公开(公告)号：KR1020090047388A

公开(公告)日：2009-05-12

申请号：KR1020087026168

申请日：2008-08-29

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 바치라치,로버트제트. ,  채,용-기 ,  최,수영 ,  데브리에스,니콜라스지.제이. ,  엘가,야코브 ,  잉글하르디트,에릭에이. ,  프레이,마이클알. ,  가이,챨스 ,  하우킨즈,패리스 ,  호,쵸이 ,  헌터,제임스크레이그 ,  칸카나라,펜챠라엔. ,  리,리웨이 ,  로,윙후 ,  루,대니캄토안 ,  메이,팡 ,  머피,스테판피. ,  파텔,스루잘 ,  사운더스,매튜제이.비. ,  슈레징거,아사프 ,  셍,슈란 ,  수,타이-파 ,  설리반,제프리에스. ,  탄너,데이비드 ,  트로우브릿지,테레사 ,  왈커,브라이스 ,  화이트,존엠. ,  원,태케이.

IPC: B23Q7/14 ,  H01L21/00 ,  B23D1/26

CPC classification number: H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

Abstract: 본 발명은 일반적으로 자동화된 태양전지 소자 제조 시스템 내에 위치한 분할 모듈에 관한 것이다. 태양전지 소자 제조 시스템은 하나의 대형 기판을 수용하고 이로부터 다수의 실리콘 박막 태양전지 소자를 형성하도록 이루어진다.