陽極酸化処理方法および異方導電性部材の製造方法

    公开(公告)号:JPWO2020166240A1

    公开(公告)日:2021-12-09

    申请号:JP2020000545

    申请日:2020-01-10

    Abstract: 真っ直ぐなマイクロポアを形成することができる陽極酸化処理方法、および導電性材料の充填欠陥を抑制した異方導電性部材の製造方法を提供する。バルブ金属板の表面に複数回の陽極酸化処理を施し、バルブ金属板の厚み方向に存在するマイクロポアと、マイクロポアの底部に存在するバリア層とを有する陽極酸化膜を、バルブ金属板の表面に形成する陽極酸化処理方法である。複数回の陽極酸化処理のうち、2回目以降の陽極酸化処理の工程は、電流増加期間と電流維持期間とが連続している。電流増加期間は、電流増加量が毎秒0アンペア毎平方メートル超、毎秒0.2アンペア毎平方メートル以下であり、かつ10分以下の期間である。電流維持期間は、電流が一定値に維持され、一定値は、電流増加期間における最大電流値以下である。

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