获得的压力测量的流体，并输出包括之间的测量压差测量流体时，用导压路径6内，所述烃吸附 烃吸附材料16中，用于存储氢的储氢材料18中，提供了。 点域1
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公开(公告)号：JP2015096805A
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：JP2013236391
申请日：2013-11-15
Applicant: 株式会社日立製作所
IPC: G01L19/06
CPC classification number: G01L7/08 , G01L13/026 , G01L19/06
Abstract: 【課題】内部で発生した水素および炭化水素類、或いは、外部から透過した水素の影響を低減でき、圧力測定精度を劣化させることのない伝送装置を提供する。 【解決手段】圧力を伝達させるための封入液80を導圧路60内部に封入した圧力・差圧伝送器40において、少なくとも封入液、本体側壁面或いは本体側壁面からセンサ130までの一部に封入液の水素原子を吸蔵するための、表面に凹凸形状を設けた、或いは粉末状水素吸蔵材の添付などがある水素吸蔵材90を設けるように構成した。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够通过减少由外部产生的氢气和碳氢化合物等产生的影响来确保压力测量精度的传动装置。解决方案：压力/压力差变送器40包含密封液体 80，用于传送密封在压力导向管道60内的压力。压力/压力差变送器40至少包含密封液体，并且被布置成具有用于吸收和储存密封液体中所含的氢原子的吸氢储存材料90， 具有凸表面或凹面，或者将吸收有吸收粉末的储存材料附着在主体的壁面上，或者从壁面附接到传感器130。
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公开(公告)号：JP2015078944A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2013217138
申请日：2013-10-18
Applicant: 株式会社日立製作所
CPC classification number: G01L7/088 , G01L13/026 , G01L19/0645 , G01L7/082
Abstract: 【課題】導圧路内においての気泡の発生を確実に抑えることができ、これによりにより圧力伝達特性を長期にわたって維持することが可能な圧力伝送装置を提供する。 【解決手段】管状の導圧路11,11’と、導圧路11,11’内に充填された封入液Lと、導圧路11,11’における一方の開口を閉塞する状態で設けられ測定流体Fh,Flの圧力を受圧する受圧ダイアフラム13,13’と、封入液Lに晒された状態で導圧路11,11’における他方の開口に設けられた圧力センサ15と、受圧ダイアフラム13,13’に設けられた水素透過防止層21とを備え、さらに導圧路11,11’の内部に設けられた水素吸蔵材を有する圧力伝送装置1である。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种压力传递装置，其能够确保抑制压力导入路径中的气泡的产生，并且由此长时间保持压力传递特性。压力传递装置1包括：管状压力 介绍路径11和11'; 填充在压力引入路径11和11'中的封装液体L; 受压隔膜13和13'设置在关闭压力引入通道11或11'的一个开口的状态下，分别接受测量流体Fh和F1的压力; 设置在与压缩液L接触的状态下的各个压力导入路11,11'的另一个开口处的压力传感器15; 以及设置在每个受压隔膜13和13'中的防氢层21。 压力传递装置1还包括设置在每个压力引入路径11和11'中的储氢材料。
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