ROM 셀들을 갖는 비휘발성 메모리 셀들의 어레이
    4.
    发明公开
    ROM 셀들을 갖는 비휘발성 메모리 셀들의 어레이 审中-实审
    具有ROM单元的非易失性存储单元阵列

    公开(公告)号:KR1020170121261A

    公开(公告)日:2017-11-01

    申请号:KR1020177027334

    申请日:2016-02-05

    Abstract: 기판내에형성되고채널영역이사이에있는이격된소스영역과드레인영역, 채널영역의제1 부분위에배치되면서그로부터절연되는제1 게이트, 및채널영역의제2 부분위에배치되면서그로부터절연되는제2 게이트를각각이갖는복수의 ROM 셀들, 및복수의 ROM 셀들위에연장되는전도성라인을포함하는메모리디바이스가개시된다. 전도성라인은 ROM 셀들의제1 서브그룹의드레인영역들에전기적으로커플링되고, ROM 셀들의제2 서브그룹의드레인영역들에전기적으로커플링되지않는다. 대안으로, ROM 셀들의제1 서브그룹은각각이채널영역내에더 높은임계전압주입영역을포함하는반면, ROM 셀들의제2 서브그룹은각각이채널영역내에어떠한더 높은임계전압주입영역을포함하지않는다.

    Abstract translation: 为形成在所述基板和布置在所述沟道区的所述第一部分在所述漏极区域,而设置在所述第一栅极的第二部分移动该离开的源极区,沟道区,以及沟道区从它绝缘的第二栅绝缘的 公开了一种存储器件,其包括多个ROM单元,每个ROM单元具有在多个ROM单元上延伸的导电线。 导电线被电耦合到所述子组的ROM单元中的第一漏极区,并且不电耦合到所述第二子组的ROM单元的所述漏极区。 可选地,第一子组ROM的细胞,而含有较高的阈值电压注入区在沟道区中,分别与所述第二子组的ROM单元的不包括在沟道区域中的任何更高的阈值电压注入区,分别 不要。

    자가 정렬 플로팅 게이트 및 소거 게이트를 갖는 비휘발성 메모리 셀, 및 그를 제조하는 방법
    8.
    发明授权
    자가 정렬 플로팅 게이트 및 소거 게이트를 갖는 비휘발성 메모리 셀, 및 그를 제조하는 방법 有权
    具有自对准浮置栅极和擦除栅极的非易失性存储单元及其制造方法

    公开(公告)号:KR101731202B1

    公开(公告)日:2017-04-27

    申请号:KR1020157031692

    申请日:2014-04-16

    Abstract: 반도체재료의기판내로트렌치가형성된메모리디바이스및 이를제조하는방법이제공된다. 소스영역이트렌치아래에형성되고, 소스영역과드레인영역사이의채널영역은사실상트렌치의측벽을따라서연장되는제1 부분및 사실상기판의표면을따라서연장되는제2 부분을포함한다. 플로팅게이트는트렌치내에배치되고, 채널영역제1 부분으로부터, 그의전도성을제어하기위해, 절연된다. 제어게이트가채널영역제2 부분위에배치되며, 그의전도성을제어하기위해, 그로부터절연된다. 소거게이트가플로팅게이트위에적어도부분적으로배치되며그로부터절연된다. 전기전도성커플링게이트가트렌치내에배치되고, 플로팅게이트에인접하며플로팅게이트로부터절연되고, 소스영역위에배치되며소스영역으로부터절연된다.

    Abstract translation: 提供了一种在半导体材料的衬底中形成沟槽的存储器件及其制造方法。 源区形成在沟槽下方,并且源区和漏区之间的沟道区基本上包括沿着沟槽的侧壁延伸的第一部分和基本上沿着衬底的表面延伸的第二部分。 浮置栅极设置在沟槽中并且与沟道区域第一部分隔离以控制其导电性。 控制栅极设置在沟道区域第二部分上并与其绝缘以控制其导电性。 擦除栅极至少部分地设置在浮置栅极之上并与浮置栅极绝缘。 导电耦合栅极设置在沟槽中,与浮置栅极相邻,与浮置栅极隔离,设置在源极区域之上并与源极区域隔离。

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