산화아연 나노와이어의 제조장치 및 제조방법

    公开(公告)号:KR101877319B1

    公开(公告)日:2018-07-11

    申请号:KR1020170066154

    申请日:2017-05-29

    发明人: 신원규 정규원

    IPC分类号: C01G9/02

    CPC分类号: C01G9/02 C01P2004/16

    摘要: 산화아연나노와이어의제조장치및 방법이개시되어있다. 본발명은, 실리콘기판상부에탄소촉매층을형성하는단계; 및상기탄소촉매층에산화아연증기를열화학기상증착방법을통해서증착시켜서다수의산화아연나노와이어를상기실리콘기판에대해수직방향으로성장시키는단계:를포함하는것을특징으로한다.

    제2족 원소를 함유하는 산화아연 박막 제조용 조성물 및 그의 제조방법
    9.
    发明公开
    제2족 원소를 함유하는 산화아연 박막 제조용 조성물 및 그의 제조방법 审中-实审
    用于制备含有第2族元素的氧化锌薄膜的组合物及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170074966A

    公开(公告)日:2017-06-30

    申请号:KR1020177014075

    申请日:2015-10-01

    摘要: 본발명은, 하기일반식 (1)로표시되는유기아연화합물의부분가수분해물및 제2족원소를유기용매에용해시킨용액인, 제2족원소를함유하는산화아연박막제조용조성물에관한것이다. 이용액은제13족원소를더 포함할수 있다. R-Zn-R(1) (식중, R은탄소수 1 내지 7의직쇄또는분기된알킬기이다) 본발명은, 제2족원소를함유하는산화아연박막의형성을하나의용액에서의도포성막으로가능하게하는, 제2족원소를함유하는산화아연박막제조용조성물및 그의제조방법이다.

    摘要翻译: 本发明涉及一种用于生产包含第二组元素的溶液以溶解部分水解产物和在由该组合物所代表的有机溶剂中的有机锌化合物中的第二组的元素的氧化锌薄膜的通式(1)。 使用量还可以包括13族元素。 R-的Zn-R(1)(式中,R euntan是一个小数目,从1到7的直链或支链的烷基)本发明中,第二组可以使一氧化锌薄膜的含有eseoui涂膜形成的溶液中的元素形成 ,用于制备含有第2族元素的氧化锌薄膜的组合物及其制备方法。