公开(公告)号：KR20180030486A

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：KR20180026912

申请日：2018-03-07

Applicant: 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  더 유니버서티 어브 퀸슬랜드

Inventor： JAMES W THACKERAY ,  KE DU ,  PETER TREFONAS III ,  IDRISS BLAKEY ,  ANDREW KEITH WHITTAKER

IPC: C08F220/18 ,  C08F2/48 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F220/28 ,  B05D1/005 ,  C08F2220/281 ,  C08F2438/03 ,  G03F7/094 ,  G03F7/20 ,  C08F2220/286 ,  C08F2220/185 ,  C08F220/22

Abstract: 코폴리머는자외선흡수모노머, 및염기-용해도-향상모노머를포함하는모노머들의중합에의해제조된다. 코폴리머는전자빔및 극자외선리소그래피(lithography)를위한톱코트층을형성시키기위해유용하다. 또한, 톱코트층을포함하는층상물품, 및전자소자를형성시키는관련된방법이기술된다.

Abstract translation: 通过包含紫外线吸收性单体和碱增溶性单体的单体的聚合来制备共聚物。 该共聚物可用于形成用于电子束和极紫外光刻的顶涂层。 还描述了包括顶涂层的层状制品以及形成电子器件的相关方法。