公开(公告)号：KR1020170035207A

公开(公告)日：2017-03-30

申请号：KR1020150134009

申请日：2015-09-22

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 김종수 ,  타마무시츠이치 ,  신인균 ,  이성일 ,  최진

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F1/36 ,  G03F1/70 ,  H01L21/033

CPC分类号： G03F1/70 ,  G03F1/78 ,  G03F7/2059 ,  G03F7/70616 ,  G03F7/70875

摘要： 본발명의기술적사상에의한레티클의제조방법은, 기판, 상기기판에형성할패턴의위치데이터, 및상기패턴을형성하기위한 1차노광조건을준비하는단계; 상기패턴의위치데이터및 상기 1차노광조건하에서상기기판을노광하는 1차시뮬레이션을수행하는단계; 상기 1차시뮬레이션에서상기노광에의해발생하는상기기판의 1차변형률을계산하는단계; 상기기판의 1차변형률에따라상기패턴의위치데이터를 1차보정하는단계; 및 1차보정된패턴의위치데이터에기초하여상기 1차노광조건하에서상기기판을 1차노광하는단계;를포함할수 있다.

摘要翻译： 根据本发明的一个方面，提供了一种制造掩模版的方法，包括：准备衬底，待形成在衬底上的图案的位置数据以及用于形成图案的初始非晶态; 执行图案的位置数据和主要模拟以在主琥珀色条件下曝光衬底; 计算初级模拟中由暴露引起的基底的初级应变; 首先根据基板的初始应变来定位图案的位置数据; 并且基于主要琥珀色条件下的基底主要暴露基于主要校正图案的位置数据。

公开(公告)号：KR1020070061942A

公开(公告)日：2007-06-15

申请号：KR1020050121472

申请日：2005-12-12

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： H01L21/02

摘要： A chamber with a door is provided to prevent the leak of vacuum in the chamber and to restrain the damage of the chamber by setting a reference pressurizing force of the door using a pressure sensor. A chamber includes a chamber body, a door, a pressure sensor unit. The chamber body(102) is used for storing a substrate. The chamber body includes an opening portion at one side. The door(108) is used for closing or opening the chamber body. The pressure sensor unit(120) is installed at a portion between the door and the chamber body. The pressure sensor is used for measuring the pressurizing force of the door applied to the chamber body.

摘要翻译： 提供具有门的室以防止室中的真空泄漏并且通过使用压力传感器设定门的参考加压力来抑制室的损坏。 腔室包括腔体，门，压力传感器单元。 室主体（102）用于存储基板。 室主体包括一侧的开口部。 门（108）用于关闭或打开腔体。 压力传感器单元（120）安装在门和腔体之间的部分。 压力传感器用于测量施加到腔体的门的加压力。

公开(公告)号：KR100610012B1

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：KR1020040064274

申请日：2004-08-16

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/48

CPC分类号： F04D29/023 ,  F04D19/042 ,  F04D27/008 ,  F05D2300/10 ,  F05D2300/43 ,  F05D2300/50 ,  F05D2300/507

摘要： 본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화 할 수 있는 터보 펌프에 대하여 개시한다. 그의 펌프는, 반응 챔버와 연통하여 체결되는 원통모양으로 형성된 하우징과, 상기 하우징의 내주면을 따라 소정 간격을 갖는 고리 모양으로 형성된 복수개의 스테이터와, 상기 하우징의 원통 중심에 형성되고 일방향으로 회전하는 샤프트와, 상기 샤프트의 하부에 수직으로 체결되는 아마튜어 디스크와, 상기 아마튜어 디스크의 상하부에서 상기 아마튜어 디스크를 자기 부양시키는 상하부 마그넷과, 상기 샤프트의 외주면을 감싸도록 형성되고, 상기 샤프트를 회전시키는 유도 기전력을 생성하는 전자코일이 형성된 스테이트 바디 베이스와, 상기 스테이트 바디 베이스와 상기 하우징 사이에서 상기 샤프트의 상부에 체결되는 바디에 연결되고, 복수개의 상기 스테이터 사이에서 소정 속도로 회전되는 복수개의 로터와, 상기 로터에 대응하는 상기 하우징의 외주면에 형성되고 상기 로터의 회전을 정지시키고자 할 경우 상기 로터에 인가되는 전하와 반대되는 전하가 인가되어 상기 로터의 회전을 정전기력으로 정지시키는 전극을 포함하여 이루어진다.
터보 펌프(turbo pump), 로터(rotor), 스테이터(stator), 전극(electorde), 샤프트(shaft)

公开(公告)号：KR1020060025672A

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：KR1020040074419

申请日：2004-09-17

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/02 ,  B01D46/0005 ,  B01D46/0019

摘要： 본 발명은 정전기를 이용한 가스 필터링 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 반도체 소자 제조를 위한 가스 필터링 장치는, 가스 유입구와 필터링 된 가스가 유출되는 유출구를 구비하는 원통형의 가스 필터 하우징과; 상기 가스필터 하우징의 내부에 원통형의 미세망으로 구성되어 유입되는 가스를 1차적으로 필터링하는 제1필터와; 상기 제1필터를 감싸는 원통형으로 구성되고 외부에는 복수회로 감겨진 코일을 구비하여 상기 가스필터 하우징의 내부에 구성되어, 상기 코일에 의해 발생되는 정전기를 이용하여 상기 제1필터에서 필터링 된 가스를 2차적으로 필터링하는 제2필터를 구비한다. 본 발명에 따르면, 미세 파티클 뿐 아니라 극 미세 파티클 까지도 필터링 할 수 있다.

공정가스, 필터, 미세 파티클, 정전기

公开(公告)号：KR1020060013812A

公开(公告)日：2006-02-14

申请号：KR1020040062408

申请日：2004-08-09

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67098 ,  H05B3/40

摘要： 본 발명은 외관을 단순화할 수 있으며, 추가적인 비용을 절감할 수 있는 내부발열 장치를 구비하는 가스관에 관한 것으로, 본 발명에 따른 내부 발열 장치를 구비하는 가스관은, 내경과 외경을 가지는 가스관과, 상기 가스관의 내경과 외경사이에 발열성 금속이 삽입된 내부 발열장치를 구비함을 특징으로 한다.

가스관, 발열, 히팅, 발열성 금속

公开(公告)号：KR1020060006134A

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：KR1020040055005

申请日：2004-07-15

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/67772 ,  F16K3/12 ,  F16K3/18 ,  H01L21/3065

摘要： 본 발명은 반도체소자 제조 시 슬릿밸브 내부의 오염 및 부식을 방지할 수 있는 이너도어 어셈블리에 관한 것이다.
반도체 공정챔버의 슬릿밸브의 오링이 플라즈마에 의해 부식되거나 열화되지 않도록 하여 제조 비용 및 크리닝시간을 감소시킬 수 있는 본 발명의 반조체 제조설비의 슬릿밸브는, 챔버에 연결된 이너도어를 개폐하는 슬릿밸브와, 상기 슬릿밸브의 전면에 밀착 고정되는 밸브보호부재를 포함한다.

반도체 제조 장치, 이너도어 어셈블리, 슬릿밸브

公开(公告)号：KR1020050104504A

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：KR1020040029822

申请日：2004-04-29

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/02 ,  F04B37/02 ,  F04B53/10 ,  H01L21/67005

摘要： 본 발명은 반도체 제조설비에서 드라이펌프의 로터를 대기에 노출되지 않도록 하여 오일이나 흄에 의해 굳어서 재시동되지 않는 페일을 방지하는 드라이펌프 페일방지장치에 관한 것이다.
이를 위한 반도체 제조설비의 드라이펌프 페일방지장치는, 공정을 수행하기 위한 공정챔버와, 상기 공정챔버의 측벽에 결합된 펌핑라인과, 상기 펌핑라인과 연결되어 드라이공정 시 상기 공정챔버의 잔류개스를 배출하기 위한 드라이펌프와, 상기 펌핑라인 상에 설치되어 상기 공정챔버와 드라이펌프 간의 펌핑라인을 차단하기 위한 밸브와, 설비의 트레이스 시 상기 벤트밸브를 크로스시키고 상기 드라이펌프를 일정한 속도로 슬로우 펌핑하도록 제어하는 콘트롤러를 포함한다.
본 발명은 트레이스 시 펜들럼 벤트밸브를 크로스하여 드라이펌프가 대기에 노출되지 않도록 하는 동시에 일정한 속도로 드라이펌프를 구동시켜 슬로우 펌핑하도록 하여 다시 공정을 진행할 시 드라이펌프 페일현상을 방지한다.

公开(公告)号：KR1020080021862A

公开(公告)日：2008-03-10

申请号：KR1020060084956

申请日：2006-09-05

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： G02F1/1333

CPC分类号： G02F1/133528 ,  G02F2001/13332 ,  G02F2202/28

摘要： A display panel assembly and a display device having the display panel assembly are provided to attach/detach an anti-reflection film to/from an LCD(Liquid Crystal Display) to switch the LCD between a reflection type LCD and a non-reflection type LCD. A display device(1000) includes a display panel assembly(500) and a back light assembly(600). The display panel assembly includes a display panel(100) for displaying images, a first polarizer(200) located under the display panel, a second polarizer(300) placed on the display panel and an anti-reflection film(400) attached to the second polarizer to prevent external light from reflection. The back light assembly is located under the display panel assembly and provides internal light to the display panel assembly.

摘要翻译： 具有显示面板组件的显示面板组件和具有显示面板组件的显示装置被设置为将防反射膜与LCD（液晶显示器）连接/拆卸，以将LCD切换到反射型LCD和非反射型LCD 。 显示装置（1000）包括显示面板组件（500）和背光组件（600）。 显示面板组件包括用于显示图像的显示面板（100），位于显示面板下方的第一偏振器（200），放置在显示面板上的第二偏振器（300）和附着在显示面板上的防反射膜 第二偏振器，以防止外部光反射。 背光组件位于显示面板组件下方，并向显示面板组件提供内部光。

公开(公告)号：KR1020070058795A

公开(公告)日：2007-06-11

申请号：KR1020050117521

申请日：2005-12-05

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： H01L21/02

摘要： Semiconductor fabricating equipment is provided to automatically adjust a balance level of semiconductor equipment by detecting a distance between the semiconductor equipment and a ground. A process of fabricating a semiconductor device is carried out in semiconductor equipment(100). A detection unit detects a distance between the semiconductor equipment and a ground. A controller(300) generates a desired control signal corresponding to the detected signal transmitted from the detection unit. A display unit(500) receives the control signal from the controller to display a balance level of the semiconductor equipment, and the semiconductor equipment is driven by a drive unit(400) according to the control signal.

摘要翻译： 提供半导体制造设备以通过检测半导体设备和地之间的距离来自动调节半导体设备的平衡水平。 在半导体设备（100）中进行制造半导体器件的工艺。 检测单元检测半导体设备和地之间的距离。 控制器（300）产生与从检测单元发送的检测信号相对应的期望控制信号。 显示单元（500）从控制器接收控制信号以显示半导体设备的平衡电平，半导体设备由驱动单元（400）根据控制信号驱动。

公开(公告)号：KR1020070008958A

公开(公告)日：2007-01-18

申请号：KR1020050063563

申请日：2005-07-14

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 이성일

IPC分类号： F16H7/08

摘要： A device for displaying tension of a chain is provided to prevent previously a mechanical trouble and reduce time loss due to malfunction by displaying the tension of the chain. A driving pulley(20) is used for generating rotatory power in order to transmit the power. A chain(22) is wound around the driving pulley in order to transmit the power. A driven pulley(24) is coupled with the driving pulley and is driven by the rotatory power transmitted from the chain. A tension measurement unit(26) is installed at the chain in order to measure the tension and display the measured tension. The tension measurement unit generates alarm sound when the measured tension is greater than a predetermined value.

摘要翻译： 提供用于显示链条张力的装置，以防止以前的机械故障，并且通过显示链条的张力来减少由于故障引起的时间损失。 驱动滑轮（20）用于产生旋转动力以传递动力。 链条（22）缠绕在驱动滑轮上以便传递动力。 从动滑轮（24）与驱动滑轮联接，并由从链条传递的旋转动力驱动。 张力测量单元（26）安装在链条上，以便测量张力并显示测得的张力。 当测量的张力大于预定值时，张力测量单元产生报警声。