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    감광성 수지 조성물, 레지스트 적층체 및 그들의 경화물 (2)
    2.
    发明公开
    감광성 수지 조성물, 레지스트 적층체 및 그들의 경화물 (2) 审中-实审
    光敏树脂组合物，耐腐蚀层压板和固化产品（2）

    公开(公告)号：KR1020150080505A

    公开(公告)日：2015-07-09

    申请号：KR1020157012104

    申请日：2013-10-25

    申请人： 닛뽄 가야쿠 가부시키가이샤

    发明人： 이마이즈미나오코 ,  이나가키신야 ,  혼다나오

    IPC分类号： G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  G03F7/004

    CPC分类号： G03F7/0751 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0755

    摘要： 본발명은포토리소그래피에의해, 수직측벽형상으로미세한해상도, 저응력, 및내습열성을갖는화상을형성가능한감광성에폭시수지조성물, 및/또는그 레지스트적층체, 및상기수지조성물및 상기레지스트적층체의경화물을제공하는것을목적으로한다. 본발명은에폭시수지 (A), 특정구조의폴리페놀화합물 (B), 양이온성광중합개시제 (C), 및에폭시기-함유실란화합물 (D) 를포함하는감광성수지조성물이다. 상기에폭시수지 (A) 는하기식 (1) 로나타내는페놀유도체와에피할로히드린과의반응에의해얻어지는에폭시수지 (a); 및하기식 (2) 로나타내는에폭시수지 (b) 를포함한다.

    감광성 수지 조성물, 레지스트 적층체 및 그들의 경화물 (7)
    4.
    发明公开
    감광성 수지 조성물, 레지스트 적층체 및 그들의 경화물 (7) 审中-实审
    光敏树脂组合物，耐光层压板及其固化剂（7）

    公开(公告)号：KR1020150087242A

    公开(公告)日：2015-07-29

    申请号：KR1020157013112

    申请日：2013-11-21

    申请人： 닛뽄 가야쿠 가부시키가이샤

    发明人： 이마이즈미나오코 ,  이나가키신야 ,  혼다나오

    IPC分类号： G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  C08G59/24 ,  C08G59/32 ,  C08G59/62

    CPC分类号： G03F7/0755 ,  C08G59/063 ,  C08G59/24 ,  C08G59/245 ,  C08G59/32 ,  C08G59/3218 ,  C08G59/38 ,  C08G59/62 ,  C08G59/621 ,  C08K5/109 ,  C08K5/13 ,  C08K5/5419 ,  C08L33/068 ,  C08L63/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0751

    摘要： 본발명은포토리소그래피에의해수직측벽형상을갖는고해상도, 저응력및 내습열성을갖는화상을형성가능한감광성에폭시수지조성물, 및/또는그 레지스트적층체, 그리고그들의경화물을제공하는것을목적으로한다. 본발명은, 에폭시수지 (A), 특정구조의다가페놀화합물 (B), 양이온성광중합개시제 (C), 에폭시기-함유실란화합물 (D), 및특정구조의반응성에폭시모노머 (E) 를함유하는감광성수지조성물로서, 상기에폭시수지 (A) 가하기식 (1) 로나타내는페놀유도체와에피할로히드린과의반응에의해얻어지는에폭시수지 (a), 및하기식 (2) 로나타내는에폭시수지 (b) 를함유하는감광성수지조성물이다.

    摘要翻译： 本发明的目的是提供以下：通过光刻法可以形成具有垂直侧壁并抵抗水分和热量的高分辨率，低应力图像的光敏环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体 使用所述感光性环氧树脂组合物; 以及通过固化所述感光性环氧树脂组合物和/或抗蚀剂层压体而获得的制品或制品。 本发明是含有以下的感光性树脂组合物：环氧树脂（A），具有特定结构的多元酚化合物（B），阳离子聚合光引发剂（C），含有环氧基的硅烷化合物（D） ，和具有特定结构的反应性环氧单体（E）。 环氧树脂（A）含有由式（1）表示的苯酚衍生物，通过与表卤代醇反应获得的环氧树脂（a）和可由式（2）表示的环氧树脂（b）。 反应性环氧单体（E）是双酚环氧树脂。

    감광성 수지 조성물 및 이의 경화물
    9.
    发明授权
    감광성 수지 조성물 및 이의 경화물 有权
    光敏树脂组合物及其固化产物

    公开(公告)号：KR101848968B1

    公开(公告)日：2018-04-13

    申请号：KR1020147002301

    申请日：2012-07-26

    申请人： 닛뽄 가야쿠 가부시키가이샤

    发明人： 오오니시미사토 ,  이나가키신야 ,  이마이즈미나오코 ,  혼다나오

    IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/032 ,  G03F7/11

    CPC分类号： G03F7/038 ,  C08G59/42 ,  G03F7/40

    摘要： 양말단에에폭시기를가지며에폭시당량이 600-1,300 g/eq. 인이관능성비스페놀에폭시수지 (a) 와알코올성히드록실기를갖는모노카르복실산화합물 (b) 사이의반응물 (ab) 를다염기산무수물 (c) 와반응시켜수득한폴리카르복실산수지 (A); 분자중에 2 개이상의에폭시기를갖는에폭시수지 (B); 및광산생성제 (C) 를포함하는알칼리현상형감광성수지조성물로서, 이때에폭시수지 (a) 의에폭시기 1 당량에대한모노카르복실산화합물 (b) 의부가율이 80 당량% 이상이며; 반응물 (ab) 의 1급히드록실기 1 당량에대한다염기산무수물의부가율이 80 당량% 이상인알칼리현상형감광성수지조성물.

    摘要翻译： 它的两端都有环氧基团，环氧当量为600-1,300克/当量。 双官能双酚型环氧树脂（a）和醇羟基单羧酸化合物（b）聚羧酸树脂（A）通过多元酸酐（c）中反应而得到的反应产物（AB）的组之间; 分子内具有2个以上环氧基的环氧树脂（B） 以及光酸产生剂（C），其中单羧酸化合物（b）与环氧树脂（a）的环氧基的1当量的添加比例为80当量％以上; 其中多元酸酐相对于反应物（ab）的伯十二烷基的1当量的添加率为80当量％以上。