摘要:
산화아연나노구조체의제조방법이제공된다. 상세하게는, 액상마스크층을이용한산화아연나노구조체의제조방법에관한것으로, 산화아연씨드층이형성된기판을준비하는단계, 하부액상마스크층, 수열합성용전구용액층, 및상부액상마스크층이순차적으로구비된반응기내에상기기판을배치하는단계, 및상기수열합성용전구용액층에열을가하여수열합성반응을통해상기기판상에패턴화된산화아연나노구조체를형성하는단계를포함할수 있다. 이에, 본발명은상/하부액상마스크층및 수열합성용전구용액층의유동성에의해평면기판또는비평면기판등의기판의표면형태에관계없이, 산화아연나노구조체를고르게형성할수 있다. 또한, 기판의배치상태또는수열합성용전구용액층의높이를조절하여산화아연나노구조체의성장및 패터닝을용이하게제어할수 있다. 아울러, 상부액상마스크층에의해수열합성용전구용액층과외부환경의접촉을효과적으로차단하고상기수열합성용전구용액층의 pH 및부피를안정적으로유지시킬수 있다.
摘要:
요철 구조를 이용한 전사 인쇄용 기판의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전사 인쇄용 기판을 제공한다. 전사 인쇄용 기판의 제조방법은 요철 구조가 형성된 핸들링 기판을 준비하는 단계; 요철 구조를 따라 희생층을 형성하는 단계; 희생층이 형성된 핸들링 기판 상에 고분자를 코팅하여 요철 구조의 오목부를 충전하는 돌출부를 구비한 고분자 기판을 형성하는 단계; 및 희생층을 제거하는 단계를 포함한다. 전사 인쇄용 기판은 요철 구조가 형성된 핸들링 기판; 및 요철 구조 상에 위치하며 요철 구조의 오목부에 삽입되는 돌출부를 구비한 고분자 기판을 포함한다. 본 발명에 따르면, 초박막 기판 상에서 소자의 제조 공정을 안정적으로 수행할 수 있으며, 전사 인쇄 공정에서 높은 정렬도와 전사 수율을 확보할 수 있다.
摘要:
PURPOSE: A manufacturing method of a substrate for imprint printing, using a concavo-convex structure is provided to maintain an arrangement of a high polymer substrate by uniting a handling substrate with the concavo-convex structure even in case a sacrificial layer which is formed between the high polymer substrate and the handling substrate is removed. CONSTITUTION: A manufacturing method of a substrate for imprint printing comprises the following steps: (i) preparing a handling substrate formed with a concavo-convex structure; (ii) forming a sacrificial layer on the handling substrate according to the concavo-convex structure; (iii) forming a high polymer substrate equipped with a protrusion filling the concave part of the concavo-convex structure by coating high polymers on the handling substrate formed with the sacrificial layer; and (iv) removing the sacrificial layer. The manufactured substrate for imprint printing comprises: the handling substrate formed with the concavo-convex structure; and the high polymer substrate positioned on the concavo-convex structure of the handling substrate, and equipped with the protrusion which is inserted into the concave part of the concavo-convex structure.
摘要:
산화아연나노구조체의제조방법이제공된다. 상세하게는, 액상마스크층을이용한산화아연나노구조체의제조방법에관한것으로, 산화아연씨드층이형성된기판을준비하는단계, 하부액상마스크층, 수열합성용전구용액층, 및상부액상마스크층이순차적으로구비된반응기내에상기기판을배치하는단계, 및상기수열합성용전구용액층에열을가하여수열합성반응을통해상기기판상에패턴화된산화아연나노구조체를형성하는단계를포함할수 있다. 이에, 본발명은상/하부액상마스크층및 수열합성용전구용액층의유동성에의해평면기판또는비평면기판등의기판의표면형태에관계없이, 산화아연나노구조체를고르게형성할수 있다. 또한, 기판의배치상태또는수열합성용전구용액층의높이를조절하여산화아연나노구조체의성장및 패터닝을용이하게제어할수 있다. 아울러, 상부액상마스크층에의해수열합성용전구용액층과외부환경의접촉을효과적으로차단하고상기수열합성용전구용액층의 pH 및부피를안정적으로유지시킬수 있다.
摘要:
전사 인쇄 기술이 제공된다. 전사 인쇄 기판은 다수개의 기둥 구조와 그 위에 도포되는 희생층을 포함한다. 전사층의 정위치 정렬은 기둥 구조 및 그와 대응하는 전사층의 저면에 형성되는 오목 구조에 의한 구조적 구속 또는 기둥 구조와 전사층의 화학적 결합에 의해서 이루어진다. 구조적 구속에 의한 정위치 정렬에서는 제거되고 남은 희생층이 접착요소로서 역할을 할 수 있다. 전사 과정은 희생층에 의한 접착의 분리, 기둥 구조와 전사층의 화학적 결합 상태에서 기둥 구조의 절단, 또는 기둥 구조와 핸들링 기판 간의 접착의 분리에 의해서 이루어진다. 이러한 전사 인쇄 기판 및 그를 이용한 전사 인쇄 방법은 높은 정렬도 및 전사수율을 갖게 되며, 플렉시블한 초박막 소자를 다양한 전사면에 전사할 수 있다.