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公开(公告)号：KR100469905B1
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：KR1020020030789
申请日：2002-05-31
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： F24F11/00
摘要： PURPOSE: An apparatus for controlling air volume of a filter unit is provided to allow the filter unit to have a simple apparatus controlling volume of filtered air discharged into a clean room. CONSTITUTION: An air volume control main body is mounted on an upper side of a filter unit to control flow speed and flow rate of clean air introduced into a system chamber from a system ceiling through the filter unit, and has a plurality of rows of fixed blades(30) fixed in longitudinal direction at regular intervals to control amount of air introduced through the system chamber ceiling and flowing into the filter unit; and movable blades(40) placed between the fixed blades to block the fixed blades so as to controlling flow rate of air introduced to the filter unit by moving from and toward the fixed blades and changing size of gaps between the fixed blades and the movable blades. The movable blades are moved from and toward the fixed blades by a vertical moving unit(100).
摘要翻译： 目的：提供一种用于控制过滤器单元的空气量的设备，以允许过滤器单元具有控制排放到洁净室中的过滤空气量的简单装置。 本发明提供一种空气量控制主体，其安装在过滤器单元的上侧，用于控制从系统天花板通过过滤器单元引入系统室的清洁空气的流速和流量，并具有多排固定的 以规定间隔沿纵向固定的叶片（30），以控制通过系统室天花板引入并流入过滤单元的空气量; 和置于固定叶片之间的活动叶片（40），以阻挡固定叶片，从而通过从固定叶片移动并朝向固定叶片移动而引入到过滤器单元的空气的流量，并且改变固定叶片和可动叶片之间的间隙的尺寸 。 可动叶片通过垂直移动单元（100）从固定叶片朝向固定叶片移动。
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公开(公告)号：KR1020040009661A
公开(公告)日：2004-01-31
申请号：KR1020020043673
申请日：2002-07-24
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： H01L21/68
摘要： PURPOSE: An apparatus for lifting and transferring a substrate is provided to prevent the contamination of the substrate by lifting the substrate and changing the direction of the transferring substrate. CONSTITUTION: An apparatus for lifting and transferring a substrate includes a base for injecting the air to a backside of a substrate and lift the substrate on the substrate. The base includes a lifting pore group(113a), a centering pore group(113b), a deflection control pore group(113c), a substrate loading portion, and a direction control pore group(113d). The lifting pore group(113a) is formed vertically to the base. The centering pore group(113b) and the deflection control pore group(113c) are formed to fix the substrate and control the deflection of the substrate. The substrate loading portion is formed on a center of the base. The direction control pore group(113d) is formed to change the direction of the transferring substrate.
摘要翻译： 目的：提供一种用于提升和转移基板的装置，以通过提升基板并改变转印基板的方向来防止基板的污染。 构成：用于提升和转移衬底的装置包括用于将空气注入到衬底的背面并将衬底提升到衬底上的基座。 基体包括提升孔群（113a），定心孔群（113b），偏转控制孔群（113c），基底载荷部分和方向控制孔群（113d）。 提升孔群（113a）垂直于基底形成。 形成定心孔群（113b）和偏转控制孔群（113c）以固定基底并控制基底的偏转。 基板装载部分形成在基座的中心。 形成方向控制孔群（113d）以改变转印衬底的方向。
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公开(公告)号：KR1020030026514A
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：KR1020010059530
申请日：2001-09-26
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： F24F7/06
摘要： PURPOSE: An apparatus for supplying clean air with noise reducing fan is provided to reduce noise generated in a fan filter unit. CONSTITUTION: Blades(141) of a fan(140) are arranged at irregular pitches. Surrounding air is compressed and expanded with irregular period when the blades pass a cut-off area. Formation of regular sine wave and peak level is prevented thereby to lower level of noise an operator feels. Vibration is reduced by preventing fluctuation of pressure at regular intervals to extend life of the product.
摘要翻译： 目的：提供一种用于提供带有减噪风扇的洁净空气的设备，以减少风扇过滤器单元产生的噪音。 构成：风扇（140）的叶片（141）以不规则的间距布置。 当叶片通过截止区域时，周围空气被压缩和不规则地膨胀。 防止形成正弦正弦波和峰值电平，从而降低操作者的噪音水平。 通过防止压力的波动以减少产品的寿命，减少振动。
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公开(公告)号：KR102253669B1
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：KR1020190014779
申请日：2019-02-08
申请人： 주식회사 신성이엔지
摘要： 본발명에따른드라이룸의부스장치는드라이룸내에서밀폐된내부공간을가지도록형성되고, 상기내부공간에생산장비가배치된부스; 상기부스에연결되고, 외부에서흡입되는공기중의습기를제거하여상기내부공간에공급하는제습부; 상기부스및 상기제습부를연결하고, 상기제습부에의해제습된공기가상기내부공간에공급되는통로인덕트부; 상기부스의내부공간에연결되고, 상기내부공간의공기를유동시키기위한원동력을제공하며, 유동하는공기를여과하는팬필터유닛; 및상기부스의내부에구비되고, 상기팬필터유닛에의해여과된공기가이동하는통로인환기부를포함하는것을특징으로한다. 이러한드라이룸의부스장치는드라이룸내에서구획되어밀폐된내부공간을가지는부스가구비되어국부적인영역에대해서만습도를제어하면되기때문에불필요한영역까지습도를제어하는종래의드라이룸보다공급풍량을절감시켜습도제어비용을절감할수 있고, 작업자의내외부출입시발생하는급격한습도환경변화를감소시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR100554341B1
公开(公告)日：2006-02-24
申请号：KR1020030078799
申请日：2003-11-07
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 팬필터유닛의 작동감시장치에 관한 것으로서, 종래 반도체 청정실의 공기를 여과시키는 팬필터유닛은 그의 작동상태를 감시할 수 있는 방법이 없는 관계로, 반도체 청정실 내에서 국부적인 오염이 발생하더라도 이를 미연에 인지하지 못함으로써 최종 제품의 수율에 지대한 영향을 미치는 문제점을 개선하기 위하여 개발된 것으로;
천정에 격자형으로 설치되는 팬필터유닛에 있어서;
상기 팬필터유닛의 하측에는 회동막대의 중심부가 힌지결합되고,
상기 회동막대의 일측에는 팬필터유닛으로부터 하향 토출되는 청정공기가 부딪히도록 바람막이판이 결합되며,
상기 회동막대의 힌지결합부는 상기 회동막대의 힌지결합부를 사이에 두고, 상기 회동막대의 일측 보다 그의 타측이 더 큰 중량을 갖는 무게 중심에 위치된 것을 특징으로 하는 절전형 팬필터유닛의 작동감시장치에 관한 것이다.
절전형 팬필터유닛의 작동감시장치-
公开(公告)号：KR1020050100779A
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：KR1020040025866
申请日：2004-04-14
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은 하나의 공정모듈에서 다른 공정모듈로 평판자재를 이송시키는 평판자재이송장치에 적용되는 평판자재 이송방향 전환블록에 관한 것으로서, 평판자재를 에어를 이용하여 부양 및 특정 방향으로 이송시킬 수 있으며, 각각 1 개의 핀구멍이 형성되고, 핀구멍이 사각형을 이루도록 배치되는 4 개의 에어블록(230); 4 개의 에어블록(230)의 하부에 설치되는 것으로서, 핀구멍을 관통하는 핀(241)을 지지하는 핀지지부재(240); 핀지지부재(240)를 승강시키는 승강수단(250);을 포함하고, 에어블록(230)은, 평판자재(w)를 부양시킬 수 있도록 상방향으로 형성된 다수의 부양에어홀(231)과, 평판자재(w)를 직진 방향으로 이송시킬 수 있도록 직진 방향으로 경사지게 형성된 다수의 직진경사에어홀(233)과, 평판자재(w)를 직진 좌측 방향으로 이송시킬 수 있도록 직진 좌측 방향으로 경사지게 형성된 좌측경사에어홀(235)과, 평판자재(w)를 직진 우측 방향으로 이송시킬 수 있도록 직진 우측 방향으로 경사지게 형성된 우측경사에어홀(237)과, 부양에어홀(231)과 연통되는 부양에어공급유로(232)와, 직진경사에어홀(233)과 연통되는 직진에어공급유로(234)와, 좌측경사에어홀(235)과 연통되는 좌측에어공급유로(236)와, 우측경사에어홀(237)과 연통되는 우측에어공급유로(238)를 포함하는 것을 특징으로 한 다.
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公开(公告)号：KR200339636Y1
公开(公告)日：2004-01-24
申请号：KR2020030032827
申请日：2003-10-20
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： B65G49/02
摘要： 본 고안은 평판자재 공기부상 이송장치에 관한 것으로서, 일예로, 엘씨디(LCD)에 장착되는 유리박판과 같은 평판자재의 이송을 위해 압축공기를 분사하는 다수의 노즐과 이송로울러로 이루어지는 장치를 보다 간단한 구조로 이루어지도록 하며 크기가 다른 평판자재의 이송이 용이하도록 하기 위하여 개발된 것으로서;
평판자재의 이송면을 따라 양측면에 상응하여 회전하는 다수의 이송로울러와, 상기 이송로울러 사이의 저면에서 상면으로 공기를 분사하는 공기분사장치로 이루어지는 평판자재 공기부상 이송장치에 있어서;
상기 공기분사장치는 상방향으로 공기를 배출하도록 구성된 다수의 송풍팬과, 상기 송풍팬의 상부에 형성되어 공기의 불순물을 정화하고 상방향으로 일정하게 공기를 분사하도록 다수의 노즐이 형성되는 필터유닛으로 구성됨을 특징으로 하는 평판자재 공기부상 이송장치에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR200319426Y1
公开(公告)日：2003-07-10
申请号：KR2020030012905
申请日：2003-04-25
申请人： 주식회사 신성이엔지
IPC分类号： E04F15/024
CPC分类号： F24F13/20 , F24F13/26 , F24F2013/205
摘要： 본 고안은 클린 룸 내부의 기류를 직하향으로 유도하기 위한 클린 룸의 플로어 구조에 관한 것으로서, 좀더 자세하게는, 상부 팬 필터 유닛으로부터 토출되는 기류가 직하향으로 유도되도록 흡인하기 위한 하부 팬 유닛이 설치된 클린 룸의 플로어 구조에 관한 것이다.
따라서, 본 고안의 목적은, 하부 팬 유닛의 흡인력으로 클린 룸 내부의 직하향 기류 형성을 유도하여 원활한 공기 순환이 이루어지게 하며, 추가적인 하부의 공기 필터링으로 공기 청정도를 향상시켜서, 클린 룸의 청정 작업 효율을 개선시킨 클린 룸의 플로어 구조를 제공함에 있다. -
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