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公开(公告)号：KR102044112B1
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：KR1020187021085
申请日：2016-12-28
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
Inventor： 쉔,신
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公开(公告)号：KR102039285B1
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：KR1020187021549
申请日：2016-12-28
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
Inventor： 수,통케
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公开(公告)号：KR102012782B1
公开(公告)日：2019-08-21
申请号：KR1020177027078
申请日：2016-02-24
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
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公开(公告)号：KR101999906B1
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：KR1020177017198
申请日：2015-11-26
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
Inventor： 좡,야정
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101985331B1
公开(公告)日：2019-06-03
申请号：KR1020177014355
申请日：2015-10-27
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
Inventor： 선,징루
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公开(公告)号：KR101882823B1
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：KR1020167020886
申请日：2014-12-26
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
IPC: H01L21/68 , H01L27/146 , H01L21/683
CPC classification number: H01L21/681 , H01L21/6838 , H01L21/68764 , H01L21/68785 , H01L22/12 , H01L22/22
Abstract: 실리콘웨이퍼(60)의회전과승강운동을발생시키는제1 장치(40), 실리콘웨이퍼의평행이동을발생시키는제2 장치(50) 및광원, 렌즈, 이미지센서(20)를포함하는위치탐지장치를포함하고, 광원으로부터발산되는광속은실리콘웨이퍼와렌즈를경과한후, 실리콘웨이퍼의위치정보를이미지센서로전송하고, 제1 장치와제2 장치는이미지센서가획득한위치정보에근거하여실리콘웨이퍼의위치를조절할수 있는실리콘웨이퍼프리얼라인장치를제공한다. 또한, TSV에대해프리얼라이닝하는방법을더 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020170121252A
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：KR1020177027078
申请日：2016-02-24
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
CPC classification number: F16C29/025 , F16C32/0603 , G03F7/20 , G03F7/70816 , H02K1/27 , H02K33/18 , H02K41/031
Abstract: 자기중력보상장치는고정자(1), 회전자(2), 베이스(4) 및조정기구(6)를포함한다. 상기고정자(1)는상기베이스(4)상에배치되고상기회전자(2)는상기고정자(1)에대해부양한다. 상기고정자(1)는, 상기조정기구(6)에의해상기베이스(4)에고정되고적어도두 개의아크자석(111)으로구성되는실린더형중심자석(11)을구비한다. 상기조정기구(6)는상기베이스(4)에고정되는제 1 단과상기적어도두 개의아크자석(111)에견고하게연결되는제 2 단을가진다. 상기조정기구(6)는상기실린더형중심자석(11)과상기회전자(2) 사이의자기회로를변화시켜상기고정자(1)와상기회전자(2) 사이의자기부상력을조정하기위해, 상기적어도두 개의아크자석(111)을구동하여상기실린더형중심자석(11)의중심축에대해방사방향으로동시에이동시키도록구성된다.
Abstract translation: 磁性重力补偿装置包括一个定子1，一个转子2，一个基座4，和调节机构（6）。 所述定子（1）布置在所述基座（4）和转子（2）相对于所述定子浮动的（1）。 和所述定子（1）中，由至少两个弧形磁体（111）的调节机构6和具有圆柱形中央磁铁（11）的正基座4自我装置。 该调整机构（6）具有刚性地连接到所述第一端部，并限定的基座4自我所述至少两个弧形磁体111的第二端。 该调整机构（6）通过改变圆筒形中央磁铁11髁上机会E之间的磁回路（2）连接到定子之间调节磁悬浮力（1）的涡流机会E（2），所述 用于至少两个弧形磁体111，圆筒形中央磁铁11意图以驱动心轴被配置为在径向方向上的同时移动。
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公开(公告)号：KR1020170121251A
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：KR1020177027074
申请日：2016-02-24
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
IPC: G03F7/20 , H01L21/677
CPC classification number: G03F9/7073 , G03F7/20 , G03F9/00
Abstract: 레티클이송장치는레티클, 레티클스테이지(4) 및로봇(2)을포함한다. 상기로봇(2)은상기레티클을상기레티클스테이지(4)상으로지지, 운반및 이송하도록구성된다. 상기레티클이송장치는둘 다상기레티클상에제공된, 제 1 표식세트(52) 및제 2 표식세트(52), 상기레티클스테이지(4)의일측에배치되고, 상기레티클의이송중, 상기제 1 표식세트(52)를검출하여제 1 사전정렬과정을실행하고상기제 2 표식세트(53)를검출하여제 2 사전정렬과정을실행하도록구성된, 사전정렬부, 및상기레티클이상기레티클스테이지(4)와충돌하는것을방지하도록상기제 1 사전정렬과정의결과를바탕으로상기레티클스테이지(4)에대한상기레티클의위치를조정하고, 상기레티클이상기레티클스테이지(4)에대한소정범위에위치하도록상기제 2 사전정렬과정의결과를바탕으로상기레티클스테이지(4)에대한상기레티클의위치를더 조정하는제어부를포함한다. 레티클이송방법또한개시된다.
Abstract translation: 标线片传送装置包括标线片，标线片平台4和机器人2。 机器人（2）被配置为支撑，运输并将标线片输送到标线片平台（4）上。 其中掩模板传送装置包括均设置在掩模版上的第一组标记52和第二组标记52，设置在掩模板台4的侧面上的第二组标记52， 预对准单元，配置为检测所述一组预对准图像并执行第一预对准过程并检测第二组标记以执行第二预对准过程;以及标线片载台标线片台， 基于第一预对准过程的结果使掩模版相对于掩模版台（4）的位置对齐以防止碰撞，并将掩模版台相对于掩模版台掩模版台（4）定位， 以及用于基于预对准过程的结果来进一步调整掩模版相对于掩模版台4的位置的控制单元。 标线片转印方法也被公开。
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公开(公告)号：KR1020170106352A
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：KR1020177020869
申请日：2015-12-29
Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03B9/08 , G03B9/14 , G03F7/20 , G03F7/70058 , G03F7/70066 , G03F7/7015 , G03F7/7055 , H01L21/027 , G03F7/70758
Abstract: 포토리소그래피머신의노출시스템에서의이용을위한셀프-댐핑셔터장치는, 셔터가닫힐때 노출영역으로광원을잘라내기위한적어도두 조각들의셔터블레이드들(1); 동시에열리거나닫히도록셔터블레이드들(1)을구동하기위한, 셔터구동아암(2); 셔터구동아암(2)을구동하거나제공하기위한자기댐핑제동모터(3);를포함하고, 자기댐핑제동모터(3)는셔터구동아암(2)을통해셔터블레이드들(1)을구동시키거나제동시킨다. 포토리소그래피머신의노출시스템에서이용을위한셀프-댐핑셔터장치는셔터블레이드들을닫거나여는것의일관성을증가시키고, 노출시 셔터장치의빛 차광효과를개선하며, 셔터블레이드들의열림또는닫힘의과정에서안정성을개선한다. 셔터블레이드들이열림또는닫힘의작용을완료할때, 전류는필요치않으며, 자기댐핑제동모터는셔터블레이드들을열림또는닫힘상태로유지할구 있게하고, 전류제어의지속을짧게하며, 발열을줄이고, 에너지를절약한다.
Abstract translation: 自图象用于将平版机器阻尼快门装置的使用eseoui曝光系统，所述至少两片用于切割光源至所述曝光区域的快门叶片在快门被关闭（1）; 快门驱动臂2用于驱动快门叶片1同时打开或关闭; 磁性阻尼制动马达3以驱动或提供快门驱动臂（2）;包括与磁性阻尼制动电机3是经由快门驱动臂，以驱动快门叶片（1）（2），或 从而制动。 图片自用于在光刻机阻尼快门装置的曝光系统中使用的是增加稠度以打开或关闭快门叶片，并且提高了快门装置的曝光过程中的光屏蔽作用，在打开过程中的稳定性或关闭所述快门叶片 改善。 当叶片已经完成一个开放的动作或关闭快门时，电流是不需要的，磁性阻尼制动马达能够得到保持快门叶片的打开或关闭状态，而较短的电流控制的持续时间，减少热量的产生，能量 养护。
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