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公开(公告)号：KR102222818B1
公开(公告)日：2021-03-04
申请号：KR1020140134057
申请日：2014-10-06
申请人： 삼성전자주식회사
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
摘要： 반도체장치의제조방법에서, 기판상에소자분리막패턴을형성하여, 소자분리막패턴으로부터상부로돌출된제1 및제2 액티브핀들을정의한다. 소자분리막패턴상에제1 반사방지막을형성하여제1 및제2 액티브핀들의측벽을적어도부분적으로커버한다. 이때, 제1 반사방지막상면의높이는제1 및제2 액티브핀들의상면높이보다는작거나같고그 높이의절반보다는크거나같다. 제1 및제2 액티브핀들및 제1 반사방지막상에제1 포토레지스트막을형성한다. 제1 포토레지스트막 일부를제거하여제1 액티브핀을커버하면서제2 액티브핀을노출시키는제1 포토레지스트패턴을형성한다. 이때, 제거되는제1 포토레지스트막 부분아래의제1 반사방지막부분도함께제거되어제1 반사방지막패턴이형성된다. 노출된제2 액티브핀에이온을주입하여제1 불순물영역을형성한다.
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公开(公告)号：KR101910518B1
公开(公告)日：2018-10-22
申请号：KR1020170046972
申请日：2017-04-11
申请人： 삼성전자주식회사
CPC分类号： G06K9/0002 , G06F1/1626 , G06F1/1643 , G06F1/1684 , G06F3/0412 , G06F3/0414 , G06F3/042 , G06F3/0421 , G06F2203/04109 , G06K9/0004 , G06K9/00053 , H01L24/32 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L27/14618 , H01L27/14625 , H01L27/14636 , H01L27/323 , H01L27/3234 , H01L27/3276 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48106 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H04M1/026 , H04M1/0266 , H04M1/0277 , H05K1/0203 , H05K1/147 , H05K1/181 , H05K1/189 , H05K5/0017 , H05K5/0086 , H05K5/03 , H05K2201/066 , H05K2201/10128 , H05K2201/10151 , H01L2924/00
摘要： 본발명의다양한실시예에다른디스플레이장치는, 디스플레이패널, 상기디스플레이패널의위에배치된커버글래스및 상기디스플레이패널의아래에배치된생체센서모듈을포함하고, 상기생체센서모듈은, 회로기판, 상기회로기판위에배치된생체센서및 개구부가형성된하우징을포함하고, 상기하우징의개구부에상기생체센서가수용되고, 상기생체센서모듈은상기하우징에의해상기디스플레이패널의일면에부착될수 있다. 또한, 다른실시예도가능하다.
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公开(公告)号：KR1020170025484A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020150121980
申请日：2015-08-28
申请人： 삼성전자주식회사
摘要： 다양한실시예에따른전자장치는하우징; 상기하우징내에배치된배터리; 제 1 외부전원과전기적으로또는전자기적으로연결되도록구성된제 1 인터페이스; 제 2 외부전원과전기적으로또는전자기적으로연결되도록구성된제 2 인터페이스; 및상기배터리, 상기제 1 인터페이스, 및상기제 2 인터페이스와전기적으로연결된회로를포함하고, 상기회로는, 상기제 2 인터페이스에서출력된제 2 전압에기초하여, 상기제 1 인터페이스에서출력된제 1 전압을변경하고, 상기제 2 인터페이스에서출력된제 2 전류에기초하여, 상기제 1 인터페이스에서출력된제 1 전류를변경하고, 상기변경된제 1 전류및 상기제 2 전류에기초하여, 상기배터리를충전할수 있다. 이를통하여전자장치에있어서, 다수의외부전원에서같은레벨의전원을동시에수신하여배터리를충전할수 있다. 이외 다양한실시예가가능할수 있다.
摘要翻译： 提供一种用于对电子设备的电池充电的电子设备和方法。 电子设备包括壳体; 设置在所述壳体内的电池; 第一接口，电或电磁连接到第一外部电源; 第二接口，电或电磁连接到第二外部电源; 以及电连接到所述电池，所述第一接口和所述第二接口的电路，其中所述电路基于从所述第二接口输出的第二电压改变从所述第一接口输出的第一电压，从所述第一接口改变第一电流输出 基于来自第二接口的第二电流输出，并且基于改变的第一电流和第二电流对电池充电。
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公开(公告)号：KR1020090029454A
公开(公告)日：2009-03-23
申请号：KR1020070094700
申请日：2007-09-18
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김진만
CPC分类号： H04N7/142 , H04M2250/20 , H04N5/2257 , H04N5/23245 , H04N5/2628 , H04N2007/145
摘要： An image data processing apparatus in a portable terminal and a method thereof are provided to apply image processing methods, suitable for each of the used camera use modes, to inputted video data by determining the camera use mode in the portable terminal having a rotatable camera. A camera part(110) photographs image data. In a video call mode, if the image data of a user is inputted from the camera part, an image processing unit(120) resizes the size of the image data, inputted under the control of a controller(100), so as to correspond to the horizontal size of a transmission screen size, and then resizes the resized image data so as to correspond to the vertical size of a transmission screen size.
摘要翻译： 提供一种便携式终端中的图像数据处理装置及其方法，用于通过确定具有可旋转相机的便携式终端中的相机使用模式，将适用于每个所使用的相机使用模式的图像处理方法应用于输入的视频数据。 相机部件（110）拍摄图像数据。 在视频通话模式中，如果从相机部分输入用户的图像数据，则图像处理单元（120）根据控制器（100）的控制输入的图像数据的大小来调整大小，以对应于 与发送屏幕尺寸的水平尺寸相关联，然后对调整大小的图像数据进行调整大小，以便对应于传输屏幕尺寸的垂直尺寸。
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公开(公告)号：KR1020070080728A
公开(公告)日：2007-08-13
申请号：KR1020060012134
申请日：2006-02-08
申请人： 삼성전자주식회사
IPC分类号： H01L21/68
摘要： A lift pin assembly, an ashing apparatus and an ashing method are provided to prevent the pop-up and warpage of a wafer due to an abrupt variation of temperature by making a lift pin fall gradually using an improved driving unit with a step motor and a screw. A lift pin assembly includes a plurality of lift pins and a driving unit. The plurality of lift pins(110) movie up and down along a plurality of through holes of a support member. The lift pins are used for loading stably a wafer on the support member. The driving unit(130) is used for moving the lift pins step by step. The driving unit is composed of a step motor(132) capable of rotating by a predetermined angle and a screw. The screw(134) is connected to the step motor in order to change the rotation of the step motor into the up/down motion of the lift pins.
摘要翻译： 提供升降销组件，灰化装置和灰化方法，以通过使用具有步进电动机的改进的驱动单元使升降销逐渐降低而防止由于温度的突然变化导致的晶片的弹起和翘曲 拧。 提升销组件包括多个提升销和驱动单元。 多个提升销（110）沿着支撑构件的多个通孔上下移动。 提升销用于将晶片稳定地装载在支撑构件上。 驱动单元（130）用于逐步移动提升销。 驱动单元由能够以预定角度旋转的步进马达（132）和螺杆构成。 螺钉（134）连接到步进电机，以便将步进电机的旋转改变为提升销的上/下运动。
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公开(公告)号：KR100737863B1
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：KR1020050103399
申请日：2005-10-31
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김진만
IPC分类号： H04B1/38
摘要： 사용자가 원하는 다양한 각도로 디스플레이장치를 회전시킬 수 있는 전자기기가 개시된다. 개시된 본 발명은 전자기기 본체; 본체에 대하여 움직임 가능하게 설치되는 디스플레이장치; 및 디스플레이장치를 본체에 다방향으로 회전 가능하게 연결시키는 다축 힌지장치;를 포함한다. 여기서, 다축 힌지장치는, 본체에 설치되는 하우징; 하우징 내부에 회전 가능하게 설치되는 구형 회전캠; 구형 회전캠의 정지위치를 고정시키는 스토퍼; 및 디스플레이장치와 구형 회전캠을 연결시키는 샤프트;를 포함한다.
캠코더, 회전, 구형, 회전캠, 디스플레이, 액정, LCD, 다축, 다방향.-
公开(公告)号：KR1020070054765A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：KR1020050112637
申请日：2005-11-24
申请人： 삼성전자주식회사
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 로드 록 챔버의 진공 형성 방법에 있어서, 기판을 수용하는 로드 록 챔버 내부에 제1 진공압을 제공하여 로드 록 챔버 내부에 존재하는 가스를 상방으로 일차 배기시킨다. 로드 록 챔버 내부에 제1 진공압보다 높은 제2 진공압을 제공하여 로드 록 챔버 내부에 존재하는 가스를 이차 배기시킴으로써, 상기 로드 록 챔버 내부를 상기 제2 진공압으로 형성한다. 이로써, 로드 록 챔버의 진공 형성시 급격한 압력 변화로 인해 이물질이 생성되거나 또는 진공 배기에 의해 로드 록 챔버의 상부에 존재하는 이물질이 피처리 기판 상으로 쉽게 전이되는 문제가 억제된다.
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公开(公告)号：KR100542745B1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020040114015
申请日：2004-12-28
申请人： 삼성전자주식회사 , 주식회사 뉴파워 프라즈마
IPC分类号： H05H1/30
摘要： 리모트 방식의 플라즈마를 생성하는 방법 및 장치 그리고, 상기 플라즈마를 사용하는 반도체 제조 공정의 수행 방법 및 장치가 개시되어 있다. 축 방향을 갖는 주-자기장과, 상기 축 방향과 평행한 방향을 갖는 보조-자기장을 형성하다. 상기 주-자기장의 자기력선과 동일한 변위를 갖는 경로로 가스를 플로우시키고, 고주파 교류 전류를 인가하여, 가스 플라즈마를 생성한다. 상기 가스 플라즈마를 공정 챔버로 공급하여 상기 가스 플라즈마를 사용하는 반도체 제조 공정을 수행한다. 높은 효율로 플라즈마 가스를 생성할 수 있고, 저렴한 플라즈마 생성용 가스를 사용할 수 있다.
摘要翻译： 公开了一种用于产生远程类型的等离子体的方法和设备，以及用于使用等离子体执行半导体制造工艺的方法和设备。 具有轴向的磁场和具有与轴向平行的方向的辅助磁场。 气体流过与主磁场的磁力线具有相同位移的路径，并且施加高频交流电以产生气体等离子体。 将气体等离子体供应至处理室以使用气体等离子体执行半导体制造工艺。 可以高效地产生等离子体气体，并且可以使用便宜的等离子体产生气体。
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