公开(公告)号：KR1020100126576A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：KR1020107024107

申请日：2009-03-26

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 케르,시레아스에스. ,  나르원카르,프라빈케이. ,  아흐메드,할레드제트. ,  마,이

IPC: H01L21/316 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L21/31645 ,  C23C14/083 ,  C23C16/56 ,  H01L21/3141 ,  H01L21/8238

Abstract: 초-고 순도 하프늄 함유 유기금속성 화합물을 이용하여 하이 K(유전 상수) 막을 제조하기 위한 프로세스들이 개시된다. 고 순도 하프늄 함유 유기금속성 화합물들을 이용하여 제조된 하이 K 막들을 통합하는 소자들 또한 제시된다.

公开(公告)号：KR101573205B1

公开(公告)日：2015-12-01

申请号：KR1020107024107

申请日：2009-03-26

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 케르,시레아스에스. ,  나르원카르,프라빈케이. ,  아흐메드,할레드제트. ,  마,이

IPC: H01L21/316 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L21/31645 ,  C23C14/083 ,  C23C16/56 ,  H01L21/3141

Abstract: 초-고순도하프늄함유유기금속성화합물을이용하여하이 K(유전상수) 막을제조하기위한프로세스들이개시된다. 고순도하프늄함유유기금속성화합물들을이용하여제조된하이 K 막들을통합하는소자들이또한제시된다.