公开(公告)号：KR20180056398A

公开(公告)日：2018-05-28

申请号：KR20170153551

申请日：2017-11-17

申请人： CANON KK

发明人： HIRAI SHINICHIRO ,  MOTOJIMA JUNICHI ,  OHKAWA NAOTO

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G03F7/70483 ,  H01L23/3107 ,  H01L24/02 ,  H01L24/96 ,  H01L2224/02311 ,  H01L2224/02375 ,  H01L2224/02379

摘要： 본발명은, 복수의계측점의각각에서기판의높이를계측하도록구성되는계측유닛, 및상기계측유닛에의해취득된계측결과에기초하여상기기판의높이를제어하고, 상기기판의샷 영역을제1 위치에배치하고상기샷 영역을노광하는동작을제어하도록구성되는제어유닛을포함하고, 상기샷 영역은복수의부분영역을포함하며, 상기제어유닛은상기샷 영역을상기제1 위치에배치할때보다상기복수의부분영역에배치된계측점의수가많아지도록상기제1 위치와는상이한제2 위치에샷 영역을배치함으로써상기계측유닛이상기기판의높이를계측하게하는, 기판을노광하는노광장치를제공한다.