公开(公告)号：KR20180020304A

公开(公告)日：2018-02-27

申请号：KR20187003848

申请日：2016-07-13

申请人： ENTEGRIS INC

发明人： GALLAGHER GARY ,  SUMNER STEPHEN

IPC分类号： H01L21/673

CPC分类号： H01L21/67366

摘要： 반도체제조산업에서이용하기위한기재용기및/또는그 부분은금속슬러리를사출몰딩함으로써형성될수 있다. 보다특히, 그러한기재용기및/또는그 부분은마그네슘또는마그네슘합금을포함하는금속슬러리를사출몰딩함으로써형성될수 있다. 기재용기의적어도일부가마그네슘또는마그네슘합금을포함하는금속슬러리로부터사출몰딩되는기재용기는, 중합체기반의재료로형성된비교가능한기재운반체에비해서, 그리고그보다, 개선된수분및 산소투과제어를나타낼수 있다. 예시적인기재용기는웨이퍼용기, 레티클포드, 디스크운반기및/또는재공품상자를포함할수 있다.

摘要翻译： 用于半导体制造工业中的衬底容器和/或其部件可以通过注塑金属浆料来形成。 更特别地，这样的衬底容器和/或其部分可以通过注射包含镁或镁合金的金属浆料来形成。 其中基材容器的至少一部分由包含镁或镁合金的金属浆料注射成型的基材容器可以显示出改善的湿气和氧气渗透控制，与由聚合物基材料形成的相当的基材载体相比， 。 示例性的基础容器可以包括晶片容器，标线片盒，盘载体和/或在制品箱。