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公开(公告)号:KR1020140048201A
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:KR1020147000818
申请日:2012-06-21
IPC分类号: C23C2/20
摘要: 장치는 노즐(10)이 고정되는 컬렉터(4)를 포함하며 연속적인 굽은 진행 평면(Z)을 정의하는 기체 흐름 레벨링 파이프(3), 가압 기체를 구멍(12)을 통해 프리챔버로 도입하기 위한 배급 매니폴드(1), 레벨링 파이프(3) 내에 파이프(3)의 굽은 진행 평면(Z)에 수직으로 배열된 제1 구멍뚫린 칸막이(5) 및 제2 구멍뚫린 칸막이(6)를 갖는다.
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公开(公告)号:KR101585349B1
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:KR1020147000818
申请日:2012-06-21
IPC分类号: C23C2/20
摘要: 장치는노즐(10)이고정되는컬렉터(4)를포함하며연속적인굽은진행평면(Z)을정의하는기체흐름레벨링파이프(3), 가압기체를구멍(12)을통해프리챔버로도입하기위한배급매니폴드(1), 레벨링파이프(3) 내에파이프(3)의굽은진행평면(Z)에수직으로배열된제1 구멍뚫린칸막이(5) 및제2 구멍뚫린칸막이(6)를갖는다.
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