公开(公告)号：KR101632236B1

公开(公告)日：2016-06-21

申请号：KR1020147004080

申请日：2011-07-20

申请人： 헴로크 세미컨덕터 오퍼레이션즈 엘엘씨

发明人： 앤더슨미카엘엘. ,  트롬블리스테판

IPC分类号： C01B33/035 ,  F16J15/10 ,  C01B31/04

CPC分类号： C23C16/4409 ,  C01B33/035 ,  C23C16/4418

摘要： 캐리어몸체상에재료를침착시키는제조장치에개스킷이사용된다. 제조장치의하우징및 베이스플레이트에의해반응체임버가한정된다. 침착될재료또는그의전구체를포함하는침착조성물이반응체임버를빠져나가는것을방지하기위해개스킷이하우징과베이스플레이트사이에배치된다. 개스킷은개스킷이상기반응체임버내의재료를오염시키는것을방지하기위해가요성흑연재료를포함한다.

公开(公告)号：KR1020140048988A

公开(公告)日：2014-04-24

申请号：KR1020147004080

申请日：2011-07-20

申请人： 헴로크 세미컨덕터 오퍼레이션즈 엘엘씨

发明人： 앤더슨미카엘엘. ,  트롬블리스테판

IPC分类号： C01B33/035 ,  F16J15/10 ,  C01B31/04

CPC分类号： C23C16/4409 ,  C01B33/035 ,  C23C16/4418 ,  C01B32/20 ,  C23C16/44 ,  F16J15/02 ,  F16J15/10

摘要： 캐리어 몸체 상에 재료를 침착시키는 제조 장치에 개스킷이 사용된다. 제조 장치의 하우징 및 베이스 플레이트에 의해 반응 챔버가 한정된다. 침착될 재료 또는 그의 전구체를 포함하는 침착 조성물이 반응 챔버를 빠져나가는 것을 방지하기 위해 개스킷이 하우징과 베이스 플레이트 사이에 배치된다. 개스킷은 개스킷이 상기 반응 챔버 내의 재료를 오염시키는 것을 방지하기 위해 가요성 흑연 재료를 포함한다.