公开(公告)号：KR101900400B1

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：KR1020170124271

申请日：2017-09-26

申请人： 웅진에너지 주식회사

发明人： 백성선 ,  이보람 ,  남우석 ,  정아 ,  강지민 ,  한영식

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/036

CPC分类号： Y02P70/521 ,  H01L31/186 ,  H01L31/036 ,  Y02E10/547

摘要： 초박형웨이퍼를가공시 파손을줄일수 있는단결정태양전지용초박형웨이퍼핸들링을위한본딩및 디본딩장치및 그방법이개시된다. 본발명에의한초박형웨이퍼핸들링을위한본딩및 디본딩방법은초박형웨이퍼를마련하는단계; 상기초박형웨이퍼를에틸렌초산비닐공중합체필름을매개로가열하여기판에본딩하는단계; 상기기판을핸들링하여상기초박형웨이퍼의셀 공정을진행하는단계; 및상기기판과초박형웨이퍼에열을가함으로써상기에틸렌초산비닐공중합체필름을제거하여디본딩하는단계;를포함한다.