公开(公告)号：KR101980181B1

公开(公告)日：2019-05-20

申请号：KR1020177024825

申请日：2016-03-23

Applicant: 아스리트 에프에이 가부시키가이샤

Inventor： 야자와이치로 ,  가와카미시게아키

IPC: H01L23/00 ,  H01L21/60

公开(公告)号：KR1020170109060A

公开(公告)日：2017-09-27

申请号：KR1020177024825

申请日：2016-03-23

Applicant: 아스리트 에프에이 가부시키가이샤

Inventor： 야자와이치로 ,  가와카미시게아키

IPC: H01L23/00 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L24/742 ,  H01L24/75 ,  H01L24/81 ,  H01L2021/60022

Abstract: 투입마스크상에공급된도전볼을보다확실하게이동시킬수 있는, 볼투입헤드, 볼탑재장치및 볼탑재방법을제공하는것을목적으로한다. 기판(P)에형성된전극(T)의배치패턴에개구(17)의배치패턴을일치시킨투입마스크(16) 상에공급된볼(B)을선형부재(34)에의해개구(17)에투입하는볼 투입헤드(27)에있어서, 복수개의선형부재(34)를꼬아서형성한연선(撚線)(35)이복수개 그양단(兩端)에서다발진결속선형부재(33)를가지고, 결속선형부재(33)는, 일단으로부터타단에걸쳐서비틀린상태로되고, 결속선형부재(33)를투입마스크(16)를따르게하여이동시킴으로써볼(B)을개구(17)에투입하는것.

Abstract translation: 一种球安装装置和一种球安装方法，能够更可靠地移动输入掩膜上提供的导电球。 开口17通过供给到输入一个球（B）掩模16的开口17的排列图案匹配形成在基板（P）的电极（T）的配置图案，以线状部件34，其星辰 球插入头27具有多根绞合线35，该多根绞合线35通过扭绞多根线状部件34而形成，并且在其两端具有摆动结合线状部件33， 装订线性部件33从一端扭曲到另一端并且使装订线性部件33沿着注入掩模16移动，以将球B插入到开口17中。