公开(公告)号：KR100183990B1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：KR1019910008819

申请日：1991-05-29

Applicant: 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤

Inventor： 반바도시오 ,  다께우찌에쓰 ,  다께다도시로 ,  다께다나소시게 ,  도꼬오아끼라

IPC: G03F7/04

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0757 ,  Y10S430/107

Abstract: 본 발명은 기재 수지로서 폴리벤족사졸 전구체, 개선된 접착성, 유연성 또는 내열성 부여용 성분으로서 유기 용매-가용성 중합체 또는 그의 전구체(예. 폴리암산), 및 감광성제로서 디아조퀴논 화합물 및/또는 디히드로피리딘 화합물을 함유함을 특징으로 하는 양성 감광성 수지 조성물을 제공한다. 이 감광성 수지 조성물은 고 해상능의 패턴을 형성시킬 수 있으며 또한 우수한 접착성 및 기계적 특성을 갖는다. 본 발명은 또한 감광제로서, 양성 감광성 수지 조성물중에 혼합될때 고해상능, 고대비성 및 후막 형성능을 제공하는 세가지 신규한 디아조퀴논 화합물을 제공한다. 또한 본 발명은 폴리벤족사졸 전구체를 감광제로서 디아조퀴논 화합물과 반응시킴으로써 수득된 새로운 타입의 양성 감광성 수지 조성물을 제공한다. 이 감광성 수지 조성물은 광노출시에 우수한 내알칼리성을 가지므로 고잔류막 비율을 제공할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019910020490A

公开(公告)日：1991-12-20

申请号：KR1019910008819

申请日：1991-05-29

Applicant: 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤

Inventor： 반바도시오 ,  다께우찌에쓰 ,  다께다도시로 ,  다께다나소시게 ,  도꼬오아끼라

IPC: G03F7/04

Abstract: 내용 없음