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公开(公告)号:KR101463488B1
公开(公告)日:2014-11-19
申请号:KR1020097016816
申请日:2008-02-05
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: H01L21/563 , H01L24/27 , H01L24/743 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01019 , H01L2924/00 , H01L2224/0401
Abstract: 본 발명은, 복잡한 파라미터의 계산이 불필요하며, 토출량의 변화에 유연하게 대응할 수 있는 액체 재료의 충전 방법, 장치 및 프로그램을 제공하는 것을 과제로 한다. 본 발명은, 공작물의 외주를 따른 비보정 도포 패턴과, 비보정 도포 패턴과 중첩되는 보정 도포 패턴으로 구성되는 전체 도포 패턴을 작성하고, 전체 도포 패턴에 기초하여 토출부로부터 액체 재료를 토출하고, 기판과 그 위에 탑재된 공작물과의 간극에 모세관 현상을 이용하여 액체 재료를 충전하는 액체 재료의 충전 방법으로서, 보정 도포 패턴을 도포 영역 및 비도포 영역으로 구성하고, 보정 도포 패턴의 도포 영역 및 비도포 영역을 신축시킴으로써, 액체 재료의 토출량의 보정을 행하는 것을 특징으로 하는 액체 재료의 충전 방법을 제공한다.
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公开(公告)号:KR1020140122752A
公开(公告)日:2014-10-20
申请号:KR1020147024930
申请日:2013-02-04
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B01F13/08 , B01F3/12 , B01F3/1221 , B01F7/00116 , B01F7/00141 , B01F7/00291 , B01F7/00633 , B01F13/0863 , B01F15/0278 , B01F15/0279 , B01F15/028 , B01F2015/0273
Abstract: 본 발명은, 용기와 교반자의 마찰에 의한 문제를 해소하고, 교반자의 아래쪽으로도 순환류가 생기게 할 수 있고, 또한 원하는 위치에 원하는 수의 교반자를 배치할 수 있는 교반 장치 및 이것을 구비하는 토출 장치 및 토출 방법에 대한 것으로서, 자석을 가지는 교반자와, 교반자에 측방으로부터 자력을 작용하게 함으로써, 교반자를 위치 규정하는 교반자 유지 기구와, 교반자 유지 기구를 회전시키는 회동 기구를 구비하고, 상기 회동 기구에 의해 교반자 유지 기구를 회전시킴으로써, 교반자를 회전시키는 것을 특징으로 하는 교반 장치 및 이것을 구비하는 토출 장치 및 토출 방법을 제공한다.
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公开(公告)号:KR101445585B1
公开(公告)日:2014-09-29
申请号:KR1020097020840
申请日:2008-03-28
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B05C11/1034 , B05C5/0237
Abstract: 본 발명은, 적은 양의 액재(液材)의 토출(吐出)이 요구되는 조건 하에 있어서도, 양호한 비적(飛滴) 토출을 행할 수 있는 액재 토출 장치 및 방법에 관한 것으로서, 압출(壓出) 부재를 고속 전진시킴으로써, 액실(液室) 내의 액재의 일부를 토출구로부터 액적(液滴)의 상태로 토출하는 액적 토출 방법으로서, 액재를 토출하는 토출구를 가지는 액실과, 액실보다 폭이 좁은 플런저 및 접촉부를 가지고, 플런저의 선단부를 액실 내로 진퇴(進退) 이동시키는 압출 부재와, 압출 부재의 플런저와 반대측에 인접하여 설치되고 피스톤 및 접촉부와 대향하는 충돌부를 가지는 충돌 부재를 설치하고, 상기 충돌부를 상기 접촉부에 충돌시킴으로써, 상기 압출 부재를 고속 전진시켜 액재를 토출하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법 및 상기 방법을 실시하기 위한 액� �� 토출 장치를 제공한다.
액재, 토출, 액실, 압출 부재, 충돌 부재, 플런저, 토출구, 접촉부-
公开(公告)号:KR101411450B1
公开(公告)日:2014-06-24
申请号:KR1020097016668
申请日:2008-02-21
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B41J2/16552
Abstract: 본 발명은 잉크젯 도포 장치에 있어서의 클리닝 방법, 노즐 검사 방법, 도포 제어 방법 및 성막 방법에 관한 것으로서, 본 발명은, 잉크젯 헤드를 유닛 부재로 덮고, 유닛 부재에 흡인력을 작용하게 함으로써, 세정액을 소정 시간 분사하고, 잉크젯 헤드와 유닛 부재를 약간 이격시킨 상태에서, 흡인력을 작용시켜 건조시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 클리닝 방법, 토출 작업 후, 유로에 충전된 토출용 액재를 저휘발성의 치환재로 치환하고, 토출 작업을 개시하기 직전로 치환재를 토출용 액재로 재치환하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 제어 방법, 잉크젯 헤드로부터 분사한 액재를 착탄(着彈) 부분과 비착탄 부분의 반사율이 상이한 검사용 부재에 착탄시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 검사 방법, 전(前) 공정에서 분사한 공작물 상 의 액적이 유동되지 않을 정도로 건조시키는 것을 기다려, 전 공정에 의해 착탄된 액재의 액적에 접촉 내지 일부가 겹치는 위치에 액재를 분사하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 성막 방법을 제공한다.
잉크젯 도포 장치, 클리닝 방법, 노즐 검사 방법, 도포 제어 방법, 성막 방법-
公开(公告)号:KR101411449B1
公开(公告)日:2014-06-24
申请号:KR1020097008707
申请日:2007-11-01
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: H01L21/563 , H01L24/743 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2224/92125 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01019 , H01L2924/00012 , H01L2924/00 , H01L2224/0401
Abstract: 본 발명은, 복잡한 파라미터의 계산이 불필요하며, 토출부의 이동 속도에 영향을 미치지 않는 액체 재료의 충전 방법, 장치 및 프로그램을 제공한다. 기판과 그 위에 탑재된 공작물과의 간극에 모세관 현상을 이용하여 토출부로부터 토출된 액체 재료를 충전하는 방법으로서, 공작물의 외주에 따른 도포 영역 및 비도포 영역으로 이루어지는 도포 패턴을 작성하고, 액체 재료의 토출량의 보정을, 도포 영역 및 비도포 영역을 신축시킴으로써 행하는 것을 특징으로 하는 액체 재료의 충전 방법, 및 상기 방법을 실시하기 위한 장치 및 프로그램에 관한 것이다.
액체 재료, 충전 방법, 충전 장치, 프로그램, 도포 패턴, 토출량Abstract translation: 本发明中,没有必要的参数的复杂的计算,并且提供了不影响运动的喷射速度的液体材料的充电方法,装置和程序。 作为底物和如上所述使用中的间隙的毛细管现象的方法和填充从排出单元排出的液体材料的安装作业,并创建与所述工作的概要的涂覆区域和未涂覆区域构成的涂覆图案,将液体材料 非应用区域以及用于执行该方法的装置和程序。背景技术[0002]
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公开(公告)号:KR1020140077222A
公开(公告)日:2014-06-23
申请号:KR1020147015070
申请日:2008-03-04
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
IPC: B05C5/00
CPC classification number: B23K3/0623 , B05C5/0225 , B41J2/04586 , B41J2/04588 , B41J2/14 , B41J2002/041 , B41J2202/05
Abstract: 본 발명은, 토출 동작시의 플런저(plunger) 선단이 액실(液室)의 내벽에 비접촉인 상태를 유지하는 액적(液滴) 토출 기술을 제공하는 것을 목적으로 하고, 특히, 납땜 페이스트 등의 필러(filler)를 함유하는 액재(液材)라도 양호한 토출을 행할 수 있는 액적 토출 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명은, 액재를 토출하는 토출구를 가지는 액실과, 액실과 연통되는 관통공과, 관통공에 삽입 통과되고, 그 선단부가 액실 내를 진퇴(進退) 이동하는 플런저와, 플런저를 진퇴 이동시키는 플런저 이동 수단과, 플런저 선단부의 위치를 규정하는 플런저 위치 결정 수단을 포함하고, 플런저의 선단부와 액실의 내벽이 비접촉인 상태로 플런저를 진퇴 이동 및 진출 정지시킴으로써 액재에 관성력을 부여하여 액적의 상태로 토출하는 액적 토출 장치로서, 상기 플런저 위치 결정 수단은, 진출 정지 시의 플런저 선단부의 위치를, 그 진출 방향에 있는 액실의 내벽 근방으로 규정하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치 및 방법이다.
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公开(公告)号:KR101410403B1
公开(公告)日:2014-06-20
申请号:KR1020087012960
申请日:2006-10-27
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
IPC: B05C5/00
CPC classification number: H01L51/0004 , B05C5/0216 , B05C13/02 , H01J9/241 , H01L51/56
Abstract: 본 발명은 액재 도포 장치에 관한 것으로서, 공간 이용 효율이 높고, 유지보수성이 양호한 액재 도포 장치를 제공한다. 본 발명은 박스 내에서, 액재를 토출하는 노즐과 상기 노즐에 대향하도록 공작물을 탑재하는 테이블을 상대적으로 이동시켜서 상기 공작물 표면의 원하는 위치에 액재를 도포하는 액재 도포 장치로서, 상기 박스의 측면에 설치된 공작물을 반입출하기 위한 반입출구와, 상기 반입출구를 향해 연장 설치된 빔과, 상기 빔의 연장 방향으로 이동 가능한 도포 헤드와, 상기 빔을 상기 테이블의 위쪽에서 평행 이동시키는 빔 이동 수단과, 이들 작동을 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액재 도포 장치인 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 液体材料涂布装置技术领域本发明涉及一种液体材料涂布装置,提供一种空间利用效率高且维护性良好的液体材料涂布装置。 本发明通过移动台在箱安装在工件上,以便面对所述喷嘴和用于喷射具有相对一种液体材料涂布装置的液体材料用于将液体材料涂敷到工件表面的所希望的位置的喷嘴,设置在盒的侧表面上 一个可在光束的延伸方向上移动的施加头;使光束在工作台上方平行移动的光束移动装置; 以及用于控制液体材料分配装置的控制器。
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公开(公告)号:KR1020140025605A
公开(公告)日:2014-03-04
申请号:KR1020147002121
申请日:2007-12-26
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B41J2/175 , B41J2/16552 , B41J2/1707
Abstract: 본 발명은, 잉크의 토출 성능을 회복시켜 노즐 이탈이 발생하지 않는 양호한 도포를 행할 수 있는 잉크젯 헤드의 유지보수 방법 및 기구 및, 장치에 관한 것이다. 잉크젯 헤드가 가지는 노즐을 캡으로 덮어, 부압(負壓)을 발생시켜 액체를 흡인하는 유지보수 방법에 있어서, 캡 및 부압 발생 수단과 연통되는 폐액 탱크와, 잉크젯 헤드와 연통되는 저점성 액체 저류부와, 잉크젯 헤드와 연통되는 잉크 저류부와, 잉크젯 헤드와 저점성 액체 저류부 또는 잉크 저류부를 택일적으로 연통시키는 액체 전환 수단을 설치하고, 저점성 액체 저류부와 잉크젯 헤드를 연통시키고, 부압을 캡에 발생시켜 잉크젯 헤드에 저점성 액체를 충전하고, 이어서, 잉크 저류부와 잉크젯 헤드를 연통시켜 잉크젯 헤드에 잉크를 충전하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 유지보수 방법 및 기구 및, 장치.
Abstract translation: 喷墨头的维护方法,机构和装置技术领域本发明涉及一种喷墨头的维护方法,机构和装置,其能够恢复喷墨性能并在没有喷嘴偏差的情况下执行良好的应用。 覆盖具有一个帽的喷墨头上的喷嘴,以产生吸引液体,所述盖和所述负压发生装置与所述废液罐连通,而连通于喷墨头贮存器是部分的低粘度液体的维修方法的负压(负压) 在贮液部设置有粘滞液贮存部和贮墨部,贮液部与贮液部和贮墨部连通, 然后将墨水喷射到盖子上,用低粘度液体填充喷墨头,然后墨水容器与喷墨头连通,从而用墨水填充喷墨头。
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公开(公告)号:KR1020140024921A
公开(公告)日:2014-03-03
申请号:KR1020137033271
申请日:2012-04-27
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B05C5/0254 , B05D1/26
Abstract: 토출구에 연통되는 모든 유로로부터의 유입량을 균일하게 할 수 있고, 도포 갭의 영향을 최소한으로 하고, 종래보다 양호한 정밀도로 막형 도포를 행하는 기술을 제공한다. 분기로 구조를 가지는 분기 블록(3, 4, 5)과 길이 방향으로 광폭으로 형성된 토출구를 가지는 선단 부재(12)와, 분기로 구조에 연통되는 세관 유입구(16) 및 선단 부재(12)의 토출구에 연통되는 세관 유출구(17)를 가지는 세관(14)을 복수 개 설치하여 이루어지는 관부(13)를 구비하고, 분기 블록(3, 4, 5)은, 유입구(16)에 연통되는 유로를 분기시키는 실로 이루어지는 분기부(8)를 복수 단 구비하고, 동일 단에 설치된 분기부(8)에 의해 분기된 유로의 유출구(17)까지의 길이는 같게 구성되어 있고, 선단 부재(12)는, 토출구를 구성하는 홈부(15)를 가지고 있고, 토출구의 단면의 폭 방향의 길이(S)가 세관 유출구(17)의 내경(D)보다 길게 구성되어 있고, 세관 유출구(17)가 홈부(15)의 가장 안쪽면에 대략 등간격으로 설치되어 있는 막형 도포 노즐.
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公开(公告)号:KR101334514B1
公开(公告)日:2013-11-28
申请号:KR1020087016361
申请日:2006-12-06
Applicant: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Inventor: 이쿠시마가즈마사
CPC classification number: B23Q39/028 , B23Q1/66 , H01L21/67715 , Y10T29/49146 , Y10T29/49828 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53187 , Y10T29/53261 , Y10T29/534
Abstract: 워크 가공 장치는 워크가 이동하는 복수의 워크 반송 라인과, 그 워크 반송 라인 상의 소정의 작업 위치에서 워크의 이동을 정지시키는 정지 수단과, 그 정지 수단에 의해 정지된 워크에 대하여 원하는 가공 작업을 실시하는 가공 수단과, 그 가공 수단을 각 워크 반송 라인간에서 이동시키는 이동 수단으로 구성된다.
복수의 라인 상의 워크에 대하여 순서대로 가공 작업을 실시하도록 함으로써, 1 개의 반송 라인의 작업 위치 상에 있어서 가공 작업을 실시하고 있는 동안에, 다른 반송 라인에 워크를 반입할 수 있기 때문에, 워크에 대한 가공 작업이 완료된 후에, 바로 차회의 워크에 대한 가공 작업을 개시할 수 있다. 그 결과, 생산 속도가 크고, 또한 장치의 소형화가 도모된다.
워크 가공 장치, 워크 가공 방법.
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