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公开(公告)号：KR1020170118970A
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：KR1020177029583
申请日：2014-12-08
Applicant: 에이제트 일렉트로닉 머티어리얼스 (룩셈부르크) 에스.에이.알.엘.
IPC: G03F7/09 , C08L29/04 , G03F7/004 , H01L21/02 , H01L21/311 , H01L21/47 , H01L21/477
CPC classification number: H01L21/02172 , G03F7/0042 , G03F7/091 , G03F7/094 , H01L21/02142 , H01L21/02282 , H01L21/31133 , H01L21/47 , H01L21/477
Abstract: 본발명은하나이상의폴리옥소메탈레이트, 하나이상의헤테로폴리옥소메탈레이트및 이들의혼합물로부터선택되는금속성분; 및하나이상의유기성분을포함하는신규한조성물에관한것이다. 또한, 본발명은또한, 나노로드어레이및 나노로드물질의제조방법및 필름에관한것이다. 본발명은또한산화금속풍부필름을생성하기위한신규한조성물에관한것이고, 또한비아또는트렌치충전, 리버스비아(reverse via) 또는트렌치충전및 하지층을사용한영상화에대한공정에관한것이다. 상기물질은반도체소자, 전기-광학기기및 에너지저장산업을비롯한수많은산업에서의광범위한제조분야에서유용하다.
Abstract translation: 本发明涉及选自至少一种多金属氧酸盐，至少一种杂多金属氧酸盐及其混合物的金属组分; 至少有一种有机成分。 本发明还涉及纳米棒阵列和制造纳米棒材料和膜的方法。 本发明还涉及一种用于制造富含金属氧化物的薄膜的新型组合物，还涉及用于通过通孔或沟槽填充，反向通孔或沟槽填充和底层进行成像的方法。 这种材料在包括半导体器件，电光器件和能量存储行业在内的众多行业的各种制造应用中是有用的。
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公开(公告)号：KR1020160107310A
公开(公告)日：2016-09-13
申请号：KR1020167022066
申请日：2014-12-08
Applicant: 에이제트 일렉트로닉 머티어리얼스 (룩셈부르크) 에스.에이.알.엘.
IPC: G03F7/09 , C08L29/04 , G03F7/004 , H01L21/02 , H01L21/311 , H01L21/47 , H01L21/477
CPC classification number: H01L21/02172 , G03F7/0042 , G03F7/091 , G03F7/094 , H01L21/02142 , H01L21/02282 , H01L21/31133 , H01L21/47 , H01L21/477 , C08L29/04
Abstract: 본발명은하나이상의폴리옥소메탈레이트, 하나이상의헤테로폴리옥소메탈레이트및 이들의혼합물로부터선택되는금속성분; 및하나이상의유기성분을포함하는신규한조성물에관한것이다. 또한, 본발명은또한, 나노로드어레이및 나노로드물질의제조방법및 필름에관한것이다. 본발명은또한산화금속풍부필름을생성하기위한신규한조성물에관한것이고, 또한비아또는트렌치충전, 리버스비아(reverse via) 또는트렌치충전및 하지층을사용한영상화에대한공정에관한것이다. 상기물질은반도체소자, 전기-광학기기및 에너지저장산업을비롯한수많은산업에서의광범위한제조분야에서유용하다.
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公开(公告)号：KR101833159B1
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：KR1020167022066
申请日：2014-12-08
Applicant: 에이제트 일렉트로닉 머티어리얼스 (룩셈부르크) 에스.에이.알.엘.
IPC: G03F7/09 , C08L29/04 , G03F7/004 , H01L21/02 , H01L21/311 , H01L21/47 , H01L21/477
CPC classification number: H01L21/02172 , G03F7/0042 , G03F7/091 , G03F7/094 , H01L21/02142 , H01L21/02282 , H01L21/31133 , H01L21/47 , H01L21/477
Abstract: 본발명은하나이상의폴리옥소메탈레이트, 하나이상의헤테로폴리옥소메탈레이트및 이들의혼합물로부터선택되는금속성분; 및하나이상의유기성분을포함하는신규한조성물에관한것이다. 또한, 본발명은또한, 나노로드어레이및 나노로드물질의제조방법및 필름에관한것이다. 본발명은또한산화금속풍부필름을생성하기위한신규한조성물에관한것이고, 또한비아또는트렌치충전, 리버스비아(reverse via) 또는트렌치충전및 하지층을사용한영상화에대한공정에관한것이다. 상기물질은반도체소자, 전기-광학기기및 에너지저장산업을비롯한수많은산업에서의광범위한제조분야에서유용하다.
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公开(公告)号：KR1020160025508A
公开(公告)日：2016-03-08
申请号：KR1020157035429
申请日：2014-06-26
Applicant: 에이제트 일렉트로닉 머티어리얼스 (룩셈부르크) 에스.에이.알.엘.
Inventor： 라만엠.달릴 , 차다벤카타고팔레디 , 야오후이롱 , 안야디에그우클레멘트 , 맥켄지더글라스
IPC: G03F7/09 , H01L21/027 , C23C18/06 , C23C18/12 , C23C18/14
CPC classification number: G03F7/092 , C23C18/06 , C23C18/1216 , C23C18/14 , G03F7/09 , G03F7/091 , H01L21/0276
Abstract: 본개시는적어도하나의금속산화물디카르복실레이트및 금속산화물디카르복실레이트가용해가능하거나콜로이드적으로안정한유기용매를함유하는스핀-온조성물에관한것이다. 디카르복실레이트는열처리동안분해되어경화된금속산화물필름을생성할수 있다. 본개시는또한스핀-온조성물을이용하는방법에관한것이다.
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