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公开(公告)号：KR102466506B1
公开(公告)日：2022-11-10
申请号：KR1020200179323
申请日：2020-12-21
摘要： 산세탱크의산세용액에대한산 농도자동관리장치는, 상기산세탱크에산세되는코일을추적하면서상기코일의강종정보를계측하는트랙킹장치, 상기코일의강종에따른단위면적당산 소모량을입력받는인터페이스장치, 상기단위면적당산 소모량및 실시간으로수신한산 농도분석값과목표농도값 간의차이에기초하여최종산 투입계수를계산하는계산장치, 및상기최종산 투입계수에따라상기산세탱크로의산 투입량을제어하는제어장치를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020220009759A
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：KR1020200088354
申请日：2020-07-16
IPC分类号： H01M8/0206 , H01M8/0258 , H01M8/0228 , H01M8/0263 , H01M8/18 , C25D5/34 , C23G1/10 , C25D3/46
摘要： 본발명은일체형가역연료전지용바이폴라플레이트기술에관한것으로, 보다구체적으로는기존의일체형가역연료전지에서바이폴라플레이트로사용하는 metal plate 또는 carbon plate 대신적용될수 있는납으로구성된바이폴라플레이트및 그바이폴라플레이트를포함하는일체형가역연료전지에관한것이다.
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公开(公告)号：KR20180007253A
公开(公告)日：2018-01-22
申请号：KR20160088253
申请日：2016-07-12
发明人： KIM JUNG HOON , KIM HEE JAE , KIM SEUNG JIN , RYU HAN OK
CPC分类号： Y02E30/40
摘要： 본발명은원자로의핵연료집합체에사용되는핵 연료봉용클래딩튜브, 특히지르코늄합금튜브산세처리장치에관한것으로서, 더욱상세하게는필거링작업시 핵연료봉용클래딩튜브내면에발생하는표면결함및 불규칙한면을산세처리로제거하기위한핵 연료봉용클래딩튜브산세처리장치에관한것이다. 본발명에따르면, 개폐도어를평소에폐쇄함으로써산탱크상부개구부가열려있는경우를줄일수 있으며, 동시에외부로의흡입력이강력하여발생된산 흄(Acid Fume)이산탱크에서작업장으로방출되는경우를없앨수 있다. 개폐도어가개방되는경우에도산탱크상부에서에어커텐(Air Curtain)이작동되어, 작업장으로확산될수 있는산 흄(Acid Fume)을차단하고후드흡입구방향인집진구간으로유도한다. 이를통하여, 기존장비를사용하였을때 산흄이작업장으로방출되어작업자의건강에좋지않은영향을미치던것을방지함으로써, 작업자를보호할수 있는효과가있다.
摘要翻译： 本发明涉及一种用于在反应器管的燃料组件中使用的核燃料棒的包层，特别是锆合金管酸洗装置，并且更具体地，酸洗表面缺陷和在燃料所产生的不平坦表面杆的包壳管的内表面，必要时指法操作 通过处理去除核燃料棒的包壳管酸洗设备。 根据本发明，这是可能的，其中通过关闭所述开口并在通常的酸槽闭门减少的情况下，上开口是打开的，在同一时间，如果被释放到工作场所中的酸雾（酸雾）从强吸附力向外部产生的离散的罐 它可以被消除。 当打开和关闭的门被打开为空气幕（空气幕）在罐故障的顶部运行，并阻止可扩散到车间烟雾（酸雾）和引导到集尘罩部的入口方向的酸。 通过这种方式，可以在现有设备使用时防止酸性废气排放到工作场所并对工作人员的健康产生不利影响，从而保护工人。
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公开(公告)号：KR1020150117148A
公开(公告)日：2015-10-19
申请号：KR1020140042556
申请日：2014-04-09
申请人： 램테크놀러지 주식회사
CPC分类号： C11D7/00
摘要： 기술분야구리금속을이용하여반도체및 IT 회로기판제조에유용한유무기오염물질을기판기판부터제거하는조성물해결하고자하는과제구리금속배선이적용되는공정에서 CMP, Etching 공정에서발생할수 있는오염물질을효과적으로제거하면서도구리및 절연막등에손상을주지않는세정액. 과제의해결수단본 발명의세정액조성물은조성물총량을기준으로할 때아민화합물 4 내지 10중량%, Bubble 안정제및 역오염방지를위한재 흡착방지제 1 내지 10 중량%, pH 조절제 0.1 내지 2중량%, 부식억제제 0.1 내지 2중량% 및여분의탈 이온수를포함하여이루어진다. 발명의효과구리를기반으로하는회로에서세정액노출되는금속 (Cu, Ti, Ta) 및절연막 (TiN, TaN, TEOS)에손상을주지않으면서기존의구리세정액조성물보다향상된유무기오염을제거할수 있으므로세정의불량에서올 수있는회로단락, 금속표면스크레치및 전체적인회로수율을향상시키는데있다.
摘要翻译： 本发明涉及一种用于从基板除去可用于通过使用铜金属制造半导体和IT电路板的有机或无机污染物质的组合物。 本发明还涉及一种能够有效地消除在化学机械抛光（CMP）和蚀刻工艺中产生的污染物质的清洗液体，其中施加铜金属布线而不损坏铜， 绝缘膜。 本发明的清洗液组合物包含：基于组合物的总重量百分比为4〜10重量％的胺化合物; 1〜10重量％的气泡稳定剂和防止反向污染的抗再吸附剂; 0.1〜2重量％的pH调节剂; 0.1〜2重量％的缓蚀剂; 和去离子水为残余物。 本发明能够比传统的铜清洗液更有效地消除污染物，而对金属（Cu，Ti，Ta）和暴露于铜基电路中的清洗液体的绝缘膜（TiN，TaN，TEOS）没有任何损害 因此能够解决由错误清洗引起的短路，金属表面的划伤等问题，提高整体的电路产量。
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公开(公告)号：KR100795364B1
公开(公告)日：2008-01-17
申请号：KR1020040107868
申请日：2004-12-17
申请人： 삼성전자주식회사 , 동우 화인켐 주식회사
CPC分类号： H01L21/02071 , C11D3/0073 , C11D3/042 , C11D3/046 , C11D3/2082 , C11D3/30 , C11D3/364 , C11D3/39 , C11D3/3947 , C11D11/0047 , C23G1/106
摘要： 텅스텐 금속 및 산화막의 손상 없이 폴리머를 효과적으로 제거할 수 있는 세정액 조성물, 이를 이용한 세정 방법 및 도전성 구조물의 제조 방법에서, 상기 세정액 조성물은 하기 화학식 1로 표기되는 부식 방지 화합물, 하기 화학식 2로 표기되는 계면활성제와 황산, 과산화화합물, 불소화합물을 포함하는 산성수용액을 포함한다. 상술한 조성을 갖는 세정액 조성물은 도전성 구조물 형성시 기판에 잔류하는 폴리머를 금속 및 산화막의 손상 없이 용이하게 제거할 수 있다. 또한, 세정시간을 단축할 수 있다.
[화학식 1]
[화학식 2]
R1-[[(EO)x-(PO)y]zH]m摘要翻译： 用于半导体晶片处理的腐蚀抑制清洁组合物包括至少水，表面活性剂和选自氨基膦酸盐，多胺和多元羧酸的腐蚀抑制化合物的水性混合物。 混合物中腐蚀抑制化合物的量优选在约0.0001重量％至约0.1重量％的范围内，表面活性剂的量优选在约0.001重量％至约1.0重量％的范围内。 水性混合物还可以包括作为氧化物蚀刻剂的硫酸和氟化物，以及充当金属蚀刻剂的过氧化物。
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公开(公告)号：KR1020040086027A
公开(公告)日：2004-10-08
申请号：KR1020030023843
申请日：2003-03-28
IPC分类号： C23G1/10
摘要： PURPOSE: A method for improving workability of titanium materials by surface treatment is provided to improve workability of the titanium materials by forming a firm oxide coating film on the surface of the titanium materials and treating the oxide coating film so that the surface of matrix is not exposed, thereby preventing surface defects such as seizure. CONSTITUTION: The method comprises first step of pickling the titanium materials in a mixed solution in which 48% HF, 62% HNO3 and distilled water are mixed in a volume fraction ratio of 1:1.5:6 to remove oxide scale and impurities on the surface of the titanium materials; second step of completely removing oxide scale from the titanium materials by etching the pickled titanium materials in an aqueous solution containing 50 ml of distilled water, 40 ml of nitric acid and 10 ml of nitric acid mixed solution at temperature of about 60 to 80 deg.C for 3 to 10 minutes after performing the pickling step; and third step of anodizing the titanium materials in sulfuric acid, hydrochloric acid, phosphoric acid or a mixed acid solution thereof for 1 to 30 minutes by applying a voltage of 5 to 70 volts to titanium as the anode and platinum as the cathode, wherein the method comprises a step of oxidizing the titanium materials again in an electric furnace at temperature of 300 to 700 deg.C for 10 to 120 minutes instead of performing the anodizing process in the third step, and wherein the anodizing process and the atmospheric oxidizing process are performed.
摘要翻译： 目的：提供通过表面处理改善钛材料的可加工性的方法，通过在钛材料的表面上形成坚固的氧化物涂层并处理氧化膜，使基体的表面不是 暴露，从而防止表面缺陷如癫痫发作。 方法：该方法包括在混合溶液中浸渍钛材料的第一步骤，其中48％HF，62％HNO 3和蒸馏水以1：1.5：6的体积分数比混合，以去除表面上的氧化皮和杂质 的钛材料; 通过在约60至80℃的温度下，在含有50ml蒸馏水，40ml硝酸和10ml硝酸混合溶液的水溶液中蚀刻酸洗的钛材料，从钛材料中完全除去氧化皮的第二步骤。 C进行酸洗步骤3〜10分钟; 以及将钛材料在硫酸，盐酸，磷酸或其混合酸溶液中阳极氧化1至30分钟的第三步，施加5至70伏特的电压作为阳极，铂作为阴极，其中， 方法包括在电炉中在300-700℃的温度下再次氧化钛材料10至120分钟的步骤，而不是在第三步中进行阳极氧化处理，其中阳极氧化处理和大气氧化过程是 执行。
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