公开(公告)号：KR1020170063749A

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：KR1020177010634

申请日：2015-11-05

申请人： 플란제 에스이

发明人： 히토수기,타로

IPC分类号： C04B35/495 ,  C04B35/622 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  G02F1/15

CPC分类号： H01B1/08 ,  C04B35/495 ,  C04B35/62218 ,  C09K9/00 ,  C23C14/083 ,  C23C14/085 ,  C23C14/3414 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/5806 ,  E06B9/24 ,  E06B2009/247 ,  G02F1/13338 ,  G02F1/1523 ,  G02F2202/06 ,  C04B35/62222 ,  C04B2235/9646 ,  G02F2202/16

摘要： 본발명은 Re, Mn, 및 Ru으로구성되는그룹중에서적어도하나의도핑원소를포함하는β-MoO3를포함하는금속산화물박막에관한것이다. 또한, 본발명은스퍼터링을통해그러한금속산화물박막을제조하는방법및 Re, Mn, 및 Ru으로구성되는그룹중에서적어도하나의도핑원소를포함하는β-MoO3를포함하는금속산화물박막을포함하는박막장치에관한것이다.

摘要翻译： 本发明涉及含有选自Re，Mn和Ru中的至少一种掺杂元素的α-MoO 3的金属氧化物薄膜。 此外，本发明的薄膜器件，其包括用于制备薄膜这样的金属氧化物的方法和Re，含有β-的MoO 3，包括从由Mn组成的组的至少一种掺杂元素的金属氧化物薄膜，和Ru通过溅射 Lt。