公开(公告)号：KR101880212B1

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：KR1020150079483

申请日：2015-06-04

申请人： 주식회사 엘지화학

发明人： 이제권 ,  박노진 ,  김정근 ,  구세진 ,  이미숙 ,  최은영 ,  윤성수 ,  유형주

IPC分类号： C08F297/00 ,  C08F299/00 ,  C08F212/08 ,  C08F220/10 ,  C08L53/00 ,  C08J5/18 ,  G03F7/00

CPC分类号： C08L53/005 ,  B05D1/005 ,  B05D3/007 ,  B81C1/00428 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y40/00 ,  C01P2002/70 ,  C07B2200/00 ,  C08F2/14 ,  C08F32/06 ,  C08F212/08 ,  C08F216/12 ,  C08F220/10 ,  C08F220/26 ,  C08F220/30 ,  C08F293/00 ,  C08F293/005 ,  C08F299/024 ,  C08F2220/301 ,  C08F2438/03 ,  C08G61/08 ,  C08G61/128 ,  C08G2261/1424 ,  C08G2261/1426 ,  C08G2261/332 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/40 ,  C08G2261/418 ,  C08J5/18 ,  C08J7/123 ,  C08J2353/00 ,  C08L53/00 ,  C08L53/02 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/039 ,  G03F7/091 ,  G03F7/16 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/30 ,  C08F214/182

摘要： 본출원은, 블록공중합체및 그용도가제공될수 있다. 본출원의블록공중합체는, 우수한자기조립특성내지는상분리특성을가지며, 요구되는다양한기능도자유롭게부여될수 있고, 특히에칭선택성이확보되어패턴형성과같은용도에효과적으로적용될수 있다.

公开(公告)号：KR101858759B1

公开(公告)日：2018-05-16

申请号：KR1020127001528

申请日：2010-06-22

申请人： 콘달리그 에이에스

发明人： 스바산드엘드리드 ,  부카난마크 ,  나필라마티 ,  헬게젠기르 ,  멜랜드아눌프

IPC分类号： H05F1/00 ,  H05K9/00 ,  H01B1/24

CPC分类号： H05K9/0079 ,  B05D1/005 ,  B05D1/40 ,  B05D3/14 ,  B05D2601/20 ,  H01B1/24 ,  H01G9/0003 ,  H01M4/628 ,  H05F3/025

摘要： 본발명은폴리머및 전도성입자를함유하는혼합물의층을제1 표면상에도포함으로써달성되고, 여기서그 혼합물은전도성입자가층 내에재배열되도록하는제1 점도를갖는다. 상기층 위에는전기장이인가되어다수의전도성입자를전기장으로정렬되고, 이후그 층의점도가층을기계적으로안정화시키기위해서보다높은제2 점도로변경된다. 이는 ESD 장치의제조에사용될수 있는향상된이방성전도도를지닌안정한층을유도하게된다.

公开(公告)号：KR101856145B1

公开(公告)日：2018-05-09

申请号：KR1020160182413

申请日：2016-12-29

申请人： 한국세라믹기술원 ,  주식회사코카브

发明人： 권우택 ,  김영희 ,  김수룡 ,  안수빈 ,  신동근 ,  김창곤 ,  김박표 ,  정상훈

IPC分类号： B05D7/24 ,  B05D1/18 ,  B05D1/02 ,  B05D1/00 ,  B05D3/02 ,  C09D7/12 ,  C09D1/00

CPC分类号： B05D7/24 ,  B05D1/005 ,  B05D1/02 ,  B05D1/18 ,  B05D3/0254 ,  B05D2518/10 ,  C09D1/00 ,  C09D7/65

摘要： 본발명은실리콘을포함하는그라파이트폼 상에실리콘카바이드의코팅형성방법에관한것으로, 상세하게는실리콘과탄소와의직접반응을유도하여그라파이트폼 표면이실리콘카바이드로코팅됨으로써, 결정성이우수한실리콘카바이드로코팅된그라파이트는균열이없이코팅되어내산화성이증진되어 1,200 ℃이상의고온에서공기등 산화분위기에노출되는소재로사용이가능한방법을제공하는실리콘을포함하는그라파이트폼 상에실리콘카바이드의코팅형성방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR20180030486A

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：KR20180026912

申请日：2018-03-07

申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  더 유니버서티 어브 퀸슬랜드

发明人： JAMES W THACKERAY ,  KE DU ,  PETER TREFONAS III ,  IDRISS BLAKEY ,  ANDREW KEITH WHITTAKER

IPC分类号： C08F220/18 ,  C08F2/48 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： C08F220/28 ,  B05D1/005 ,  C08F2220/281 ,  C08F2438/03 ,  G03F7/094 ,  G03F7/20 ,  C08F2220/286 ,  C08F2220/185 ,  C08F220/22

摘要： 코폴리머는자외선흡수모노머, 및염기-용해도-향상모노머를포함하는모노머들의중합에의해제조된다. 코폴리머는전자빔및 극자외선리소그래피(lithography)를위한톱코트층을형성시키기위해유용하다. 또한, 톱코트층을포함하는층상물품, 및전자소자를형성시키는관련된방법이기술된다.

摘要翻译： 通过包含紫外线吸收性单体和碱增溶性单体的单体的聚合来制备共聚物。 该共聚物可用于形成用于电子束和极紫外光刻的顶涂层。 还描述了包括顶涂层的层状制品以及形成电子器件的相关方法。

公开(公告)号：KR101838189B1

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：KR1020160100094

申请日：2016-08-05

申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  더 유니버서티 어브 퀸슬랜드

发明人： 제임스더블유.새커리 ,  케두 ,  피터트레포나스3세 ,  이드리스블레이키 ,  앤드류키이스휘터커

IPC分类号： C08F220/18 ,  C08F2/48 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC分类号： G01N21/6428 ,  A24B1/04 ,  A24B13/00 ,  A24B15/10 ,  B05D1/005 ,  B07C5/3427 ,  B07C5/366 ,  B07C2501/0018 ,  B65G27/00 ,  C08F220/28 ,  C08F2220/281 ,  C08F2438/03 ,  C10L1/003 ,  C10N2240/56 ,  G01N21/359 ,  G01N21/55 ,  G01N21/6486 ,  G01N21/84 ,  G01N21/85 ,  G01N21/94 ,  G01N21/95 ,  G01N21/952 ,  G01N2021/6417 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2021/646 ,  G01N2021/8411 ,  G01N2021/845 ,  G01N2021/8466 ,  G01N2021/8592 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  G03F7/20 ,  C08F2220/286 ,  C08F2220/185 ,  C08F220/22

摘要： 코폴리머는자외선흡수모노머, 및염기-용해도-향상모노머를포함하는모노머들의중합에의해제조된다. 코폴리머는전자빔및 극자외선리소그래피(lithography)를위한톱코트층을형성시키기위해유용하다. 또한, 톱코트층을포함하는층상물품, 및전자소자를형성시키는관련된방법이기술된다.

公开(公告)号：KR1020180006070A

公开(公告)日：2018-01-17

申请号：KR1020160086688

申请日：2016-07-08

申请人： 성균관대학교산학협력단

发明人： 이후정 ,  전학림 ,  김선호

IPC分类号： H01B5/14 ,  H01B1/02 ,  H01B3/42 ,  B82B3/00 ,  H01B13/00 ,  B05D1/00 ,  B05D1/18 ,  B05D1/26

CPC分类号： H01B5/14 ,  B05D1/005 ,  B05D1/18 ,  B05D1/26 ,  B82B3/00 ,  H01B1/02 ,  H01B3/306 ,  H01B3/421 ,  H01B3/426 ,  H01B13/0026

摘要： 본발명은 DBU(1,8-디아자비시클로운데크-7-엔)를이용하는간단한방법으로투과도저해없이전도도를향상시킴으로써, 고온의열처리를통한별도공정없이간단한공정으로열에약한플렉서블기판을은 나노와이어필름으로사용할수 있는은 나노와이어필름의제조방법및 그에의해제조된은 나노와이어필름에관한것이다.

摘要翻译： 通过改进的简单方法的导电性，而无需使用发送禁止（1,8-二氮杂双环镰刀和平-7-烯），在一个简单的过程的弱柔性基板的热不经由高温热处理的任何方法，本发明是DBU纳米 其可被用作金属丝膜是一种用于制造纳米线膜的方法，以及由此产生由涉及一种纳米线膜。

公开(公告)号：KR20180001457A

公开(公告)日：2018-01-04

申请号：KR20170076708

申请日：2017-06-16

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/67

CPC分类号： B23K26/18 ,  B05B3/02 ,  B05D1/005 ,  B23K26/083 ,  B23K26/0869 ,  B23K26/364 ,  B23K26/402 ,  B23K37/0235 ,  B23K2201/40 ,  B23K2203/50 ,  H01L21/78 ,  H01L22/20

摘要： (과제) 피가공물상태에상관없이적절히보호막을형성할수 있는보호막피복장치및 보호막피복방법을제공하는것. (해결수단) 보호막피복장치로서, 웨이퍼 (W) 의표면에보호막을피복함과함께, 그보호막을세정하는보호막형성겸세정부 (50) 와, 웨이퍼 (W) 의표면에피복된보호막의피복상태를검출하는피복상태검출부 (70) 와, 이것들을제어하는제어부 (90) 를포함한다. 제어부 (90) 는, 피복상태검출부 (70) 로부터의검출신호에기초하여, 보호막의막 두께가소정범위내에있는지의여부를판정하고, 막두께가소정범위에없는것으로판정한경우에는, 보호막형성겸세정부 (50) 를작동하여웨이퍼 (W) 의표면에피복된보호막을세정하고, 막두께에따라선택된전처리를표면에실시한후, 다시보호막형성겸세정부 (50) 를작동하여웨이퍼 (W) 의표면에보호막을피복한다.

摘要翻译： 保护膜涂覆设备包括保护膜形成和清洁单元，用于在晶片的表面上形成保护膜并将保护膜清除掉。 覆盖状态检测器检测保护膜的覆盖状态，并且控制器确定保护膜是否具有落入预定范围内的膜厚度。 如果控制器确定保护膜的厚度未落入预定范围内，则控制器操作保护膜形成和清洁单元以清洁保护膜，执行根据表面上的膜厚选择的预处理过程， 并操作保护膜形成和清洁单元以再次在晶片的表面上形成保护膜。

公开(公告)号：KR101811788B1

公开(公告)日：2017-12-26

申请号：KR1020150056399

申请日：2015-04-22

申请人： 폴 코포레이션

发明人： 아메르할레드아브델-하킴헬미 ,  시셀리나

IPC分类号： B01D71/80 ,  B01D67/00 ,  B05D1/00

CPC分类号： C08J9/00 ,  B01D67/0016 ,  B01D71/52 ,  B01D71/62 ,  B01D71/72 ,  B01D71/80 ,  B05D1/005 ,  C08J2205/042 ,  C08J2345/00 ,  Y10T428/249953

摘要： 자기조립블록코폴리머, 예를들어하기화학식 (I)의 2종블록코폴리머로부터형성된막이개시된다:(I), 여기서, R-R, n, 및 m은본 명세서에서설명된바와같고, 이는나노다공성막을제조하는용도를발견한다. 상기막의구현예들은원통형태로자기조립하는블록코폴리머를포함한다. 또한, 이러한막의제조방법이개시되며, 이는상기블록코폴리머를함유하는폴리머용액을스핀코팅하여박막을얻는단계, 이어서상기박막을용매증기중에서아닐링하거나, 및/또는, 용매또는용매혼합물중에서침지하여나노다공성막을형성하는단계를포함한다.

摘要翻译： （I）的化合物，其中RR，n和m如说明书中所述，其用于形成纳米多孔膜， 我们找到用于制造。 膜的实施方式包括圆柱形式的嵌段共聚物自组装。 此外，公开了这样的膜的制造方法，其浸没于通过旋涂含有嵌段共聚物，则该环的聚合物溶液中以获得的薄膜，和/或溶剂或溶剂混合物是不从溶剂蒸气的薄膜 由此形成纳米多孔膜。

公开(公告)号：KR1020170138621A

公开(公告)日：2017-12-18

申请号：KR1020160070404

申请日：2016-06-07

申请人： 삼성디스플레이 주식회사

发明人： 곽은애 ,  강민혁 ,  조국래

IPC分类号： G02B5/30 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： B05D3/007 ,  B05D1/005 ,  B05D3/12 ,  G02B5/3058 ,  G02F1/133528 ,  G02F1/1368 ,  G02F2001/133548 ,  H01L27/1222 ,  H01L29/66765 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/78603 ,  H01L29/78633 ,  H01L29/78678

摘要： 미세패턴형성방법이제공된다. 미세패턴형성방법은, 베이스부상에도전층을형성하고, 상기도전층상에카테콜기를갖는접착물질을포함하는희생층을형성하고, 상기희생층상에레지스트패턴을형성하고, 상기레지스트패턴을마스크로상기도전층을패터닝하여미세패턴을형성하는것을포함한다.

摘要翻译： 提供了一种形成精细图案的方法。 精细图案形成方法，所述基部部分，以形成一个导电层，形成牺牲层包括具有儿茶酚到导电层的粘接剂材料，并且形成抗蚀剂在牺牲层上的图案，该抗蚀剂图案作为掩模的程度。 并将整个图案图案化以形成精美的图案。

公开(公告)号：KR1020170128329A

公开(公告)日：2017-11-22

申请号：KR1020177026046

申请日：2016-02-04

申请人： 리껭테크노스 가부시키가이샤

发明人： 와시오노조무 ,  하시모토다케토 ,  후지모토준

IPC分类号： B32B27/30 ,  B32B27/20

CPC分类号： B29C47/02 ,  B05D1/005 ,  B05D1/02 ,  B29L2031/3055 ,  B32B1/00 ,  B32B27/18 ,  B32B27/20 ,  B32B27/30 ,  C08J7/04 ,  C08J7/042 ,  C08J2333/00 ,  C08J2355/02 ,  C08J2367/00 ,  C08J2369/00 ,  C08J2433/10 ,  C08J2435/02 ,  C09D7/40 ,  C09D133/10 ,  C09D135/02

摘要： 본발명의하나의구현예는수지기판을포함하고; 기판의표면의일부또는전부가하드코트로피복되고; 제 1 하드코트는 (A) 100 질량부의다관능성 (메트)아크릴레이트, (B) 0.01 내지 7 질량부의발수제, 및 (C) 0.01 내지 10 질량부의실란커플링제를포함하고, 무기입자를함유하지않는도료로형성되고; 제 2 하드코트는: (A) 100 질량부의다관능성 (메트)아크릴레이트및 (D) 50 내지 300 질량부의, 1 내지 300 nm 의평균입자크기를갖는무기미립자를포함하는도료로형성되는성형체이다. 본발명의또다른구현예는수지기판을포함하고; 기판의표면의일부또는전부가하드코트로피복되고, 제 1 하드코트는무기입자를함유하지않는도료로형성되고, 제 2 하드코트는무기입자를함유하는도료로형성되고; (i) 전체광선투과율이 85% 이상이고, (ii) 제 1 하드코트의표면의연필경도가 5H 이상인성형체이다.

摘要翻译： 本发明的一个实施例包括树脂基板; 基材表面的一些或全部被硬涂层覆盖; 第一硬涂层（A）多官能（甲基）100重量份的丙烯酸酯，（B）0.01-7包括由防水剂，和（C）的重量份（重量）的硅烷偶联剂jereul的0.01至10份，不含有无机粒子， 形成一个非涂层涂层; 第二硬质涂层是：（A）多官能（甲基）100重量份的丙烯酸，和（d）按重量计含1〜300nm的为50至300份的平均粒度的无机细颗粒的涂料形成的模塑制品 。 本发明的另一个实施例包括树脂基板; 所述衬底的所述表面的一些或全部涂覆有硬质涂层，所述硬涂层由不含有无机粒子的第一涂层构成，第二硬质涂层是由含有无机粒子的涂层而形成; （i）全光线透过率为85％以上，（ii）第一硬涂层表面的铅笔硬度为5H以上。