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    교차 채널을 이용한 유체 혼합 장치
    6.
    发明公开
    교차 채널을 이용한 유체 혼합 장치 有权
    使用交叉通道的流体混合装置

    公开(公告)号：KR1020060119154A

    公开(公告)日：2006-11-24

    申请号：KR1020050041765

    申请日：2005-05-18

    申请人： 삼성전자주식회사

    发明人： 박진성 ,  김준호 ,  남궁각 ,  오광욱

    IPC分类号： G01N1/38

    CPC分类号： B01F13/1013 ,  B01F5/0475 ,  B01F5/0478 ,  B01F5/0646 ,  B01F5/0647 ,  B01F13/0059 ,  B01F13/1019 ,  B01F15/0203 ,  B01F15/0404 ,  B01F2015/0221 ,  G01N1/38

    摘要： A fluid mixing apparatus using cross channels is provided to carry the fluid mixing apparatus easily by forming the fluid mixing apparatus of chip type, and to form fluid with density gradient of exponential function by respectively or simultaneously adjusting the number and the size of via-holes. A fluid mixing apparatus includes first channels(11) arranged in parallel to flow diluted solution evenly distributed from an upper part, second channels(21) arranged across the first channels to flow sample solution evenly distributed from an upper part, and a via-hole(25) formed in an intersection of the first channel and the second channel to move the sample solution from the second channel to the first channel. The fluid mixing apparatus supplies different density fluid according to the amount of the sample solution flowing into the first channel through the via-hole. The sum total of area of the via-holes connected to the first channels is in proportion to the amount of the sample solution flowing into the first channel.

    摘要翻译： 提供使用交叉通道的流体混合装置，通过形成片式流体混合装置容易地承载流体混合装置，并且通过分别或同时调节通孔的数量和尺寸来形成具有指数函数的密度梯度的流体 。 流体混合装置包括与从上部均匀分布的流动稀释溶液平行布置的第一通道（11），跨过第一通道排列的第二通道（21），以使从上部均匀分布的样品溶液流过;以及通孔 （25）形成在所述第一通道和所述第二通道的交叉点中以将所述样品溶液从所述第二通道移动到所述第一通道。 流体混合装置根据通过通孔流入第一通道的样品溶液的量来提供不同的密度流体。 连接到第一通道的通孔的面积的总和与流入第一通道的样品溶液的量成比例。

    약액 혼합 공급 방법
    7.
    发明授权
    약액 혼합 공급 방법 有权
    液体混合供应方法

    公开(公告)号：KR100639710B1

    公开(公告)日：2006-10-30

    申请号：KR1020050022323

    申请日：2005-03-17

    申请人： 세메스 주식회사

    发明人： 장수일 ,  최광일

    IPC分类号： H01L21/3063

    CPC分类号： B01F15/0216 ,  B01F13/1055 ,  B01F15/0479 ,  B01F2015/0221 ,  B01F2215/0036 ,  G05D11/132

    摘要： 본 발명은 황산, 과산화수소, 초순수 그리고 불산(HF)이 혼합된 식각 처리액을 만드는 반도체 제조 공정의 약액 혼합 공급 방법에 관한 것으로, 본 발명의 약액 혼합 공급 방법은 (a) 혼합탱크에 불산이 PPM 단위로 혼합되도록 불산을 공급하는 단계; 및 (b) 상기 혼합탱크에 초순수와 과산화수소 그리고 황산을 일정 비율로 공급하여 혼합하는 단계를 포함하되; 상기 (b) 단계는 상기 초순수와 과산화수소 그리고 황산의 공급 시작 시점이 서로 상이한 것을 특징으로 한다.
    이러한 약액 혼합 공급 방법에 의하면, 황산, 과산화수소 그리고 초순수의 공급 시작 시점을 각각 달리 하여, 황산과 과산화수소이 상호 반응하는 시간을 최소화함으로써, 황산과 과산화수소의 혼합과정에서 발생되는 발열 시간을 최소화할 수 있다.

    약액 혼합 공급 방법
    8.
    发明公开
    약액 혼합 공급 방법 有权
    化学溶液的混合方法

    公开(公告)号：KR1020060100634A

    公开(公告)日：2006-09-21

    申请号：KR1020050022323

    申请日：2005-03-17

    申请人： 세메스 주식회사

    发明人： 장수일 ,  최광일

    IPC分类号： H01L21/3063

    CPC分类号： B01F15/0216 ,  B01F13/1055 ,  B01F15/0479 ,  B01F2015/0221 ,  B01F2215/0036 ,  G05D11/132

    摘要： 본 발명은 황산, 과산화수소, 초순수 그리고 불산(HF)이 혼합된 식각 처리액을 만드는 반도체 제조 공정의 약액 혼합 공급 방법에 관한 것으로, 본 발명의 약액 혼합 공급 방법은 (a) 혼합탱크에 불산이 PPM 단위로 혼합되도록 불산을 공급하는 단계; 및 (b) 상기 혼합탱크에 초순수와 과산화수소 그리고 황산을 일정 비율로 공급하여 혼합하는 단계를 포함하되; 상기 (b) 단계는 상기 초순수와 과산화수소 그리고 황산의 공급 시작 시점이 서로 상이한 것을 특징으로 한다.
    이러한 약액 혼합 공급 방법에 의하면, 황산, 과산화수소 그리고 초순수의 공급 시작 시점을 각각 달리 하여, 황산과 과산화수소이 상호 반응하는 시간을 최소화함으로써, 황산과 과산화수소의 혼합과정에서 발생되는 발열 시간을 최소화할 수 있다.

    摘要翻译： 本发明氢氟酸的PPM的硫酸，过氧化氢，超纯水和氢氟酸（HF）是创建涉及一种药液混合蚀刻处理溶液混合供给半导体制程的方法，供给本发明的药液混合方法是（a）的混合罐 供应氢氟酸以1：1的比例混合; （b）将超纯水，过氧化氢和硫酸以预定的比例供给混合槽并混合; 步骤（b）的特征在于超纯水，过氧化氢和硫酸的供应开始点彼此不同。