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公开(公告)号：JP2021197629A
公开(公告)日：2021-12-27
申请号：JP2020102846
申请日：2020-06-15
申请人： 国立大学法人 東京大学 , シープレックス株式会社 , 国立大学法人九州工業大学
摘要： 【課題】MEMSマイクロフォンを水中でも利用可能とする。 【解決手段】この水中音響マイクロフォン10は、集音方向に開口を有するハウジング11と、音孔25bを有する基板25と、基板25に配置されてMEMSマイクロフォン20を構成するMEMSチップ21と、防水機能を有する防水樹脂31と、を備え、ハウジング11における開口11a側からハウジング11内部に向けて、防水樹脂31、基板25、MEMSチップ21の順に配置される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021168497A
公开(公告)日：2021-10-21
申请号：JP2021112691
申请日：2021-07-07
申请人： 国立大学法人東北大学
发明人： 田中 秀治
摘要： 【課題】薄型化したマイクロフォンとそれを製造する際に利用するパッケージング方法並びに電子機器を提供する。 【解決手段】マイクロフォン1は、トランスデューサを搭載したダイ11と、上下方向に貫通した穴12Aを有し、穴12Aの壁面にダイ11を接着層14を介して保持する枠体12と、ダイ11の上方に空間を挟むように枠体12に取り付けられたカバー13と、を備える。ダイ11の下面は、実質的に外表面の一部を構成する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021154436A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020057025
申请日：2020-03-27
申请人： 凸版印刷株式会社
摘要： 【課題】小型化が可能であり、かつ性能を向上させることが可能なMEMS構造体を提供する。 【解決手段】MEMS構造体20は、上下方向に貫通する開口部22を有する第1基板21と、第1基板21上に設けられた複数のMEMS素子40とを含む。MEMS素子40は、音響トランスデューサーである。第1基板21は、ガラスで構成される。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP6914540B2
公开(公告)日：2021-08-04
申请号：JP2018529794
申请日：2017-07-18
申请人： 国立大学法人東北大学
发明人： 田中 秀治
IPC分类号： H04R19/04
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公开(公告)号：JP2021097302A
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：JP2019226695
申请日：2019-12-16
申请人： 新日本無線株式会社
发明人： 福留 隆雄
IPC分类号： B81B3/00 , H01L29/84 , H01L41/113 , H01L41/187 , H04R19/04
摘要： 【課題】感度の高い出力信号を得ることができるMEMS素子を提供する。 【解決手段】バックチャンバーを備えたシリコン基板1上に、スペーサー5を挟んで固定電極を含む固定電極膜4と可動電極を含む可動電極膜3とがエアーギャップ7を介して対向配置し、可動電極膜3の一部が圧電膜で構成されたMEMS素子において、エアーギャップ7が形成された可動電極膜3上に、それぞれ独立した圧電素子6が複数配置されており、可動電極膜3の変位により、固定電極膜4と可動電極膜3間の容量変化に基づく第1の信号と、圧電素子6の圧電効果に基づく第2の信号とを出力する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2021082993A
公开(公告)日：2021-05-27
申请号：JP2019210553
申请日：2019-11-21
申请人： 川上 福司
发明人： 川上 福司
摘要： 【課題】自己ノイズがゼロ(又はほぼゼロ)であるコンデンサーマイクロフォンを提供する。自己ノイズの元凶が振動板両側の物理条件の不一致にあると考え、「振動板への音の入射を妨げることなく、両側の物理的な条件を等しくする」ことにより自己雑音の除去・低減を図る。 【解決手段】振動板11と、振動板11の一方の面に対向して配置される第1固定電極25と、振動板11の他方の面に対向して配置される第2固定電極26とを備えているコンデンサーマイクロフォン20。 【効果】振動板を第1固定電極と第2固定電極で挟むことにより、振動板の両面の条件が同じになって空気分子が振動板へ同一様態で衝突することになり、無音下では振動板が静止し自己ノイズをゼロ(又はほぼゼロ)にすることができる。 【選択図】図5
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