公开(公告)号：KR101882023B1

公开(公告)日：2018-07-25

申请号：KR1020120140316

申请日：2012-12-05

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 아마노요시후미

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： B08B3/04 ,  H01L21/67051

摘要： 본발명은다른약액이서로섞이는것을억제하는기판처리장치를제공하는것을과제로한다. 기판처리장치(1)는, 웨이퍼(W)를수평으로유지하는기판유지부(21)와, 기판유지부(21)를회전시키는회전구동부(24)와, 웨이퍼(W) 주연부상의제1 약액공급위치(74a)에제1 약액을토출하는제1 약액노즐(73)과, 웨이퍼(W) 주연부상의제2 약액공급위치(84a)에제2 약액을토출하는제2 약액노즐(83)을구비하고있다. 회전구동부(24)는, 제1 약액노즐(73)이제1 약액을토출할때, 기판유지부(21)를제1 회전방향(R)으로회전시키고, 또한, 제2 약액노즐(83)이제2 약액을토출할때, 기판유지부(21)를제2 회전방향(R)으로회전시킨다.

公开(公告)号：KR20180045994A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：KR20160140652

申请日：2016-10-27

IPC分类号： H02S40/10 ,  B08B1/02 ,  B08B3/04 ,  B08B11/00

CPC分类号： B08B1/02 ,  B08B3/04 ,  B08B11/00 ,  H02S40/10

摘要： 본발명은태양광패널세척장치에관한것으로, 더욱상세하게는태양광을집광하는태양광패널의표면을세척할수 있는태양광패널세척장치에관한것이다. 본발명에따른태양광패널세척장치는태양광패널을지지하는패널프레임에설치되는가이드레일과, 상기가이드레일을따라이동하며, 일측에상기태양광패널의표면을세척할수 있는세척부재가마련되어있는패널세척유닛과, 상기패널세척유닛이상기가이드레일을따라이동한뒤 다시초기위치로복귀할수 있도록상기패널세척유닛을복귀시키는유닛복귀부를포함하며, 상기패널세척유닛은상기세척부재가설치되고상기가이드레일에결합되는승강부재와, 상기승강부재에회전가능하게설치되며, 물이저수될수 있도록저수공간을가지며상방이개구되어있는저수부재를포함하고, 상기저수부재에물이저수되면상기패널세척유닛이저수부재에저수되는물의무게에의해상기가이드레일을따라이동하도록형성된다.

公开(公告)号：KR20180034236A

公开(公告)日：2018-04-04

申请号：KR20170117356

申请日：2017-09-13

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/67051 ,  B08B3/04 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/68735

摘要： 기판처리방법은, 베이스의상면으로부터상방으로간격을두고기판을수평으로유지하는기판유지구에의해기판을유지하는기판유지공정과, 상기기판유지구에유지된기판의상면에제 1 처리액을공급하는제 1 처리액공급공정과, 상기베이스의상면에부착된제 1 처리액을씻어내기위한세정액을상기베이스의상면에공급하는세정액공급공정으로서, 상기베이스상의상기세정액이상기기판유지구에유지된기판의하면에접촉하지않도록상기세정액을상기베이스의상면에공급하는세정액공급공정과, 상기베이스의상면으로부터상기세정액을배제하는배제공정을포함한다.

摘要翻译： 一种基板处理方法，包括：基板保持工序，利用从基台的上表面向上方隔开间隔地保持基板的基板保持件保持基板;第一处理液供给工序，向第一处理液供给第一处理液 清洁液体供应步骤，供应清洁液体以便将附着在基体上表面上的第一处理液冲洗到基体的上表面上，从而清洁 基底上的液体不接触由基底保持器保持的基底的下表面，以及从基底的上表面移除清洗液的移除步骤。

公开(公告)号：KR101843108B1

公开(公告)日：2018-03-28

申请号：KR1020170043519

申请日：2017-04-04

申请人： 경기도 여주시(농업기술센터장)

发明人： 김상민

IPC分类号： C05F17/02 ,  C05G1/00 ,  C05G3/00 ,  B01F7/16 ,  B08B9/08 ,  B08B3/04

CPC分类号： Y02W30/43 ,  C05F17/0258 ,  B01F7/16 ,  B08B3/04 ,  B08B9/08 ,  C05F3/06 ,  C05F17/0282 ,  C05G1/00 ,  C05G3/0064

摘要： 본발명은맞춤형액비제조기에관한것으로서, 액비제조를위한제1 약품이수용되되상기제1 약품에물(water)을넣어교반시키는제1 교반탱크; 상기제1 약품과성분이다른제2 약품이수용되되상기제2 약품에상기물을넣어교반시키는제2 교반탱크; 상기제1 및제2 약품과성분이다른제3 약품이수용되되상기제3 약품에상기물을넣어교반시키는제3 교반탱크; 및상기제1 내지제3 교반탱크와연결되며, 상기제1 내지제3 교반탱크내에서각각교반이완료된제1 내지제3 액상약품이수집되어혼합되는배합탱크를포함한다.

摘要翻译： 本发明首先涉及一种用于肥料定制的制造机的搅拌罐中，第一药物doedoe yisuyong搅拌通过添加与所述第一药物（水）产生的粪肥; 第一药物组合物并搅拌入在所述第二药物的水的不同的第二药物yisuyong的第2搅拌槽doedoe; 用于第一药物和第二组分中的第三搅拌釜是mitje doedoe其他第三种药物yisuyong搅拌到在第三化学品的水; 并且包括第一至第三搅拌釜被连接时，第一到搅拌的完成在第三搅拌釜中，每个第一至收集以被混合制剂罐第三液体药物。

公开(公告)号：KR101841690B1

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：KR1020170053199

申请日：2017-04-25

申请人： 주식회사 드림원

发明人： 안준규 ,  이창선 ,  강경

IPC分类号： B60S3/04 ,  B08B3/02 ,  B08B3/04 ,  B08B5/02

CPC分类号： B60S3/04 ,  B08B3/02 ,  B08B3/04 ,  B08B5/02

摘要： 본발명은차량이지나갈정도의간격을유지하면서좌우측에서각각기립설치되는물분사좌우측지지체가각각형성되고, 상기물분사좌우측지지체에일정압력의물이분사되는하나이상의물분사노즐이형성되어센서또는스위치에의해차량외관을물로세척하는물분사세척틀; 상기물분사세척틀과차량의진행방향으로일정거리이격되어차량이지나갈정도의간격을유지하면서좌우측에서각각기립설치되는거품분사좌우측지지체가각각형성되고, 상기거품분사좌우측지지체에일정압력의거품이분사되는하나이상의거품분사노즐이형성되어센서또는스위치에의해차량외관에거품을분사하는거품분사세척틀; 상기거품분사세척틀과차량의진행방향으로일정거리이격되어차량이지나갈정도의간격을유지하면서좌우측에서각각기립설치되는고압분사좌우측지지체가각각형성되고, 상기고압분사좌우측지지체에고압의물이분사되는하나이상의고압분사노즐이형성되어센서또는스위치에의해차량외관의이물질을고압으로제거하는고압분사세척틀; 및상기고압분사세척틀과차량의진행방향으로일정거리이격되어차량이지나갈정도의간격을유지하면서좌우측에서각각기립설치되는고압풍분사좌우측지지체가각각형성되고, 상기고압풍분사좌우측지지체에고압의바람이분사되는하나이상의고압풍분사노즐이형성되어센서또는스위치에의해차량외관의이물질을고압의바람으로제거하는고압풍분사세척틀로이루어져내측에서차량이전방으로서서히진행함에따라차량외관에대한세차가순차적으로자동으로이루어지는차량진입방식의자동세차기및 이를이용한세차방법에관한것이다. 이러한본 발명은자동으로회동되는회전브러쉬를사용하지않아고가나신차인경우에도차량외관이손상될염려가전혀없고, 세차시많은시간을소요하지않아세차시간을절약할수 있으며, 세차비용도저렴하고, 세차장치의유지비용도저렴하여소비자와판매자모두가만족하게사용및 운영할수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR1020180019623A

公开(公告)日：2018-02-26

申请号：KR1020180015507

申请日：2018-02-08

申请人： 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤

发明人： 우에지마,리쿠리 ,  신,아키히코

IPC分类号： H01M2/14 ,  B08B3/04

CPC分类号： B08B3/04 ,  B08B3/041 ,  B65H5/066 ,  B65H20/02 ,  B65H2301/51422 ,  B65H2408/214 ,  B65H2601/254 ,  B65H2701/1752 ,  B65H2801/72 ,  H01M2/145 ,  H01M2/1653 ,  H01M2/1686 ,  H01M10/0525 ,  Y02E60/122 ,  Y02P70/54

摘要： 필름의반송경로에있어서의하류측의세정조의세정액의오염을억제한다. 세정장치는, 내열세퍼레이터를세정조로부터세정조로반송하는롤러를구비한다. 롤러및 롤러가내열세퍼레이터의한쪽면에접촉하고, 또한롤러의사이에있어서롤러가내열세퍼레이터의다른쪽 면에접촉한다. 롤러에의해내열세퍼레이터로부터제거된세정수가세정조로되돌려진다.

摘要翻译： 抑制了膜输送路径下游侧的清洗槽内的清洗液的污染。 清洁装置包括将耐热分离器从清洁槽输送到清洁槽的辊。 辊和辊接触耐热分离器的一个表面，并且辊接触辊之间的耐热分离器的另一个表面。 通过辊从耐热分离器除去的洗涤水返回到洗涤槽。

公开(公告)号：KR20180009840A

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：KR20160091402

申请日：2016-07-19

申请人： 주식회사 프로텍

发明人： 홍승민

IPC分类号： B08B3/04 ,  B08B1/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC分类号： B08B3/04 ,  B05B15/555 ,  B08B1/006 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67051

摘要： 본발명은점성용액디스펜서용노즐세정장치에관한것으로, 점성용액을디스펜싱하는디스펜서의노즐외측면에점성용액이묻어서오염되는것을방지하기위해노즐을세정하는장치에관한것이다. 본발명의점성용액디스펜서용노즐세정장치는디스펜서에노즐에묻을수 있는점성용액을효과적으로세정함으로써디스펜싱공정의품질과생산성을향상시키는효과가있다.

摘要翻译： 本发明涉及一种装置，用于清洁喷嘴，以防止涉及一种用于粘性溶液分配器的喷嘴清洗装置，该分配器用于分配粘稠溶液的喷嘴外表面的粘稠溶液muteoseo污染。 工业实用性本发明的粘性溶液分配器用喷嘴清洗装置具有通过有效地将附着在喷嘴上的粘性溶液清洗到分配器而提高分配过程的质量和生产率的效果。

公开(公告)号：KR20180002023A

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：KR20170076452

申请日：2017-06-16

申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼

发明人： 야마카와주니츠

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  H01L21/677

CPC分类号： C25D17/001 ,  B08B3/022 ,  B08B3/04 ,  B08B5/023 ,  C25D21/08 ,  H01L21/02068 ,  H01L21/2885

摘要： 기판표면의레지스트패턴이나배선등에미치는영향을저감하면서기판을세정한다. 세정장치가제공된다. 이세정장치는, 피처리물의입구와, 상기피처리물의출구와, 입구로부터투입된피처리물이반송되는제1 반송경로와, 제1 반송경로에있어서피처리물이반송되는방향과는역방향으로피처리물이반송되고, 제1 반송경로및 상기출구로이어지는제2 반송경로와, 제1 반송경로에배치되어, 피처리물을비접촉식으로세정하는세정유닛과, 제1 반송경로에배치되어, 피처리물을비접촉식으로건조시키는건조유닛을갖는다. 제1 반송경로와제2 반송경로는상하방향으로나열되어배치된다. 제2 반송경로는제1 반송경로의상방에위치하고, 종점에있어서상기출구와이어진다. 제2 반송경로는피처리물을일시적으로보관하는스토커로서기능한다.

摘要翻译： 提供了一种清洁装置。 该清洁设备包括入口，出口，第一输送路径，第二输送路径，设置在第一输送路径上并被配置为以非接触方式清洁目标物体的清洁单元以及设置在第一输送路径上的干燥单元 第一输送路径并且被配置为以非接触方式干燥目标物体。 第一传送路径和第二传送路径垂直并排布置。 第二传送路径位于第一传送路径的上方并且在终点处与出口连接。 第二传送路径用作被配置为临时存储目标物体的储料器。

公开(公告)号：KR200484988Y1

公开(公告)日：2017-11-15

申请号：KR2020160003389

申请日：2016-06-16

申请人： 전수봉

发明人： 전수봉 ,  심의석

IPC分类号： A46B17/06 ,  A46B17/08 ,  A01K43/00 ,  B08B3/04

CPC分类号： A46B17/06 ,  A01K43/005 ,  A46B13/001 ,  A46B17/065 ,  A46B17/08 ,  A46B2200/3073 ,  B08B3/04

摘要： 계란세척과정에서오염되는브러시가간편하게세척되고청결하게유지관리되도록, 중심축둘레에브러시가구비되는계란세척브러시가진열되는진열부, 복수의노즐이구비되어진열부에진열되는계란세척브러시에세척수를분사하는노즐대, 및진열부와노즐대를수용하는세척실이구비되는몸체를포함하는계란세척브러시관리장치를제공한다.

公开(公告)号：KR1020170116876A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：KR1020160045102

申请日：2016-04-12

申请人： 주식회사 한미이엔씨

发明人： 안두혁

IPC分类号： B04B5/00 ,  B08B3/04 ,  B04B5/04 ,  B07B1/04

CPC分类号： B04B5/005 ,  B03B5/28 ,  B04B2005/045 ,  B07B1/04 ,  B08B3/04

摘要： 본발명은세척수를이용하여재생잔골재에포함된이물질을선별하고재생잔골재를세척시키는세척장치및 세척방법에관한것으로서, 더상세하게는이물질이세척수의수면위로부유되어선별될수 있도록하는부유선별부와, 와류를통해원심력을발생시키는상승와류발생부와, 원심력에의해와류의내측에모인이물질을선별하는비중차선별부로, 구성되는원심분리기를포함하여, 재생잔골재에포함된다양한종류의이물질을효과적으로선별할수 있고세척수의사용량을최소화할수 있는재생잔골재세척장치및 세척방법에관한것이다.

摘要翻译： 要使用的本发明浮选单元，用于将洗涤水选择性地包含在所述再现细骨料的异物和筛选，更具体地说，异物涉及一种清洁装置和用于清洁的再现细骨料的清洗方法是浮动到的洗涤水的表面和 上升涡流发生器，其生成由所述旋转部的离心力，以及部分比重差分选收集在涡流的内部的异物排序由于离心力的作用，包括离心分离器被配置成，有效地各种各样的包含在所述再现的细集料的异物 本发明涉及一种再生细骨料清洁装置和一种可以选择性分类的清洁方法，并且使用的清洗水量最小。