公开(公告)号：KR200399052Y1

公开(公告)日：2005-10-19

申请号：KR2020050017185

申请日：2005-06-15

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 문인호 ,  박덕준 ,  박길용

IPC分类号： H05K7/18 ,  H05K7/12

CPC分类号： H05K7/18 ,  H05K7/12

摘要： 본 고안의 케이싱 마감구조는, 콘트롤박스나 공조 케이스 및 크린룸기기 등과 같은 케이싱 모서리의 조립부의 마감처리구조에 있어서, 직방형 케이스의 측면에 미관을 증대함과 동시에 외부로부터의 충격으로부터 보호되도록 공기층을 갖도록 간격져 덧대어진 편측지지형 가림패널을 구비하고, 상기 편측지지형 가림패널은 그의 단부측에 절곡형성된 절곡부와, 이 절곡부로부터 직교하여 연장하는 연장 평면부와, 이 연장 평면부로부터 재차 절곡되어 상기 절곡부와 병렬 배열되는 기립부를 구비하며, 상기 연장 평면부는 이 연장 평면부를 따라 복수개 체결되는 체결부재를 매개로 직방형 케이스에 착접되어 지지되고, 상기 기립부에는 상기 기립부에 접속 지지되는 절결부와, 이 절결부의 단부로부터 절곡되어 상기 연장 평면부를 외부로부터 은폐하 는 횡연재부를 구비한 커버부재를 포함하여, 편측지지형 가림패널의 일체 결합 구성에 케이싱의 모서리 커버 기능을 구비하여 사용상 사용자의 옷깃 걸림 방지 및 외관을 미려하게 함과 동시에, 먼지가 많이 쌓이는 것을 회피하는 방오 기능을 수행하기 위하여, 자체 탄성력에 의하여 커버부재의 절결부가 편측지지형 가림패널의 기립부에 결속되도록 구성하였다.

公开(公告)号：KR100469905B1

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：KR1020020030789

申请日：2002-05-31

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 이완근 ,  조상준 ,  문인호 ,  김동권

IPC分类号： F24F11/00

摘要： PURPOSE: An apparatus for controlling air volume of a filter unit is provided to allow the filter unit to have a simple apparatus controlling volume of filtered air discharged into a clean room. CONSTITUTION: An air volume control main body is mounted on an upper side of a filter unit to control flow speed and flow rate of clean air introduced into a system chamber from a system ceiling through the filter unit, and has a plurality of rows of fixed blades(30) fixed in longitudinal direction at regular intervals to control amount of air introduced through the system chamber ceiling and flowing into the filter unit; and movable blades(40) placed between the fixed blades to block the fixed blades so as to controlling flow rate of air introduced to the filter unit by moving from and toward the fixed blades and changing size of gaps between the fixed blades and the movable blades. The movable blades are moved from and toward the fixed blades by a vertical moving unit(100).

摘要翻译： 目的：提供一种用于控制过滤器单元的空气量的设备，以允许过滤器单元具有控制排放到洁净室中的过滤空气量的简单装置。 本发明提供一种空气量控制主体，其安装在过滤器单元的上侧，用于控制从系统天花板通过过滤器单元引入系统室的清洁空气的流速和流量，并具有多排固定的 以规定间隔沿纵向固定的叶片（30），以控制通过系统室天花板引入并流入过滤单元的空气量; 和置于固定叶片之间的活动叶片（40），以阻挡固定叶片，从而通过从固定叶片移动并朝向固定叶片移动而引入到过滤器单元的空气的流量，并且改变固定叶片和可动叶片之间的间隙的尺寸 。 可动叶片通过垂直移动单元（100）从固定叶片朝向固定叶片移动。

公开(公告)号：KR1020040065849A

公开(公告)日：2004-07-23

申请号：KR1020030003042

申请日：2003-01-16

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 조상준 ,  문인호 ,  현옥천 ,  김종진

IPC分类号： H01L21/68

摘要： PURPOSE: An alignment device for substrate floating apparatus is provided to enhance the productivity by transferring rapidly a substrate from a floating unit to a process chamber after aligning the substrate. CONSTITUTION: An alignment device for substrate floating apparatus includes a plurality of alignment members(200) and a lifting unit(300). The alignment members are arranged on a floating unit in order to support a substrate. The alignment members are coupled to the lifting unit. The substrate is lifted by the lifting unit. A guide projection is formed on an upper side of the alignment member in order to guide the substrate when the substrate is lifted by the lifting unit. The guide projection is projected to a center axis of the alignment member.

摘要翻译： 目的：提供一种用于衬底浮置装置的校准装置，用于通过在将衬底对准衬底之后将衬底从浮动单元快速转移到处理室来提高生产率。 构成：用于衬底漂浮装置的对准装置包括多个对准构件（200）和提升单元（300）。 对准构件布置在浮动单元上以便支撑衬底。 对准构件联接到提升单元。 基板由提升单元提升。 引导突起形成在对准构件的上侧，以便在通过提升单元提升衬底时引导衬底。 引导突起被投影到对准构件的中心轴线。

公开(公告)号：KR1020040009661A

公开(公告)日：2004-01-31

申请号：KR1020020043673

申请日：2002-07-24

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 조상준 ,  문인호 ,  박덕준 ,  김동권 ,  한재오 ,  현옥천

IPC分类号： H01L21/68

摘要： PURPOSE: An apparatus for lifting and transferring a substrate is provided to prevent the contamination of the substrate by lifting the substrate and changing the direction of the transferring substrate. CONSTITUTION: An apparatus for lifting and transferring a substrate includes a base for injecting the air to a backside of a substrate and lift the substrate on the substrate. The base includes a lifting pore group(113a), a centering pore group(113b), a deflection control pore group(113c), a substrate loading portion, and a direction control pore group(113d). The lifting pore group(113a) is formed vertically to the base. The centering pore group(113b) and the deflection control pore group(113c) are formed to fix the substrate and control the deflection of the substrate. The substrate loading portion is formed on a center of the base. The direction control pore group(113d) is formed to change the direction of the transferring substrate.

摘要翻译： 目的：提供一种用于提升和转移基板的装置，以通过提升基板并改变转印基板的方向来防止基板的污染。 构成：用于提升和转移衬底的装置包括用于将空气注入到衬底的背面并将衬底提升到衬底上的基座。 基体包括提升孔群（113a），定心孔群（113b），偏转控制孔群（113c），基底载荷部分和方向控制孔群（113d）。 提升孔群（113a）垂直于基底形成。 形成定心孔群（113b）和偏转控制孔群（113c）以固定基底并控制基底的偏转。 基板装载部分形成在基座的中心。 形成方向控制孔群（113d）以改变转印衬底的方向。

公开(公告)号：KR1019940011884A

公开(公告)日：1994-06-22

申请号：KR1019920022792

申请日：1992-11-30

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 강태석 ,  문인호

IPC分类号： F24F7/10

摘要： 본 발명은 건물의 냉난방 및 환기 시스템에 관한 것으로, 건물의 옥탑에 신선외기 공급유니트와 냉각탑, 보일러를 설치하며, 실내의 천정에는 천정매립형 냉난방 유니트, 바다에는 바닥설치형 냉난방 유니트를 설치하여 옥탑의 신선외기 공급유니트에서 1차 공조한 공기를 급기덕트를 통해 실내의 천정에 설치된 독립된 냉난방유니트로 2차 공기조화토록 하는 것으로, 실내의 냉난방 유니트 및 옥탑에 설치된 신선외기 공급 유니트를 각각 제어할때 가장 최적의 공기조화를 얻을수 있으며, 경제적으로 건물의 냉난방 및 환기시스템을 운영할 수 있게 한 것이다.
특히, 옥탑에 설치된 신선외기 공급유니트는 공급되는 외기에 포함된 습기를 먼저 제거하여 공기의 비열을 낮추어 적은 에너지로 공기를 가열 또는 냉각 할수있도록 한 것으로 제습장치로는 제습제가 코팅된 제습로우터를 축으로 급기축과 배기축을 회전하도록 하였으며, 현열교환장치인 현열교환로우터 역시 축으로 급기측과 배기측을 회전토록 하며, 냉각장치로는 물이 증발할때 열을 흡수하는 물증발식 냉각기를 설치하여 대기 오염물질인 프레온 가스를 사용하지 않아 환경을 보호할 수 있으며 경제적으로 건물의 냉난방 및 환기를 시킬수 있는 아주 유용한 발명인 것이다.

公开(公告)号：KR100812716B1

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：KR1020070037822

申请日：2007-04-18

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 조상준 ,  남승백 ,  김태형 ,  하종필 ,  문인호 ,  권병국 ,  최광열 ,  김태영

IPC分类号： H01L21/02

摘要： A method for eliminating gas impurity is provided to improve a scattering rate of water spray particles and filtering efficiency with respect to dusts by using a charging apparatus and an eliminator for eliminating impurities. A gas impurity eliminating apparatus is comprised of an external air conditioner installed in a chamber(2), a liquid spray nozzle(310) for generating liquid particles, and an eliminator(210). A charging apparatus(10) charges an upper section of the liquid spray nozzle. The charging apparatus charges external air with a polarity opposite to that of a water spray particle charged and sprayed from the liquid spray nozzle. The charged external air is cooperatively incorporated with the water spray particles to be directed to the eliminator. A mesh grid is arranged on a lower section of the eliminator. A high voltage having a polarity opposite to that of the liquid spray nozzle is applied to the eliminator through the mesh grid.

摘要翻译： 提供一种消除气体杂质的方法，通过使用充电装置和消除杂质的消除器来改善喷雾颗粒的散射率和相对于灰尘的过滤效率。 一种气体杂质消除装置包括安装在室（2）中的外部空调，用于产生液体颗粒的液体喷嘴（310）和消除器（210）。 充电装置（10）对液体喷嘴的上部进行充电。 充电装置以与从液体喷嘴喷射的喷水颗粒的极性相反的极性对外部空气进行充电。 带电的外部空气与水喷雾颗粒协同地结合以被引导到消除器。 网格布置在消除器的下部。 具有与液体喷嘴的极性相反的极性的高电压通过网状栅格施加到消除器。

公开(公告)号：KR1020070019887A

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：KR1020050073879

申请日：2005-08-11

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 방덕제 ,  윤영민 ,  문인호 ,  김호종

IPC分类号： H02K41/02

摘要： 본 발명은 받침대에 고정된 한쌍의 레일에 지지되는 이송대를 그 레일상에서 선형적으로 이송시키기 위한 것으로서, 상기 레일 사이의 받침대에 설치되는 고정자와, 상기 이송대를 지지하는 이동자를 포함하는 자속 선형전동기에 있어서, 상기 이동자는, 이동자권선에 전류를 흘릴 때 자속 Φ 가 이동자철심, 영구자석 및 고정자철심을 통해 발생하면서, 이동자철심이 두 개의 영구자석 방향사이를 이동하면서 교번 자극을 가지고, 양측의 공극에서 같은 방향으로 힘을 발생시키기 위해서 이동자철심과 영구자석을 τ
p 만큼 비틀어지게 배열되고, 상기 이동자는 철심과 영구자석이 결합부재를 매개로 블록 단위로 결합된 쌍으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자속 선형전동기를 제공한다.

公开(公告)号：KR100571868B1

公开(公告)日：2006-04-17

申请号：KR1020040025866

申请日：2004-04-14

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 조상준 ,  문인호 ,  박덕준 ,  김동권 ,  김종진

IPC分类号： G02F1/13

摘要： 본 발명은 하나의 공정모듈에서 다른 공정모듈로 평판자재를 이송시키는 평판자재이송장치에 적용되는 평판자재 이송방향 전환블록에 관한 것으로서, 평판자재를 에어를 이용하여 부양 및 특정 방향으로 이송시킬 수 있으며, 각각 1 개의 핀구멍이 형성되고, 핀구멍이 사각형을 이루도록 배치되는 4 개의 에어블록(230); 4 개의 에어블록(230)의 하부에 설치되는 것으로서, 핀구멍을 관통하는 핀(241)을 지지하는 핀지지부재(240); 핀지지부재(240)를 승강시키는 승강수단(250);을 포함하고, 에어블록(230)은, 평판자재(w)를 부양시킬 수 있도록 상방향으로 형성된 다수의 부양에어홀(231)과, 평판자재(w)를 직진 방향으로 이송시킬 수 있도록 직진 방향으로 경사지게 형성된 다수의 직진경사에어홀(233)과, 평판자재(w)를 직진 좌측 방향으로 이송시킬 수 있도록 직진 좌측 방향으로 경사지게 형성된 좌측경사에어홀(235)과, 평판자재(w)를 직진 우측 방향으로 이송시킬 수 있도록 직진 우측 방향으로 경사지게 형성된 우측경사에어홀(237)과, 부양에어홀(231)과 연통되는 부양에어공급유로(232)와, 직진경사에어홀(233)과 연통되는 직진에어공급유로(234)와, 좌측경사에어홀(235)과 연통되는 좌측에어공급유로(236)와, 우측경사에어홀(237)과 연통되는 우측에어공급유로(238)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
블라인드, 이중창호, 롤러

公开(公告)号：KR100497440B1

公开(公告)日：2005-07-01

申请号：KR1020030003042

申请日：2003-01-16

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 조상준 ,  문인호 ,  현옥천 ,  김종진

IPC分类号： H01L21/68

摘要： 본 발명은, 원반상의 기판의 이면에 기체를 부상유닛의 세공군을 통해 내뿜어 기판을 부상유닛 상에 부상시킨 다음 로봇핸드로서 기판을 다음의 처리를 위한 처리룸으로 이송하기 위한 기판 부상장치에 관한 것으로서, 기판의 다점 지지를 위해 부상유닛에 배치된 다수의 위치정렬부재와, 상기 위치정렬부재가 상하로 이동 가능하게 결합되어 상기 기판을 리프팅하기 위한 리프팅수단을 구비하고, 상기 위치정렬부재의 상측에는 상기 기판을 리프팅 시, 상기 기판의 가장자리를 가압 이동시켜, 상기 다수의 위치정렬부재의 상면에 지지된 기판이 센터링되도록 안내하기 위한 가이드돌기가 상기 위치정렬부재의 중심축선에 편심하여 돌출형성된 구성을 갖는 기판부상장치용 기판 위치정렬기구를 제공함으로써, 이송 시의 사전 위치정렬에 기인하여, 처� ��될 기판을 용이하고도 신속하게 이송 및 처리단계를 수행할 수 있도록 하여 전체적인 기판 처리 수율을 증대할 수 있도록 하였다.

公开(公告)号：KR100469906B1

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：KR1020020043673

申请日：2002-07-24

申请人： 주식회사 신성이엔지

发明人： 조상준 ,  문인호 ,  박덕준 ,  김동권 ,  한재오 ,  현옥천

IPC分类号： H01L21/68

摘要： PURPOSE: An apparatus for lifting and transferring a substrate is provided to prevent the contamination of the substrate by lifting the substrate and changing the direction of the transferring substrate. CONSTITUTION: An apparatus for lifting and transferring a substrate includes a base for injecting the air to a backside of a substrate and lift the substrate on the substrate. The base includes a lifting pore group(113a), a centering pore group(113b), a deflection control pore group(113c), a substrate loading portion, and a direction control pore group(113d). The lifting pore group(113a) is formed vertically to the base. The centering pore group(113b) and the deflection control pore group(113c) are formed to fix the substrate and control the deflection of the substrate. The substrate loading portion is formed on a center of the base. The direction control pore group(113d) is formed to change the direction of the transferring substrate.

摘要翻译： 目的：提供一种提升和转移基板的设备，以通过提升基板和改变转移基板的方向来防止基板的污染。 构成：用于提升和转移基板的装置包括用于将空气注入基板背面并将基板提升到基板上的基座。 底座包括提升孔组（113a），定心孔组（113b），偏转控制孔组（113c），基板装载部分和方向控制孔组（113d）。 提升孔组（113a）垂直于底座形成。 定心孔组（113b）和偏转控制孔组（113c）形成为固定基板并控制基板的挠曲。 衬底装载部分形成在底座的中心。 方向控制孔组（113d）形成为改变转印基板的方向。