반도체 클린룸용 시스템 실링

    公开(公告)号:KR101839536B1

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:KR1020160095410

    申请日:2016-07-27

    摘要: 본발명의반도체클린룸용시스템실링은, 천장그리드의몰드바; 상기그리드에결합되는블라인드패널; 상기몰드바에블라인드패널을고정하는탄성클립; 및상기탄성클립의상단부가고정되도록몰드바측면을따라길이방향으로형성된걸림부재;를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 블라인드패널을몰드바에고정하는탄성클립에의해블라인드패널의설치및 분리가용이하여유지보수의편의성이향상되는효과가있다.

    반도체 클린룸용 시스템 실링
    3.
    发明公开
    반도체 클린룸용 시스템 실링 有权
    半导体洁净室的系统密封

    公开(公告)号:KR1020180012501A

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:KR1020160095410

    申请日:2016-07-27

    摘要: 본발명의반도체클린룸용시스템실링은, 천장그리드의몰드바; 상기그리드에결합되는블라인드패널; 상기몰드바에블라인드패널을고정하는탄성클립; 및상기탄성클립의상단부가고정되도록몰드바측면을따라길이방향으로형성된걸림부재;를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 블라인드패널을몰드바에고정하는탄성클립에의해블라인드패널의설치및 분리가용이하여유지보수의편의성이향상되는효과가있다.

    摘要翻译: 本发明的用于半导体洁净室的系统密封件包括天花板格栅的模具条; 与电网耦合的盲板; 用于将盲板固定到模具杆的弹性夹子; 并且沿着模具杆的侧表面在纵向方向上形成接合构件,使得弹性夹的上端固定。 因此,通过用于将盲板固定到模具杆上的弹性夹子来容易地安装和拆卸盲板,从而提高维护的便利性。