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公开(公告)号：KR1020170029017A
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020177005875
申请日：2013-03-12
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이. , 미샬룩,크리스토퍼
CPC classification number: H01J37/3429 , B22F1/0003 , B22F3/15 , B22F3/24 , B22F7/064 , B22F2003/153 , B22F2003/247 , B22F2301/20 , B22F2998/10 , C22C1/045 , C22C27/04 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C24/04
Abstract: 각각제 1 금속(예를들면, 약 30% 중량이상의양의몰리브덴과같은내화금속)을포함하는합금및 적어도하나의부가적인합금성분을포함하는, 적어도두 개의압밀된블록; 및적어도두 개의압밀된블록사이의조인트;를포함하되, 조인트는첨가된루스파우더의확산접착으로부터유래하는어떠한미세구조없이제조되는스퍼터링타겟을개시한다. 타겟을제조하기위한공정은가압단계이전에, 압밀된분말금속블록들사이에적어도하나의연속적인고체인터페이스부를삽입한압밀된프리폼블록들을열간등방압가압하는단계(예를들면, 약 1080℃이하의온도)를포함한다. 적어도하나의연속적인고체인터페이스부는블록의표면상에저온분사증착된분말들의덩어리일수 있는, 저온분사바디, 소결된프리폼, 성형된분말체(예를들면, 타일), 또는그것들의어떠한조합을포함한다.
Abstract translation: 包括至少两个固结块的溅射靶，每个块包括包含第一金属（例如，大于约30重量％的量的诸如钼的难熔金属）和至少一种另外的合金成分的合金; 以及所述至少两个固结块之间的接头，所述接头被制备成没有衍生自所添加的松散粉末的扩散接合的任何微结构。 用于制造目标的方法包括热等静压（例如，低于1080℃的温度），固化的预成型块，其在压制之前已经在固化的粉末金属块之间插入至少一个连续的固体界面部分。 所述至少一个连续的固体界面部分可以包括冷喷雾体，其可以是在块的表面上的大量冷喷雾沉积的粉末，烧结的预成型体，压实的粉末体（例如，瓷砖）或其任何组合 。
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公开(公告)号：KR1020140001195A
公开(公告)日：2014-01-06
申请号：KR1020137002414
申请日：2010-07-01
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이. , 호간,패트릭,앨런 , 선,슈웨이
CPC classification number: H01J37/3429 , B22F2998/10 , C03C17/40 , C22C1/045 , C22C27/04 , C23C14/0688 , C23C14/14 , C23C14/16 , C23C14/34 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/3492 , C23C14/35 , C23C14/548 , C23C14/5873 , C23G1/106 , C23G1/205 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , Y10T428/12014 , Y10T428/12021 , Y10T428/12597 , Y10T428/31678 , B22F1/0003 , B22F3/02 , B22F3/18
Abstract: 본 발명은 50원자퍼센트 또는 그 이상의 몰리브덴, 티타늄의 제2금속 원소, 크로뮴 또는 탄탈륨의 제3금속 원소를 포함하는 스퍼터 타겟들 및 상기 스퍼터 타겟들에 의해 제조되는 증착 필름들을 겨냐한다. 본 발명의 바람직한 관점에서, 상기 스퍼터 타겟은 몰리브덴이 풍부한 페이즈, 티타늄이 풍부한 페이므, 상기 제3금속 원소가 풍부한 페이즈를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140001194A
公开(公告)日：2014-01-06
申请号：KR1020137002413
申请日：2010-07-01
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이. , 호간,패트릭,앨런 , 선,슈웨이
CPC classification number: C23C14/185 , B22F2998/10 , C22C1/045 , C22C27/04 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/5873 , G06F3/041 , G06F2203/04103 , Y10T428/12743 , Y10T428/12826 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , B22F1/0003 , B22F3/15 , C23C14/14
Abstract: 본 발명은 50 원자 % 또는 그 이상의 몰리브덴, 니오븀 또는 바나듐의 제 2 금속 원소, 및 티타늄, 크롬, 니오븀, 바나듐, 및 탄탈룸으로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 제 3 금속 원소를 포함하는 스퍼터 타겟들 및 스퍼터 타겟들에 의해 제조되는 증착된 필름들에 관한 것으로서, 제 2 금속 원소는 제 3 금속 원소와 다르다. 본 발명의 바람직한 양상에서, 스퍼터 타겟은 몰리브덴이 풍부한 상, 제 2 금속 원소가 풍부한 상, 및 제 3 금속 원소가 풍부한 상을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160021299A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020167002856
申请日：2012-05-09
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이.
CPC classification number: H01J37/3429 , B22F1/0003 , B22F3/15 , B22F3/24 , B22F2003/153 , B22F2003/247 , B22F2301/20 , B22F2998/10 , C22C27/04 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , H01J37/3491
Abstract: 적어도두개의압밀된블록들을포함하고, 각블록은약 30 중량% 보다큰 몰리브덴과최소하나의첨가합금성분을가진합금을포함하며; 상기적어도두개의압밀된블록들사이에조인트를포함하고, 상기조인트는첨가결합제(예를들어, 분말, 포일또는그 밖의물질)로부터야기되는미세구조가나타나지않으며, 약 200㎛의폭보다넓은조인트라인이필수적으로나타나지않는(예를들어, 약 50㎛폭보다작다) 스퍼터링타겟. 1080℃이하의온도에서, 압축이전에표면처리된프리폼블록들을압밀하고열간압축성형하는과정을포함하는상기타겟의제조방법.
Abstract translation: 包括至少两个固结块的溅射靶，每个块包括含量大于约30重量％的钼和至少一种另外的合金成分的合金; 以及所述至少两个固结块之间的接头，所述接头由于添加的粘合剂（例如，粉末，箔或其它物质）而没有任何微结构，并且基本上没有任何可见的接合线，所述目标大于约 200μm宽度（例如，小于约50μm宽）。 制造目标的方法包括在1080℃以下的热等静压，在压制之前可以表面制备（例如粗糙化至预定粗糙度值）的固结的执行块。
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公开(公告)号：KR1020170066710A
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：KR1020177015375
申请日：2010-07-01
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이. , 호간,패트릭,앨런 , 선,슈웨이
CPC classification number: C23C14/185 , B22F2998/10 , C22C1/045 , C22C27/04 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/5873 , G06F3/041 , G06F2203/04103 , Y10T428/12743 , Y10T428/12826 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , B22F1/0003 , B22F3/15 , C23C14/14
Abstract: 본발명은 50 원자 % 또는그 이상의몰리브덴, 니오븀또는바나듐의제 2 금속원소, 및티타늄, 크롬, 니오븀, 바나듐, 및탄탈룸으로구성되는그룹으로부터선택되는제 3 금속원소를포함하는스퍼터타겟들및 스퍼터타겟들에의해제조되는증착된필름들에관한것으로서, 제 2 금속원소는제 3 금속원소와다르다. 본발명의바람직한양상에서, 스퍼터타겟은몰리브덴이풍부한상, 제 2 금속원소가풍부한상, 및제 3 금속원소가풍부한상을포함한다.
Abstract translation: 本发明是一个溅射靶和溅射从钼，铌或钒，第二金属元素和钛，铬，铌，钒的50原子％或更多选择的第三金属元素，并且在钽组成的组 关于由靶产生的沉积膜，第二金属元素不同于第三金属元素。 在本发明的优选方面中，溅射靶包括富含钼的相，富含第二金属元素的相和富含第三金属元素的相。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170016024A
公开(公告)日：2017-02-10
申请号：KR1020177002728
申请日：2012-05-09
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이.
CPC classification number: H01J37/3429 , B22F1/0003 , B22F3/15 , B22F3/24 , B22F2003/153 , B22F2003/247 , B22F2301/20 , B22F2998/10 , C22C27/04 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , H01J37/3491 , C22C1/04 , C23C24/04
Abstract: 적어도두개의압밀된블록들을포함하고, 각블록은약 30 중량% 보다큰 몰리브덴과최소하나의첨가합금성분을가진합금을포함하며; 상기적어도두개의압밀된블록들사이에조인트를포함하고, 상기조인트는첨가결합제(예를들어, 분말, 포일또는그 밖의물질)로부터야기되는미세구조가나타나지않으며, 약 200㎛의폭보다넓은조인트라인이필수적으로나타나지않는(예를들어, 약 50㎛폭보다작다) 스퍼터링타겟. 1080℃이하의온도에서, 압축이전에표면처리된프리폼블록들을압밀하고열간압축성형하는과정을포함하는상기타겟의제조방법.
Abstract translation: 包括至少两个固结块的溅射靶，每个块包括含量大于约30重量％的钼和至少一种另外的合金成分的合金; 以及所述至少两个固结块之间的接头，所述接头由于添加的粘合剂（例如，粉末，箔或其它物质）而没有任何微结构，并且基本上没有任何可见的接合线，所述目标大于约 200μm宽度（例如，小于约50μm宽）。 制造目标的方法包括在1080℃以下的热等静压，在压制之前可以表面制备（例如粗糙化至预定粗糙度值）的固结的执行块。
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公开(公告)号：KR1020140001246A
公开(公告)日：2014-01-06
申请号：KR1020137027874
申请日：2012-05-09
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이.
IPC: C23C14/34
CPC classification number: H01J37/3429 , B22F1/0003 , B22F3/15 , B22F3/24 , B22F2003/153 , B22F2003/247 , B22F2301/20 , B22F2998/10 , C22C27/04 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , H01J37/3491
Abstract: 적어도 두개의 압밀된 블록들을 포함하고, 각 블록은 약 30 중량% 보다 큰 몰리브덴과 최소 하나의 첨가 합금 성분을 가진 합금을 포함하며; 상기 적어도 두개의 압밀된 블록들 사이에 조인트를 포함하고, 상기 조인트는 첨가 결합제(예를들어, 분말, 포일 또는 그 밖의 물질)로부터 야기되는 미세구조가 나타나지 않으며, 약 200㎛의 폭보다 넓은 조인트 라인이 필수적으로 나타나지 않는(예를들어, 약 50㎛ 폭보다 작다) 스퍼터링 타겟. 1080℃ 이하의 온도에서, 압축 이전에 표면 처리된 프리폼 블록들을 압밀하고 열간 압축 성형하는 과정을 포함하는 상기 타겟의 제조방법.
Abstract translation: 包括至少两个固结块的溅射靶，每个块包括含量大于约30重量％的钼和至少一种另外的合金成分的合金; 以及所述至少两个固结块之间的接头，所述接头由于添加的粘合剂（例如，粉末，箔或其它物质）而没有任何微结构，并且基本上没有任何可见的接合线，所述目标大于约 200μm宽度（例如，小于约50μm宽）。 制造目标的方法包括在1080℃以下的热等静压，在压制之前可以表面制备（例如粗糙化至预定粗糙度值）的固结的执行块。
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公开(公告)号：KR1020170046807A
公开(公告)日：2017-05-02
申请号：KR1020177010697
申请日：2010-07-01
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이. , 호간,패트릭,앨런 , 선,슈웨이
CPC classification number: H01J37/3429 , B22F2998/10 , C03C17/40 , C22C1/045 , C22C27/04 , C23C14/0688 , C23C14/14 , C23C14/16 , C23C14/34 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/3492 , C23C14/35 , C23C14/548 , C23C14/5873 , C23G1/106 , C23G1/205 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , Y10T428/12014 , Y10T428/12021 , Y10T428/12597 , Y10T428/31678 , B22F1/0003 , B22F3/02 , B22F3/18
Abstract: 본발명은 50원자퍼센트또는그 이상의몰리브덴, 티타늄의제2금속원소, 크로뮴또는탄탈륨의제3금속원소를포함하는스퍼터타겟들및 상기스퍼터타겟들에의해제조되는증착필름들을겨냐한다. 본발명의바람직한관점에서, 상기스퍼터타겟은몰리브덴이풍부한페이즈, 티타늄이풍부한페이므, 상기제3금속원소가풍부한페이즈를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及包含50原子百分比或更多钼的溅射靶，钛的第二金属元素，铬或钽的第三金属元素以及由溅射靶产生的沉积膜。 在本发明的优选方面中，溅射靶包括富含钼的相，富含钛的相和富含第三金属元素的相。
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公开(公告)号：KR101730175B1
公开(公告)日：2017-04-25
申请号：KR1020137002414
申请日：2010-07-01
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이. , 호간,패트릭,앨런 , 선,슈웨이
CPC classification number: H01J37/3429 , B22F2998/10 , C03C17/40 , C22C1/045 , C22C27/04 , C23C14/0688 , C23C14/14 , C23C14/16 , C23C14/34 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/3492 , C23C14/35 , C23C14/548 , C23C14/5873 , C23G1/106 , C23G1/205 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , Y10T428/12014 , Y10T428/12021 , Y10T428/12597 , Y10T428/31678 , B22F1/0003 , B22F3/02 , B22F3/18
Abstract: 본발명은 50원자퍼센트또는그 이상의몰리브덴, 티타늄의제2금속원소, 크로뮴또는탄탈륨의제3금속원소를포함하는스퍼터타겟들및 상기스퍼터타겟들에의해제조되는증착필름들을겨냐한다. 본발명의바람직한관점에서, 상기스퍼터타겟은몰리브덴이풍부한페이즈, 티타늄이풍부한페이므, 상기제3금속원소가풍부한페이즈를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160022391A
公开(公告)日：2016-02-29
申请号：KR1020167003398
申请日：2013-03-12
Applicant: 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨
Inventor： 로작,게리,앨런 , 게이도스,마크,이. , 미샬룩,크리스토퍼
CPC classification number: H01J37/3429 , B22F1/0003 , B22F3/15 , B22F3/24 , B22F7/064 , B22F2003/153 , B22F2003/247 , B22F2301/20 , B22F2998/10 , C22C1/045 , C22C27/04 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C24/04
Abstract: 각각제 1 금속(예를들면, 약 30% 중량이상의양의몰리브덴과같은내화금속)을포함하는합금및 적어도하나의부가적인합금성분을포함하는, 적어도두 개의압밀된블록; 및적어도두 개의압밀된블록사이의조인트;를포함하되, 조인트는첨가된루스파우더의확산접착으로부터유래하는어떠한미세구조없이제조되는스퍼터링타겟을개시한다. 타겟을제조하기위한공정은가압단계이전에, 압밀된분말금속블록들사이에적어도하나의연속적인고체인터페이스부를삽입한압밀된프리폼블록들을열간등방압가압하는단계(예를들면, 약 1080℃이하의온도)를포함한다. 적어도하나의연속적인고체인터페이스부는블록의표면상에저온분사증착된분말들의덩어리일수 있는, 저온분사바디, 소결된프리폼, 성형된분말체(예를들면, 타일), 또는그것들의어떠한조합을포함한다.
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