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公开(公告)号:KR1020140122253A
公开(公告)日:2014-10-17
申请号:KR1020147023687
申请日:2013-01-25
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B05B1/02 , B05C5/0212 , B05C5/0225 , B05C5/0237 , F02M51/061 , F04B17/04 , F04B17/044
Abstract: 본 발명은, 노즐(32)과 연통되고, 액체재료(37)가 공급되는 액실(29)과, 선단부(34)가 액실(29) 내를 진퇴 이동하는 플런저 로드(6)와, 플런저 로드(6)에 가압력을 부여하는 스프링(8)과, 플런저 로드(6)를 후퇴시키도록 작용하는 가압 기체(10)가 공급되는 가압실(11)과, 가압실(11)에 가압 기체(10)를 공급하는 가압원(15)과, 컨트롤러(45)를 포함하고, 노즐(32)로부터 액적을 비상 토출하는 액적 형성 장치(1)에 있어서, 플런저 로드(6)가 가장 진출된 위치에 가까워졌을 때, 진출 방향으로의 흡인력을 작용하게 하는 자계 발생 기구(21, 22)를 가지는 것을 특징으로 하는, 액적 형성 장치(1) 및 상기 액적 형성 장치(1)를 사용한 액적 형성 방법을 제공한다.
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公开(公告)号:KR101445589B1
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:KR1020147005462
申请日:2006-10-27
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: H01L51/0004 , B05C5/0216 , B05C13/02 , H01J9/241 , H01L51/56
Abstract: 본 발명은 액재 도포 장치에 관한 것으로서, 공간 이용 효율이 높고, 유지보수성이 양호한 액재 도포 장치를 제공한다. 본 발명은 박스 내에서, 액재를 토출하는 노즐과 상기 노즐에 대향하도록 공작물을 탑재하는 테이블을 상대적으로 이동시켜서 상기 공작물 표면의 원하는 위치에 액재를 도포하는 액재 도포 장치로서, 상기 박스의 측면에 설치된 공작물을 반입출하기 위한 반입출구와, 상기 반입출구를 향해 연장 설치된 빔과, 상기 빔의 연장 방향으로 이동 가능한 도포 헤드와, 상기 빔을 상기 테이블의 위쪽에서 평행 이동시키는 빔 이동 수단과, 이들 작동을 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액재 도포 장치인 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 液体材料涂布装置技术领域本发明涉及一种液体材料涂布装置,提供一种空间利用效率高且维护性良好的液体材料涂布装置。 本发明通过移动台在箱安装在工件上,以便面对所述喷嘴和用于喷射具有相对一种液体材料涂布装置的液体材料用于将液体材料涂敷到工件表面的所希望的位置的喷嘴,设置在盒的侧表面上 一个可在光束的延伸方向上移动的施加头;使光束在工作台上方平行移动的光束移动装置; 以及用于控制液体材料分配装置的控制器。
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公开(公告)号:KR1020140110868A
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:KR1020147016555
申请日:2012-12-12
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
Abstract: 본 발명은, 공구를 사용하지 않고 간단한 조작에 의해 일정한 체결력을 부여할 수 있고, 또한 컴팩트한 배관 접속용 클램프를 제공한다. 해결 수단: 단부에 플랜지(20)를 가지는 배관(19)의 접속용 클램프(1)로서, 한 쌍의 플랜지가 끼워맞추어지는 홈(2)이 형성되는 제1 협착 부재 및 제2 협착 부재(4, 5)와, 제1 협착 부재 및 제2 협착 부재를 개폐 가능하게 연결하는 연결 부재(6)와, 제2 협착 부재(5)에 회동 가능하게 설치되는 롤러 지지 부재(7)와, 롤러 지지 부재에 회동 가능하게 지지되는 롤러(8)를 포함하여 이루어지고, 제1 협착 부재(4)가 오목부(13)를 가지고, 롤러 지지 부재를 회동시켜 상기 오목부로 롤러를 이동시킴으로써 제1 협착 부재 및 제2 협착 부재에 의해 플랜지를 압압 고정시키는 것을 특징으로 하는 배관 접속용 클램프.
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公开(公告)号:KR1020140074974A
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:KR1020147011788
申请日:2012-10-05
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B05C11/1034 , B05C5/0225 , B65D83/0005 , H05K3/3484 , H05K2203/0126
Abstract: 플런저의 이동 속도의 조절을 용이하게 행할 수 있는 액체 재료의 토출 장치 및 토출 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고, 토출구(11)와 연통되고, 액체 재료가 공급되는 액실(50)과, 후단부에 피스톤(33)이 형성되고, 선단부가 액실(50) 내를 진퇴 이동하는 플런저와, 플런저에 가압력을 부여하는 탄성체(47)와, 피스톤(33)이 설치되고 가압 기체가 공급되는 가압실(49)을 구비하고, 플런저를 고속으로 진출 이동시킴으로써 토출구(11)로부터 액체 재료를 토출하는 액체 재료의 토출 장치로서, 상기 탄성체(47)가 플런저를 후퇴 방향으로 가압하고, 상기 가압실(49)에 공급된 가압 기체가 피스톤(33)에 추진력을 부여함으로써 플런저를 진출 이동시키는 것을 특징으로 하는 액체 재료의 토출 장치 및 상기 장치를 사용한 액체 재료의 토출 방법을 해결 수단으로 한다.
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公开(公告)号:KR101396280B1
公开(公告)日:2014-05-16
申请号:KR1020087021385
申请日:2007-02-01
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
IPC: B05C13/02 , B05C5/00 , H01L21/673
CPC classification number: B05B13/00 , H01L21/6715
Abstract: 본 발명은, 확실하게 판형의 공작물을 테이블에 지지하고, 공작물 상면의 원하는 위치에 액체를 도포하는 것을 가능하게 하는 팰릿(pallet) 및 이것을 구비한 도포 장치를 제공한다. 본 발명은, 액체를 토출하는 노즐과 테이블을 상대적으로 이동시켜, 액체를 도포하는 액체 도포 장치의 테이블 상에 배치되고, 판형의 공작물을 고정시키기 위한 팰릿으로서, 상기 팰릿은, 복수개의 공작물을 행방향 및/또는 열방향으로 병렬로 배치하는 공작물 영역을 가지는 베이스와, 공작물 영역에 배치된 공작물의 중앙부를 개방하는 창(69)을 가지고, 상기 공작물의 양 단부를 협착하는 가압판으로 구성된다.
팰릿, 도포 장치, 공작물, 가압판, 공작물, 테이블-
公开(公告)号:KR1020140041959A
公开(公告)日:2014-04-04
申请号:KR1020147007300
申请日:2007-02-19
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B01D19/0036 , B01D19/0042
Abstract: 본 발명은, 장치에 공급되는 액재(液材)의 기포를 제거하고, 안정된 토출량(吐出量)을 확보할 수 있고, 또한 플런저부의 경량화를 도모할 수 있는 액재 토출 장치를 제공한다. 토출하는 액재를 공급하는 액재 공급부와, 계량구멍 및 계량구멍의 내벽면과 슬라이드 이동하여 계량구멍 내에 액재를 흡입하거나 배출하는 플런저로 이루어지는 계량부와, 액재를 토출하는 토출구를 가지는 토출부와, 액재 공급부와 계량부의 연통, 또는 계량부와 토출부의 연통을 전환하는 밸브부와, 액재 공급부로부터 계량부까지의 유로에 설치한 탈포(脫泡) 기구를 구비한 액재 토출 장치로서, 상기 탈포 기구는, 액재 공급부 측으로 연통되는 제1 유로(4)와, 계량부 측으로 연통되는 제2 유로(5)와, 제1 유로와 제2 유로를 연통시키는, 제1 유로보다 광폭의 본체(3)를 가지고 제1 유로의 배출구(6)가 제2 유로의 흡입구(7)보다 상부 위치에 설치되는, 액재 토출 장치.
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公开(公告)号:KR1020140041836A
公开(公告)日:2014-04-04
申请号:KR1020147003668
申请日:2008-02-21
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B41J2/16552
Abstract: 본 발명은 잉크젯 도포 장치에 있어서의 클리닝 방법, 노즐 검사 방법, 도포 제어 방법 및 성막 방법에 관한 것으로서, 본 발명은, 잉크젯 헤드를 유닛 부재로 덮고, 유닛 부재에 흡인력을 작용하게 함으로써, 세정액을 소정 시간 분사하고, 잉크젯 헤드와 유닛 부재를 약간 이격시킨 상태에서, 흡인력을 작용시켜 건조시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 클리닝 방법, 토출 작업 후, 유로에 충전된 토출용 액재를 저휘발성의 치환재로 치환하고, 토출 작업을 개시하기 직전로 치환재를 토출용 액재로 재치환하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 제어 방법, 잉크젯 헤드로부터 분사한 액재를 착탄(着彈) 부분과 비착탄 부분의 반사율이 상이한 검사용 부재에 착탄시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 검사 방법, 전(前) 공정에서 분사한 공작물 상의 액적이 유동되지 않을 정도로 건조시키는 것을 기다려, 전 공정에 의해 착탄된 액재의 액적에 접촉 내지 일부가 겹치는 위치에 액재를 분사하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 성막 방법을 제공한다.
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公开(公告)号:KR1020140038548A
公开(公告)日:2014-03-28
申请号:KR1020147003669
申请日:2008-02-21
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
IPC: B41J2/01 , B41J29/393
CPC classification number: B41J2/16552
Abstract: 본 발명은 잉크젯 도포 장치에 있어서의 클리닝 방법, 노즐 검사 방법, 도포 제어 방법 및 성막 방법에 관한 것으로서, 본 발명은, 잉크젯 헤드를 유닛 부재로 덮고, 유닛 부재에 흡인력을 작용하게 함으로써, 세정액을 소정 시간 분사하고, 잉크젯 헤드와 유닛 부재를 약간 이격시킨 상태에서, 흡인력을 작용시켜 건조시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 클리닝 방법, 토출 작업 후, 유로에 충전된 토출용 액재를 저휘발성의 치환재로 치환하고, 토출 작업을 개시하기 직전로 치환재를 토출용 액재로 재치환하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 제어 방법, 잉크젯 헤드로부터 분사한 액재를 착탄(着彈) 부분과 비착탄 부분의 반사율이 상이한 검사용 부재에 착탄시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 검사 방법, 전(前) 공정에서 분사한 공작물 상의 액적이 유동되지 않을 정도로 건조시키는 것을 기다려, 전 공정에 의해 착탄된 액재의 액적에 접촉 내지 일부가 겹치는 위치에 액재를 분사하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 성막 방법을 제공한다.
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公开(公告)号:KR1020140003542A
公开(公告)日:2014-01-09
申请号:KR1020137021496
申请日:2012-01-18
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B29C70/68 , B05C5/0212 , B05C11/1034 , B05D1/00 , B05D1/26 , H01L21/563 , H01L21/6715 , H01L24/16 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/75 , H01L24/83 , H01L2224/16238 , H01L2224/2919 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/75611 , H01L2224/75804 , H01L2224/759 , H01L2224/75901 , H01L2224/83102 , H01L2224/8385 , H01L2224/92125 , H01L2924/12042 , H01L2224/16225 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은, 토출량의 변화를 양호한 정밀도로 보정하고, 도포 형상 내지 필릿(fillet) 형상을 안정시킬 수 있는 도포 방법, 도포 장치 및 프로그램을 제공한다. 모세관 현상을 이용하여 토출 장치로부터 토출한 액체 재료를 충전하는 액체 재료의 도포 방법으로서, 연속된 복수의 도포 영역으로 이루어지는 도포 패턴 작성 단계; 하나의 토출 펄스에 복수의 휴지(休止) 펄스를 소정 비율로 조합한 사이클을 복수 작성하고, 각각의 도포 영역에 할당하는 단계; 각각의 도포 영역에 대하여 할당된 사이클로 도포를 실시하는 단계; 미리 설정한 보정 주기로, 보정 주기의 시점에서의 토출량을 계측하고, 토출량의 보정량을 산출하는 보정량 산출 단계; 보정량 산출 단계에서 산출한 보정량에 기초하여, 1 이상의 사이클에 대하여, 하나의 토출 펄스에 대한 휴지 펄스의 비율을 조정하는 단계;를 포함하고, 휴지 펄스의 길이를 토출 펄스의 길이와 비교하여 충분히 짧게 설정한 액체 재료의 도포 방법 및 장치 및 프로그램에 대한 것이다 .
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公开(公告)号:KR1020130143560A
公开(公告)日:2013-12-31
申请号:KR1020137006402
申请日:2011-09-14
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
IPC: B05C11/10 , B05C5/00 , G02F1/13 , G02F1/1341
CPC classification number: B01D19/00
Abstract: 본 발명은, 액체 재료 저류부(貯留部)와 토출(吐出) 장치를 물리적으로 접속할 필요가 없어, 오염물의 발생 및 혼입을 효과적으로 방지할 수 있는 액체 자동 공급 기구 및 이것을 구비하는 도포 장치를 제공하고자 하는 것으로서, 액체 재료를 저류하는 액체 저류부와, 액체 저류부에 저류된 액체 재료를 공급하는 공급구를 가지는 공급부와, 공급부로부터 배출되는 액체 재료를 받는 수급구 및 기포 제거 기구를 가지는 수급부와, 수급부를 이동시키는 수급부 구동 장치를 구비하고, 수급부가 수급구가 공급구의 바로 아래에 위치하는 수급 위치로 이동하여 공급구로부터 액체 재료의 적하(滴下) 공급을 받아 기포 제거 기구에 의해 기포가 제거된 액체 재료를 토출 장치에 공급하는 것을 특징으로 하는 액체 자동 공급 기구 및 이것을 구비하는 도포 장치� �다.
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