公开(公告)号：KR1020110038130A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：KR1020117002995

申请日：2009-08-04

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 하라마사미치 ,  고미아츠시 ,  하타노다츠오

IPC分类号： B01D53/62 ,  B01D53/64 ,  C23C16/44 ,  H01L21/28

CPC分类号： F27D17/004 ,  B01D53/005 ,  B01D53/04 ,  B01D53/75 ,  B01D53/864 ,  B01D53/8668 ,  B01D53/869 ,  B01D2251/102 ,  B01D2255/20 ,  B01D2255/2045 ,  B01D2255/2047 ,  B01D2255/2073 ,  B01D2257/502 ,  B01D2257/706 ,  B01D2258/0216 ,  C23C16/16 ,  C23C16/18 ,  C23C16/4412 ,  F27B17/0025 ,  H01L21/28556 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

摘要： 금속 회수장치(66)는 유기 금속 화합물의 원료로 이루어지는 원료가스를 이용해서 피처리체의 표면에 박막을 형성하는 처리용기(10)로부터 배출되는 배기가스 중에서, 금속성분을 회수하여 배기가스를 제해한다. 금속 회수장치는 상기 배기가스를 가열해서 배기가스 중에 포함되는 미반응의 원료가스를 열분해시켜 원료가스 중에 포함되어 있는 금속성분을 부착시키는 포집부재를 갖는 포집유닛(80)과, 포집유닛을 통과한 배기가스 중에 포함되는 유기한 가스 성분을 산화시켜 제거하는 촉매(100)를 갖는 제해유닛(82)을 구비한다.

公开(公告)号：KR100941666B1

公开(公告)日：2010-02-11

申请号：KR20090013526

申请日：2009-02-18

申请人： GREEN TECHNICAL SCIENCE CO LTD

发明人： KANG YEON KYUN

IPC分类号： B01D53/02 ,  B01D46/00 ,  B01D53/34

CPC分类号： B01D53/0407 ,  B01D46/0023 ,  B01D46/0026 ,  B01D46/0036 ,  B01D46/0041 ,  B01D46/10 ,  B01D53/8668 ,  B01D53/869 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/1124 ,  B01D2253/306 ,  B01D2253/311 ,  B01D2255/202 ,  B01D2255/204 ,  B01D2255/2047 ,  B01D2255/20707 ,  B01D2255/2073 ,  B01D2255/20784 ,  B01D2255/2092 ,  B01D2257/708 ,  B01D2257/90 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2258/06 ,  B01D2259/4508 ,  B01D2259/4533 ,  B01D2259/455 ,  B01D2273/14 ,  B01D2273/30

摘要： PURPOSE: An apparatus for purifying and neutralizing hazardous gas is provided to neutralize and effectively purify the hazardous gas such as fume or bad smell etc produced in a product production and a research activity etc. CONSTITUTION: An apparatus(1) for purifying and neutralizing hazardous gas comprises the following: a box-shaped main body(10) including a suction device(33), an outlet(16), and a control panel(18); a blower(20) and a driving unit(21) positioned between a first and a second neutralization pellet beds; and a pre filter(2) located towards the outlet. The pre filter is equipped to reduce load about the first filter. A first filter is a HEPA filter or a ULPA filter.

摘要翻译： 目的：提供一种用于净化和中和有害气体的设备，以中和和有效地净化产品生产和研究活动等中产生的有害气体如烟雾或气味等。构成：用于净化和中和危险气体的装置（1） 气体包括：包括抽吸装置（33），出口（16）和控制面板（18）的箱形主体（10）。 位于第一和第二中和粒料床之间的鼓风机（20）和驱动单元（21） 和位于出口处的预过滤器（2）。 预过滤器配备了减少第一个过滤器的负载。 第一个过滤器是HEPA过滤器或ULPA过滤器。