公开(公告)号：KR101671546B1

公开(公告)日：2016-11-01

申请号：KR1020117017647

申请日：2010-02-23

申请人： 가부시끼가이샤 도꾸야마

发明人： 오다,히로유키 ,  코야나기,신이치로

IPC分类号： C01B33/035 ,  B01J4/00 ,  C23C16/44

CPC分类号： C01B33/035 ,  B01J4/002 ,  C23C16/4418 ,  C23C16/45563 ,  Y10T428/2938

摘要： 본발명은부유대역법(FZ법), 또는쵸크랄스키법(CZ법)의리차지에사용되는다결정규소로드에있어서, 직통부가반송용이한형상으로되어있고, 반송성이우수한다결정규소로드를제공한다. 본발명의다결정규소로드는전극상에세워설치된한쌍의규소막대, 및규소막대의한쪽말단을연결하는가교부를포함하는규소코어재에, 화학기상석출법에의해규소를석출ㆍ성장시켜얻어지는다결정규소로드에있어서, 전극상에세워설치되어있는상기규소로드의직통부에는, 길이방향으로직경분포를갖고있고, 최소직경이최대직경의 60 내지 95%의크기로조정되어있는것을특징으로한다.

摘要翻译： [问题]为了提供用于FZ方法或CZ方法的再充电的多晶硅棒，其直体部分具有容易转印的形状并且具有优异的转印性。 [解决方案]通过化学气相沉积方法将硅沉积和生长在包括一对竖立在电极上的硅棒的硅芯构件上，并且连接上端 的硅棒，其中在电极上竖立的硅棒的直体部分在其长度方向上具有直径分布，并且最小直径被调节为最大直径的60至95％。

公开(公告)号：KR1020110132320A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：KR1020117017647

申请日：2010-02-23

申请人： 가부시끼가이샤 도꾸야마

发明人： 오다,히로유키 ,  코야나기,신이치로

IPC分类号： C01B33/035 ,  B01J4/00 ,  C23C16/44

CPC分类号： C01B33/035 ,  B01J4/002 ,  C23C16/4418 ,  C23C16/45563 ,  Y10T428/2938

摘要： 본 발명은 부유대역법(FZ법), 또는 쵸크랄스키법(CZ법)의 리차지에 사용되는 다결정 규소 로드에 있어서, 직통부가 반송 용이한 형상으로 되어 있고, 반송성이 우수한 다결정 규소 로드를 제공한다. 본 발명의 다결정 규소 로드는 전극 상에 세워 설치된 한쌍의 규소 막대, 및 규소 막대의 한쪽 말단을 연결하는 가교부를 포함하는 규소 코어재에, 화학 기상 석출법에 의해 규소를 석출ㆍ성장시켜 얻어지는 다결정 규소 로드에 있어서, 전극 상에 세워 설치되어 있는 상기 규소 로드의 직통부에는, 길이 방향으로 직경 분포를 갖고 있고, 최소 직경이 최대 직경의 60 내지 95％의 크기로 조정되어 있는 것을 특징으로 한다.

摘要翻译： [问题]为了提供用于FZ方法或CZ方法的再充电的多晶硅棒，其直体部分具有容易转印的形状并且具有优异的转印性。 [解决方案]通过化学气相沉积方法将硅沉积和生长在包括一对竖立在电极上的硅棒的硅芯构件上，并且连接上端 的硅棒，其中在电极上竖立的硅棒的直体部分在其长度方向上具有直径分布，并且最小直径被调节为最大直径的60至95％。