표면 결함 검사 방법 및 표면 결함 검사 장치

    公开(公告)号:KR102257734B1

    公开(公告)日:2021-05-27

    申请号:KR1020197027127

    申请日:2018-02-28

    Abstract: 본발명의일 실시형태인표면결함검사장치(1)에서는, 텍스처특징화상생성부(43)가, 입력화상에대하여복수의공간필터에의한필터처리를실시함으로써복수의텍스처특징화상을생성하고, 텍스처특징추출부(44)가, 입력화상상의각 위치에대해서복수의텍스처특징화상의대응하는위치의값을각각추출하여화상상의각 위치에있어서의특징벡터를생성하고, 이상도산출부(45)가, 특징벡터의각각에대해서특징벡터가이루는다차원분포에있어서의이상도를산출하여, 입력화상상의각 위치에대한이상도를나타낸이상도화상을생성하고, 결함후보검출부(46)가, 이상도화상에있어서이상도가소정값을초과하는부분을결함부또는결함후보부로서검출한다.

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