公开(公告)号：KR101967192B1

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：KR1020160180317

申请日：2016-12-27

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 우남규 ,  장순호 ,  배동우 ,  이보람 ,  백성선

IPC分类号： H01L21/78 ,  B28D5/04 ,  H01L21/02

公开(公告)号：KR101455935B1

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：KR1020130074816

申请日：2013-06-27

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 신용원 ,  김남기 ,  김동진 ,  최효일 ,  배동우 ,  이보람 ,  정승구 ,  한영식 ,  강인호 ,  서재근 ,  이건형

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC分类号： Y02E10/50 ,  H01L31/04 ,  H01L31/18

摘要： Disclosed is an apparatus for moving and drying a wafer for a solar cell. The present invention relates to the apparatus for moving and driving the wafer for the solar cell, capable of preventing the wafers from adhering to each other due to water by completely removing the water of the wafer before the wafer is received in a cassette by installing an air nozzle to spray the water of the wafer to be moved from a splitter to the cassette on the center and edge thereof. The apparatus for moving and drying the wafer for the solar cell according to the present invention includes a transfer conveyor in which rollers are arranged with a preset space and which moves the wafer received from the splitter to the cassette, a central nozzle which sprays air in a parallel direction to the wafer moving direction on the center of the wafer moved from the transfer conveyor, and an edge nozzle which is installed near both sides of the central nozzle is tilted in the wafer moving direction and sprays the air in an outward direction.

摘要翻译： 公开了一种用于移动和干燥太阳能电池晶片的装置。 本发明涉及用于移动和驱动太阳能电池晶片的装置，其能够通过在晶片被接收到盒中之前通过完全去除晶片的水来防止晶片由于水而彼此粘附， 空气喷嘴以将晶片的水从分离器喷射到盒的中心和边缘。 根据本发明的用于移动和干燥用于太阳能电池的晶片的装置包括：转印输送机，其中滚子以预设的空间布置，并且将从分离器接收的晶片移动到盒子;喷嘴， 在从移送输送机移动的晶片中心上的与晶片移动方向平行的方向，并且安装在中心喷嘴两侧附近的边缘喷嘴在晶片移动方向上倾斜并沿向外的方向喷射空气。

公开(公告)号：KR1020180076157A

公开(公告)日：2018-07-05

申请号：KR1020160180311

申请日：2016-12-27

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 오학균 ,  우남규 ,  장순호 ,  배동우 ,  정승구 ,  육영진 ,  이보람 ,  백성선

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/78

CPC分类号： H01L21/67712 ,  H01L21/02046 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/78

摘要： 본발명은단결정실리콘으로성장시킨잉곳을절단하여생성된웨이퍼다발에서웨이퍼를분리하는장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따르면, 상부가개방되며내부공간에세정액이수용되는챔버와상기세정액속에침지된상기웨이퍼다발이놓이며, 상기웨이퍼다발에서웨이퍼를분리시 상기웨이퍼다발을상승시키는웨이퍼상승부재와상승된상기웨이퍼다발중 가장상부에위치하는상기웨이퍼를분리하는분리롤러와분리된상기웨이퍼를일방향으로이송하는이송롤러를가지는웨이퍼이송부재와그리고상기세정액속에침지된상기웨이퍼다발주변으로마이크로버블을공급하여상기웨이퍼이송부재에서상기웨이퍼의분리를가이드하는마이크로버블공급부재를포함하는웨이퍼분리장치를포함한다.

公开(公告)号：KR1020150001090A

公开(公告)日：2015-01-06

申请号：KR1020130073764

申请日：2013-06-26

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 신용원 ,  김남기 ,  김동진 ,  최효일 ,  배동우 ,  이보람 ,  정승구 ,  한영식 ,  강인호 ,  서재근 ,  이건형

IPC分类号： H01L21/301

CPC分类号： H01L21/67092 ,  H01L21/67706

摘要： 본 발명은 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 사용되는 롤러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤러의 원주방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 복수 개의 접촉부가 구비되어 웨이퍼와의 마찰력을 증가시킴으로써 상기 웨이퍼를 한 장씩 원활하게 분리할 수 있는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러에 관한 것이다.
본 발명은 웨이퍼를 한 장씩 분리배출하기 위하여 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 사용되는 롤러에 있어서, 복수 개의 웨이퍼가 적층된 웨이퍼 다발의 상부에 배치되어 상기 웨이퍼를 한 장씩 분리배출할 수 있도록 원통형상으로 구비되는 롤러본체; 및 상기 롤러본체의 둘레방향을 따라 외측으로 일정길이 돌출되는 다수 개의 접촉부;를 포함하는 웨이퍼 스플리터의 분리장치용 롤러를 제공한다.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于晶片分离器的分离装置中的辊子，更具体地说，涉及一种用于晶片分离器的分离装置的辊子，其能够通过增加与晶片的摩擦力逐个地平滑地分离晶片，包括 多个接触部分沿着辊的圆周方向以预定长度突出到外部。 在用于晶片分离器的分离装置中用于分离和排放晶片的辊子包括：辊体，其布置在其上堆叠晶片的晶片束的上侧，并且具有圆柱形形状以分离和排出 晶圆一个一个; 以及沿着辊体的圆周方向以预定长度突出到外侧的多个接触部。

公开(公告)号：KR101900400B1

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：KR1020170124271

申请日：2017-09-26

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 백성선 ,  이보람 ,  남우석 ,  정아 ,  강지민 ,  한영식

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/036

CPC分类号： Y02P70/521 ,  H01L31/186 ,  H01L31/036 ,  Y02E10/547

摘要： 초박형웨이퍼를가공시 파손을줄일수 있는단결정태양전지용초박형웨이퍼핸들링을위한본딩및 디본딩장치및 그방법이개시된다. 본발명에의한초박형웨이퍼핸들링을위한본딩및 디본딩방법은초박형웨이퍼를마련하는단계; 상기초박형웨이퍼를에틸렌초산비닐공중합체필름을매개로가열하여기판에본딩하는단계; 상기기판을핸들링하여상기초박형웨이퍼의셀 공정을진행하는단계; 및상기기판과초박형웨이퍼에열을가함으로써상기에틸렌초산비닐공중합체필름을제거하여디본딩하는단계;를포함한다.

公开(公告)号：KR101891783B1

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：KR1020160180311

申请日：2016-12-27

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 오학균 ,  우남규 ,  장순호 ,  배동우 ,  정승구 ,  육영진 ,  이보람 ,  백성선

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/78

摘要： 본발명은단결정실리콘으로성장시킨잉곳을절단하여생성된웨이퍼다발에서웨이퍼를분리하는장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따르면, 상부가개방되며내부공간에세정액이수용되는챔버와상기세정액속에침지된상기웨이퍼다발이놓이며, 상기웨이퍼다발에서웨이퍼를분리시 상기웨이퍼다발을상승시키는웨이퍼상승부재와상승된상기웨이퍼다발중 가장상부에위치하는상기웨이퍼를분리하는분리롤러와분리된상기웨이퍼를일방향으로이송하는이송롤러를가지는웨이퍼이송부재와그리고상기세정액속에침지된상기웨이퍼다발주변으로마이크로버블을공급하여상기웨이퍼이송부재에서상기웨이퍼의분리를가이드하는마이크로버블공급부재를포함하는웨이퍼분리장치를포함한다.

公开(公告)号：KR101816191B1

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：KR1020160126748

申请日：2016-09-30

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 이보람 ,  김성태 ,  백성선

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/78 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01L21/677 ,  H01L21/306 ,  H01L21/66

CPC分类号： Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/78 ,  H01L22/12

摘要： 태양전지용웨이퍼결함제거방법이제공된다. 웨이퍼결함제거방법은잉곳을슬라이싱하여형성된태양전지용웨이퍼의결함제거를위한방법으로서, (A)상기잉곳을슬라이싱하여형성된상기웨이퍼를 1차세정하는단계; (B) 상기웨이퍼를열처리하여상기웨이퍼의내부영역에형성된결함을상기웨이퍼표면영역으로이동시키는단계; (C) 상기웨이퍼표면영역에형성된결함을제거하기위하여상기웨이퍼표면을에칭하는단계; 및 (D) 상기표면이에칭된웨이퍼를 2차세정하는단계;를포함한다.

摘要翻译： 提供了一种用于太阳能电池的晶片缺陷去除方法。 一种用于去除通过切割晶锭而形成的用于太阳能电池的晶片的缺陷的方法，包括以下步骤：（A）首先对通过切割所述晶锭而形成的晶片进行排序; （B）对所述晶片进行热处理，以将形成在所述晶片的内部区域中的缺陷移动到所述晶片表面区域; （C）蚀刻晶片表面以去除晶片表面区域中形成的缺陷; （D）对蚀刻表面的晶片进行二次排序。

公开(公告)号：KR101505748B1

公开(公告)日：2015-03-24

申请号：KR1020130129563

申请日：2013-10-29

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 강인호 ,  이영준 ,  정재훈 ,  오대균 ,  한영식 ,  최효일 ,  김남기 ,  김동진 ,  배동우 ,  정승구 ,  이보람 ,  신용원

IPC分类号： B28D7/02 ,  B28D1/08

CPC分类号： B28D5/045 ,  B28D5/0076

摘要： 와이어 소우 장치에서 사용되는 쿨란트 분사장치가 개시된다. 본 발명은 잉곳을 웨이퍼 크기로 절단하는 와이어 소우 장치에서 이중으로 이루어진 관을 통하여 쿨란트가 분사되도록 설계되어 균일한 냉각을 실현함으로써 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 쿨란트 분사장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 쿨란트 분사장치는, 쿨란트 공급관에 연결되어 쿨란트가 내부로 공급되고 상기 쿨란트가 외부로 토출되는 토출구를 구비한 이너 파이프와, 상기 이너 파이프가 내부에 간극을 두고 설치되고 상기 토출구로부터 토출된 쿨란트가 상기 간극에 모인 다음 토출되는 노즐을 구비한 아우터 파이프를 포함한다.

摘要翻译： 公开了一种用于线锯装置的冷却剂喷射装置。 本发明涉及一种冷却剂喷射装置，其可以通过执行一致的冷却来提高晶片的质量，因为冷却剂被构造成通过双层管从作为晶片尺寸切割锭的线锯装置注入。 根据本发明，冷却剂喷射装置包括：内管，其中冷却剂被供应到内部，同时连接到冷却剂供应管，具有将冷却剂排放到外部的出口; 以及内管安装有间隙的外管，其具有从出口排出的冷却剂聚集在间隙中并排出的喷嘴。