과립형 폴리실리콘의 제조를 위한 유동상 반응기 및 방법
    3.
    发明授权
    과립형 폴리실리콘의 제조를 위한 유동상 반응기 및 방법 有权
    流化床反应器和粒状多晶硅生产方法

    公开(公告)号:KR101818685B1

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:KR1020157034303

    申请日:2014-04-15

    Abstract: 본발명은가열장치를통해 850∼1100℃의온도로가열된유동상에서가스흐름을이용하여실리콘입자를유동시키는단계, 1 이상의노즐을이용하여실리콘함유반응가스를첨가하는단계, 및실리콘입자상에실리콘을퇴적시키는단계를포함하는, 유동상반응기에서과립형폴리실리콘을제조하는방법에관한것으로, 상기 1 이상의노즐의노즐개구주위의축 대칭영역의 56% 이상에서 - 반응가스농도가반응가스의최대농도(10∼50 몰%)의 75%를초과하고, - 유동상온도가축 대칭영역외부의유동상온도(850∼1100℃)의 95%를초과하며, - 고형분농도가유동상의에지에서의고형분농도(55∼90 체적%)의 85%를초과한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种生产含硅反应性气体的方法,该方法包括以下步骤:使用气流在加热到850-1100℃的流动相中通过加热装置流动硅颗粒, 其特征在于至少一个喷嘴的喷嘴开口周围的轴对称区域的至少56% - 反应气体浓度高于反应气体的最大值 - 流体室温度超过家畜对称区域外的流体室温度(850-1100℃)的95%; - 固体浓度超过流体相边缘处的固体浓度 (按体积计55-90%)。

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